三氯氫硅生產的火災危險及對策

1、三氯氫硅生產的火災危險及對策三氯氫硅又稱三氯硅烷、 硅氯 仿， 英文名稱： trichlorosilane或silicochloroform ，分子式為 SiHCl3，用于有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷的合成，是有機硅烷偶聯(lián)劑中最基本的單體，也是生產半導體硅、單晶硅的原料，隨著有機硅烷偶聯(lián)劑工業(yè)的發(fā)展而出現(xiàn)供不應求，生產量越來越大。一、三氯氫硅的理化特性及生產原理三氯氫硅是采用硅粉與氯化氫氣體在流化床反應器中生成。它是無色液體，易揮發(fā)，易潮解，在空氣中發(fā)生反應產生白煙，遇水分解，溶于苯、醚等有機溶劑。屬一級遇濕易燃物品，易燃易爆，遇水反應產生氯化氫氣體；它與氧化劑發(fā)生強烈反應，遇明火

2、、高熱時發(fā)生燃燒或爆炸。其物理特性如下： 比重：135；相對氣體密度： 47；沸點：318；飽和蒸氣壓（ 145） 5333Kpa；閃點： 139（開杯）；自燃溫度：175；爆炸下限： 69；爆炸上限： 70；溶解性：溶于苯、醚等有機溶劑；具有急性毒性。二、三氯氫硅生產的火災危險性分析三氯氫硅生產的原料都是不燃物質，但是其生產過程中的產物大都是易燃易爆物質，如氫氣、三氯氫硅、氯氣等。1、電解食鹽水的火災危險性（1）電解時有強大的電流通過， 如果電氣的絕緣不良極易產生電火花，電解車間經(jīng)常有氫氣泄漏， 遇到電火花或其它明火會發(fā)生燃燒或爆炸。（2）如氫氣與氯氣相混，達到爆炸極限范圍，遇光也會發(fā)生爆炸

3、。2、三氯氫硅合成的火災危險性SiHCl3的合成是在 280 300的溫度下進行的，已經(jīng)超過了 SiHCl3 的自燃溫度 175，在合成過程中如果 SiHCl3發(fā)生泄漏，或者空氣進入反應器，極易引起燃燒、爆炸或中毒事故。并且 SiHCl3有毒、遇水燃燒，給火災撲救帶來一定的困難。3、三氯氫硅貯罐的火災危險性SiHCl3的貯罐如果發(fā)生泄漏，其危險性遠遠大于工藝管道泄漏的危險性，因為其貯量大，一旦發(fā)生泄漏，如果不及時堵漏，影響會不斷擴大。貯罐區(qū)因為冷卻用水的需要，經(jīng)常有水存在，泄漏的SiHCl3 遇水發(fā)生反應，產生有毒的HCl，向四周擴散，給搶險救援工作帶來困難。三、防火防爆對策在三氯氫硅生產的各

4、個工序中，為防止火災、中毒，要嚴格執(zhí)行各項消防安全制度，嚴格控制工藝指標，嚴格操作規(guī)程。加強對設備管道的維護保養(yǎng)，嚴防跑、冒、滴、漏。具體預防措施如下：1、火源管理。在生產中進行檢修時使用的工具應該是不產生火花的工具，嚴禁用鐵器敲打設備或管道，工作人員應穿棉制品工作服。生產和貯罐區(qū)禁止明火，生產中動火要嚴格執(zhí)行有關安全管理制度。2、防止跑、冒、滴、漏。生產過程中產生的大都是易燃易爆有毒物質，生產設備、工藝管道和貯罐如果發(fā)生泄漏極易釀成火災、爆炸和中毒事故。因此，日常工作中要做好安全檢查，不留死角，設備要定期檢修，發(fā)現(xiàn)問題及時采取補救措施，修復存在跑、冒、滴、漏的部位。3、配置應急工具和消防設施

5、。應該配備一定數(shù)量的防毒面具、自給式空氣呼吸器、手套、堵漏工具。應急隊的人員要經(jīng)常進行演練，熟練掌握各種情況下的堵漏方法和處置措施。貯罐區(qū)常備干砂的量最好不少于一個貯罐的容積，廠內倉庫存放一定的水泥作應急之用。配備一定數(shù)量的手提式二氧化碳和干粉滅火器。4、生產工藝中的防火防泄漏措施。（1）三氯氫硅的合成、除塵和精餾工段。 HCl 氣體緩沖罐與合成爐之間應設止回閥，防止合成爐的 SiHCl3回到緩沖罐。應控制 HCl 氣體的流量，控制合成爐內的溫度。對設備管道要經(jīng)常進行維護保養(yǎng)，防止三氯氫硅泄漏。在生產中要保持整個系統(tǒng)的密閉，用 9999的氮氣進行保護。（2）三氯氫硅的儲存。三氯氫硅的沸點較低，

6、需在低溫下儲存，三氯氫硅的貯罐設置低溫保護裝置和降溫措施。由于三氯氫硅有潛在的燃燒爆炸危險，所以它的貯罐應與生產裝置要有一定的防火間距，并且要設防火堤，降溫水的排放管道經(jīng)過防火堤處要設閘閥。貯罐應設靜電接地裝置和避雷裝置。貯罐內的氣相要與氮氣系統(tǒng)相連進行保護，貯罐的氣相與外部連通的平衡管（放空管）應與尾氣回收系統(tǒng)相連，不能直接排空，并應設止回閥和阻火器。貯罐區(qū)應設一個備用罐，緊急情況下應將泄漏的貯罐內的物料轉移至備用罐，防止大量泄漏。四、泄漏處理和火災撲救生產和儲存中如果發(fā)生三氯氫硅泄漏，應根據(jù)泄漏量的大小劃出一定的警戒范圍，禁止無關人員和車輛進入警戒區(qū)，切斷警戒區(qū)內的所有火源，迅速撤離泄漏污染區(qū)內的人員至安全地帶。如果是貯罐發(fā)生泄漏，又不能及時排除泄漏，就應該將發(fā)生泄漏的貯罐內的三氯氫硅用氮氣壓入備用罐內。如果是生產中的設備和管道發(fā)生泄漏，應立即停止生產，并迅速關閉有關閥門切斷物料輸送。泄漏地帶有水源時，應用干砂土圍成隔離帶，將泄漏的三氯氫硅與水隔離開來。搶險人員進入危險區(qū)域時應佩戴自給式呼吸器或防毒面具。應先查明泄漏部位的泄