工廠無塵車間管理規(guī)定

1、文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號(hào)保密等級(jí)制/修訂/日期：校對(duì)/日期：審核/日期：核準(zhǔn)/日期：發(fā)文/日期：受控狀態(tài)（蓋章）：分發(fā)號(hào)：會(huì)簽部門會(huì)簽人員外延制造部芯片制造部人資行政部采購部銷售管理部生管部廠務(wù)設(shè)備部客服部運(yùn)宮中心技木中心品管部文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號(hào)保密等級(jí)版別日期撰寫者變更要旨Rev.12018-8-5張屏躍新增文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號(hào)保密等級(jí)1.0目的：為創(chuàng)建整潔安全生產(chǎn)環(huán)境及規(guī)范人員對(duì)無塵室的正確操作，確保無塵室環(huán)境符合生產(chǎn)條件之要求特制定本規(guī)定。2.0范圍：凡進(jìn)入無塵室內(nèi)所有人、機(jī)器、物品、原物料、產(chǎn)品等，均屬本規(guī)范管制范圍3.0

2、權(quán)責(zé)：4.0定義：5.0作業(yè)程序：5.1 人員管理規(guī)定5.1.1 不定期對(duì)員工進(jìn)行無塵室的管理規(guī)定培訓(xùn)。5.1.2 進(jìn)入無塵室時(shí)必須穿戴自己的無塵衣帽和無塵鞋，不可隨意穿戴他人無塵衣帽和 無塵鞋5.1.3 外賓及廠商人員如需進(jìn)入無塵室時(shí)，需要經(jīng)生產(chǎn)部門最高主管許可后并有本司人 員陪同下方可進(jìn)入5.2 更衣室管理規(guī)定更衣室分為換鞋處、男一更、男二更、女一更、女二更。以下簡(jiǎn)述各區(qū)域作用，及員工 進(jìn)入無塵車間的流程及規(guī)范。5.2.1 各區(qū)域作用：5.2.1.1 換鞋處：為員工放置自己鞋子的區(qū)域。5.2.1.2 一更：為員工放置自己外套及個(gè)人物品的區(qū)域。5.2.1.3 二更：為員工更換無塵服、無塵鞋的

3、區(qū)域。5.2.2 更衣室使用流程5.2.2.1 換鞋 員工從樓梯口進(jìn)入廠房，通過設(shè)備進(jìn)口通道，進(jìn)入換鞋區(qū)，在換鞋區(qū)門口先脫鞋，并將鞋子拿起放至鞋柜，如圖1箭頭標(biāo)示步驟1所示。5.2.2.2 至一更放置外套等個(gè)人物品從換鞋區(qū)進(jìn)入一更，將外套及其他個(gè)人物品放置個(gè)人柜子，個(gè)人柜子不要放置貴重物品以免丟失，如圖1步驟2。5.2.2.3 至二更穿戴無塵服及無塵鞋如圖1步驟3。文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號(hào)保密等級(jí)圖15.3 無塵室內(nèi)著裝規(guī)定5.3.1 進(jìn)入無塵室的人員需穿著合適的無塵服、鞋子等，以免無塵衣服鞋子過小或者過 大而讓穿著者感到不適。5.3.2 進(jìn)入無塵室穿戴著裝要求：穿無塵服一穿

4、無塵鞋一戴頭套一拉好拉鏈，要求頭發(fā) 無外露、頭套塞入衣帽內(nèi)，拉鏈要拉到頭并貼好魔術(shù)貼、無塵服袖貼要綁好、褲腳要塞入無 塵鞋筒內(nèi)，至風(fēng)淋門口戴口罩、手套，長(zhǎng)頭發(fā)的要帶發(fā)套，防止頭發(fā)露出。5.3.3 戴口罩、手套步驟要求：先戴口罩，口罩需遮住口鼻，再戴手套，選擇合適自己 的手套型號(hào)（M S、L）,從手套開口處拿起手套穿戴，過程中手不要碰到手套的指套部分。文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號(hào)保密等級(jí)裝套鏈口頭拉圖2進(jìn)入無塵室穿戴標(biāo)準(zhǔn)5.4 進(jìn)入風(fēng)淋室規(guī)定5.4.1 風(fēng)淋室入口和出口的門不可同時(shí)打開5.4.2 空氣吹除未停止時(shí)，禁止將風(fēng)淋室的門打開5.4.3 進(jìn)入無塵室時(shí)，每次進(jìn)入風(fēng)淋室的人數(shù)不

5、得超過4人，出來時(shí)限制10人以下5.4.4 在風(fēng)淋室內(nèi)，須按照規(guī)定位置站立，不可移動(dòng)風(fēng)口的出風(fēng)角度5.4.5 空氣沐浴時(shí)，須雙手舉高，轉(zhuǎn)動(dòng)身體并輕拍打無塵服，以利灰塵吹除，無塵服不 可接觸墻壁和地板5.4.6 進(jìn)出風(fēng)淋室時(shí)，雙腳須多次踩踏粘塵墊，以利清除鞋底灰塵和異物5.4.7 空氣沐浴的吹除時(shí)間為20秒/次，吹除結(jié)束3秒后才可開門進(jìn)入無塵室5.5 無塵室內(nèi)紀(jì)律規(guī)定5.5.1 嚴(yán)禁攜帶食品、飲料、零食及私人物品進(jìn)入無塵室5.5.2 進(jìn)入無塵室的人員不可化濃妝、圖指甲油、留長(zhǎng)指甲文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號(hào)保密等級(jí)5.5.3 無塵室內(nèi)嚴(yán)禁嬉戲打鬧、奔跑、聚眾聊天、大聲喧鬧，聽音樂、

6、打瞌睡、看報(bào)刊 雜志等與工作無關(guān)的事項(xiàng)。5.5.4 剛做完劇烈運(yùn)動(dòng)，應(yīng)靜止10分鐘后方可進(jìn)入無塵室，飲酒者嚴(yán)禁進(jìn)入無塵室5.5.5 戴上手套后嚴(yán)禁觸膜臉部或人體任何其他裸露的皮膚，防止油脂污染，如不小心 觸摸到須立即更換新手套；5.6 無塵室內(nèi)使用物品規(guī)定5.6.1 進(jìn)入無塵室的任何物品必須經(jīng)過清潔處理后方可進(jìn)入5.6.2 原物料進(jìn)入車間前，必須將外包裝拆除（特殊原因無法拆除外包裝的要將外包裝 擦拭干凈），并將外表面擦拭干凈后通過貨淋進(jìn)入無塵室，避免將污染源帶進(jìn)無塵室。5.6.3 設(shè)備、儀器、備件等大件物品無法通過貨淋的，需要在進(jìn)入車間前進(jìn)行外表面清 潔，確保干凈后方可進(jìn)入。5.6.4 未經(jīng)允

7、許嚴(yán)禁在車間內(nèi)使用個(gè)人電腦、手機(jī)、U盤、移動(dòng)硬盤等可存儲(chǔ)設(shè)備，嚴(yán)禁在車間內(nèi)使用相機(jī)或者手機(jī)拍照和攝像。 必須使用U盤等存儲(chǔ)設(shè)備時(shí)需要經(jīng)過我司IT認(rèn)證 后方可使用。5.6.5 車間內(nèi)所有的USBg口禁止使用，更不允許用 USB口進(jìn)行充電。5.6.6 未經(jīng)許可嚴(yán)禁將車間內(nèi)的物品私自帶出。5.6.7 車間內(nèi)嚴(yán)禁明火5.7 無塵室內(nèi)施工規(guī)定5.7.1 進(jìn)入無塵室施工前要向部門主管提出施工申請(qǐng)，取得同意并發(fā)放施工證（外來人員用訪客證換取施工證，施工結(jié)束后將施工證換回訪客證）后方可進(jìn)行施工5.7.2 施工人員進(jìn)入無塵室要按照著裝規(guī)定穿好無塵服，并進(jìn)行必要的安全防護(hù)5.7.3 施工必要的工具和材料須按照無塵

8、室內(nèi)使用物品規(guī)定進(jìn)行必要的清潔處理后方 可進(jìn)入無塵室5.7.4 施工房間的設(shè)備、地面和墻壁等要做必要的防護(hù)措施，確保房間內(nèi)的設(shè)施不會(huì)損 壞。施工期間需要我司人員現(xiàn)場(chǎng)全程陪同。5.7.5 施工結(jié)束后，施工人員要將現(xiàn)場(chǎng)清理干凈，并將施工留下的垃圾一并帶出無塵室。5.7.6 車間內(nèi)施工如需用到明火，必須要廠務(wù)安全部門的人員在場(chǎng)監(jiān)督。5.8 無塵衣、帽、鞋清洗規(guī)定5.8.1 無塵衣帽必須按照要求懸掛在衣架上， 無塵鞋按照編號(hào)放置在鞋架上，不得隨意文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號(hào)保密等級(jí)放置5.8.2 無塵衣帽和無塵鞋每周清洗一次， 發(fā)現(xiàn)無塵服臟污必須第一時(shí)間更換，絕對(duì)禁止穿著臟污的無塵服作業(yè)

9、。車間只允許穿著同一種標(biāo)識(shí)顏色的無塵服。5.8.3 品保要定期對(duì)無塵服進(jìn)行檢測(cè)，包括清洗后的潔凈度是否合格，無塵服的防靜電 功能是否達(dá)標(biāo)。5.9 無塵室潔凈度規(guī)定5.9.1 溫濕度監(jiān)測(cè)程序5.9.1.1 測(cè)頻率：2次/天（早晚班各一次）5.9.1.2 監(jiān)測(cè)地點(diǎn)：車間正中間位置（勿在排風(fēng)口附近、人員聚集地）5.9.1.3 記錄員：品保人員5.9.1.4 填寫無塵室環(huán)境監(jiān)測(cè)表無塵室溫濕度監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)：溫度：22 c ± 2C 濕度：55%RHt 10%5.9.2 塵埃粒子監(jiān)測(cè)程序5.9.2.1 量測(cè)頻率：2次/天（早晚班各一次）5.9.2.2 量測(cè)地點(diǎn)：車間正中間位置（勿在排風(fēng)口附近、人員聚

10、集地）5.9.2.3 測(cè)量高度：離地1.2米5.9.2.4 測(cè)量員及記錄員：品保人員5.9.2.5 測(cè)量步驟：見xxxxx文件5.9.2.6 填寫無塵室環(huán)境監(jiān)測(cè)表5.9.3 如廠務(wù)系統(tǒng)發(fā)生變化，廠務(wù)要負(fù)責(zé)通知品保，品保立即對(duì)環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測(cè)，確保無 異常。5.9.4 無塵室潔凈度定義及監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)無塵室塵埃粒子監(jiān)控點(diǎn)及參考標(biāo)準(zhǔn)粒徑廠區(qū)監(jiān)控點(diǎn)潔凈等級(jí)規(guī)格上限0.5um (單位：pcs/m3)光刻T級(jí)35,200 (1000pcs/ft3)化學(xué)清洗T級(jí)352,000 (1000pcs/ft 3)蒸鍍T級(jí)352,000 (1000pcs/ft 3)晶圓測(cè)試T級(jí)352,000 (1000pcs/ft 3)DBRT級(jí)352,000 (1000pcs/ft 3)研磨一萬級(jí)3,520,000(10,000pcs/ft 3)切割一萬