二次配系統(tǒng)簡(jiǎn)介

1、上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程二次配排氣系統(tǒng)簡(jiǎn)介劉慶磊2014年8月27日上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣供應(yīng)系統(tǒng)1.系統(tǒng)介紹2.技術(shù)說(shuō)明3.施工準(zhǔn)備4.施工技術(shù)要求目錄：上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)系統(tǒng)介紹：由制程機(jī)臺(tái)至主管支管之間連接風(fēng)管，統(tǒng)稱(chēng)二次配排氣風(fēng)管（Exhaust Hook-up Ducting）工程；其主要是將制程機(jī)臺(tái)所產(chǎn)生之各種廢氣（例如酸堿性廢氣、揮發(fā)性有機(jī)廢氣、一般性廢氣等等）經(jīng)由二次配排氣風(fēng)管排至排氣支管、主風(fēng)管等再導(dǎo)入廢氣處理設(shè)備處理，處理后廢氣再排放至大氣中的整個(gè)排

2、氣系統(tǒng)過(guò)程。上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)技術(shù)說(shuō)明： 制程排氣的目的：在產(chǎn)品制造過(guò)程中，無(wú)可避免地必須使用不同種類(lèi)的化學(xué)物質(zhì)，為了提高產(chǎn)品的良率，必須精密控制產(chǎn)品所接觸環(huán)境的空氣質(zhì)量。而制程排氣系統(tǒng)（Exhaust System），雖非制程生產(chǎn)所需設(shè)備，但卻是為生產(chǎn)區(qū)域營(yíng)造一個(gè)可供生產(chǎn)人員在安全情況下的工作環(huán)境，因此制程排氣系統(tǒng)，從廢氣物質(zhì)兼容性至排放氣體輸送，以至于各種污染處理設(shè)備，皆需經(jīng)嚴(yán)格且縝密選擇，這些均是環(huán)環(huán)相扣缺一不可。上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)技術(shù)說(shuō)明：排氣系統(tǒng)分類(lèi)： 制程流程中，使用機(jī)臺(tái)種類(lèi)相當(dāng)煩多

3、，各種排放物質(zhì)種類(lèi)更是不勝枚舉，若要針對(duì)單一種類(lèi)設(shè)置單獨(dú)排放處理設(shè)施，不僅有其設(shè)置上的因難，而且施工上及日后維修保養(yǎng)更屬不易，因而，依據(jù)排放之特性大致上區(qū)分為酸、毒性（Acid Exhaust）、堿性（Alkali Exhaust）、有機(jī)溶劑（Solvent Exhaust）及一般排氣（General Exhaust）四個(gè)系統(tǒng)： (1) 酸、堿性廢氣：其主要來(lái)源為化學(xué)清洗工作站，清洗芯片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過(guò)Central Scrubber做水洗中和處理后，再排入大氣。 (2) 毒 性 廢 氣：其主要來(lái)源為化學(xué)氣體沉積，（CV

4、D）干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子植入機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生，由于以上之制程均使用大量的毒性氣體，因此在其機(jī)臺(tái)本身即設(shè)置有Local Scrubber 作先行處理，再送至Central Scrubber 做水洗中和處理后，再排入大氣。 (3) 有機(jī)溶劑廢氣：目前所見(jiàn)到大多以活性碳吸附塔或采用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+燃?xì)馐椒倩癄t，去除率可達(dá)90以上，為目前較佳之空氣污染控制技術(shù)。 (4) 一 般 廢 氣：其來(lái)源為機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)熱產(chǎn)生不含有害物質(zhì)，故可經(jīng)由排氣設(shè)備直接排入大氣。 上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工說(shuō)明： 潔凈室培訓(xùn)： 在二次配施工階段所有廠房基本都已經(jīng)進(jìn)入無(wú)塵室三級(jí)管

5、制階段，因此首先應(yīng)對(duì)施工作業(yè)人員一定要進(jìn)行無(wú)塵室施工培訓(xùn)，并考核合格后方能進(jìn)入無(wú)塵室施工。進(jìn)入無(wú)塵室施工必須要進(jìn)行申請(qǐng)。所以人員必須按照規(guī)定的人員動(dòng)線行進(jìn)，從單一的管制口登記后進(jìn)出，并接受管制人員檢查，服從管制。禁止攜入非必須用品，如香煙、打火機(jī)。非潔凈紙張等物品。潔凈室內(nèi)禁止吸煙，食用任何物品，禁止隨意丟棄物品。人員進(jìn)入無(wú)塵室流程1.在脫鞋區(qū)將鞋整齊放在鞋架上，赤腳（必須穿襪子）進(jìn)入一次風(fēng)淋室、接受工安檢查，填寫(xiě)登記表格。2.口罩、網(wǎng)帽、無(wú)塵服、鞋、手套、安全帽依次按規(guī)定穿戴整齊，二次洗手烘干，進(jìn)入二次風(fēng)淋室。3.嚴(yán)禁穿潔凈服出入室外，從其他物料口出入。物料進(jìn)入無(wú)塵室流程1、攜入無(wú)塵室之前，

6、工具、物料、附件必須要在無(wú)塵室外擦拭干凈，不能有油、銹、灰塵等。2.不可將紙箱、木質(zhì)類(lèi)發(fā)塵源帶入潔凈室。3.腳手架、手推車(chē)輪子要用斑馬膠帶包裹。A字梯要用無(wú)塵布包裹上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工說(shuō)明： 物料進(jìn)入無(wú)塵室流程1、攜入無(wú)塵室之前，工具、物料、附件必須要在無(wú)塵室外擦拭干凈，不能有油、銹、灰塵等。2.不可將紙箱、木質(zhì)類(lèi)發(fā)塵源帶入潔凈室。3.腳手架、手推車(chē)輪子要用斑馬膠帶包裹。A字梯要用無(wú)塵布包裹上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工步驟及方法：1、風(fēng)管的安裝標(biāo)高，對(duì)于矩形風(fēng)管是從管底算起，而圓形風(fēng)管是從風(fēng)管中心計(jì)

7、算，在安裝吊架時(shí)應(yīng)引起注意。圓形風(fēng)管的管徑由大變小時(shí)，為保持風(fēng)管中心線的水平，托架的標(biāo)高應(yīng)按變徑的尺寸相應(yīng)地提高。 2、為保證法蘭接口的嚴(yán)密性，法蘭之間應(yīng)有耐高溫、防腐蝕PTFE密封墊。在無(wú)特殊要求情況下，法蘭墊料按標(biāo)準(zhǔn)選用。 3、 風(fēng)管安裝：根據(jù)施工現(xiàn)場(chǎng)情況，可以在地面連成一定的長(zhǎng)度，然后采用吊裝的方法就位；也可以把風(fēng)管一節(jié)一節(jié)地放在支架上逐節(jié)連接。一般安裝順序是先干管后支管。應(yīng)及時(shí)固定和調(diào)整支架，支架位置應(yīng)準(zhǔn)確，安裝應(yīng)平整牢固，與管子接觸應(yīng)緊密。4、對(duì)于暫時(shí)不安裝的孔洞不要提前打開(kāi)；暫停施工時(shí)，應(yīng)加蓋板，以防墜人墜物事故發(fā)生。 5、 防火閥安裝，方向位置應(yīng)正確，易熔件應(yīng)迎氣流方向。排煙閥手

8、動(dòng)裝置（預(yù)埋導(dǎo)管）不得出現(xiàn)死彎及癟管現(xiàn)象，手動(dòng)密閉閥安裝時(shí)閥門(mén)上標(biāo)志的箭頭方向應(yīng)與受沖擊波方向一致。 6、安裝必須牢固，位置、標(biāo)高和走向符合設(shè)計(jì)要求，部件方向正確，操作方便。防火閥檢查孔的位置必須設(shè)在便于操作的部位。 9、潔凈系統(tǒng)風(fēng)管連接必須嚴(yán)密不漏；法蘭墊料及接頭方法必須符合設(shè)計(jì)要求和施工規(guī)范規(guī)定。 上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工步驟及方法：10、潔凈系統(tǒng)柔性短管所采用的材料，必須不產(chǎn)塵、不透氣，內(nèi)壁光滑；柔性短管與風(fēng)管，設(shè)備的連接必須嚴(yán)密不漏，并做好各項(xiàng)預(yù)檢工程檢查記錄表及技術(shù)交底。 11、二次配風(fēng)管安裝要了解機(jī)臺(tái)所排介質(zhì)，所排介質(zhì)中有液體的接點(diǎn)，

9、不允許有存水彎出現(xiàn)，如果因其他原因造成存水彎的出現(xiàn)，一定要在存水彎的底部開(kāi)排水口，并接入廢水管。12、二次配：Local Scrubber設(shè)備在安裝風(fēng)管時(shí)應(yīng)要注意（Local Scrubber設(shè)備通常會(huì)放在下夾層，TAKE OFF點(diǎn)都會(huì)高過(guò)Local Scrubber設(shè)備的接口，設(shè)備在處理過(guò)程中會(huì)有水蒸汽帶進(jìn)風(fēng)管中，水會(huì)越積越多，設(shè)備出口自帶止回閥，液體回不到設(shè)備中，風(fēng)管就會(huì)被堵死），安裝方法見(jiàn)圖：13、二次配：對(duì)于放在二樓的設(shè)備，主系統(tǒng)風(fēng)管在下夾層，要穿過(guò)RC孔去接設(shè)備，會(huì)堪時(shí)了解所排介質(zhì)中是否有液體，沒(méi)有液體的設(shè)備下夾層風(fēng)管可以水平安裝，有液體的設(shè)備風(fēng)管安裝要有坡度，通常有液體的機(jī)臺(tái)風(fēng)管安裝坡度3-5，且中間沒(méi)有存水彎出現(xiàn)。風(fēng)管躲其他系統(tǒng)的管路，風(fēng)管只可以往上彎，不可以往下彎。14、二次配風(fēng)管在現(xiàn)場(chǎng)切割：特氟龍風(fēng)管絕對(duì)不準(zhǔn)使用角磨機(jī)切割片切割，可以使用曲線鋸及手提盤(pán)鋸切割，切口要平整度一致，操作時(shí)要一人切割，一人拿吸塵器對(duì)準(zhǔn)切割口吸塵。上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工步驟及方法：17、二次配安裝風(fēng)管安裝方法及固定支架安裝見(jiàn)下圖。上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工步驟及方法：15、二次配風(fēng)管翻遍：翻遍前檢查機(jī)械是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常，翻遍磨具是否有異物、毛刺。