CFA1F新增RTR乾膜去膜線生產(chǎn)暫行規(guī)定

1、背景：現(xiàn)場存在無法照著原來規(guī)定的參數(shù)或作業(yè)方法進(jìn)行生產(chǎn)。 設(shè)計日期：2012/11/13目的：核準(zhǔn)作業(yè)有法定程序可循，以確保產(chǎn)品品質(zhì)並降低風(fēng)險。 編號：C00047247-C分發(fā)單位份數(shù)華通精密線路板(惠州)有限公司TEI申請表編號：現(xiàn)場單位(CFA1F)1制作單位制作者初審復(fù)審核準(zhǔn)品保處品管單位( CFQ13)1CFJ50羅志軒彭超吳榮晏工務(wù)單位( CFT01)1會審劉宏軍其他單位(CCU92 )1現(xiàn)場品管Q01158蔣文艷周賢臣王小新魏一文其他單位CCU92T01主管簽名楊艷何雪清1.TEI標(biāo)題：CFA1F新增RTR乾膜去膜線生產(chǎn)暫行規(guī)定. 2.有效期限：開始自 年 月 日，截止至 201

2、7 年1月 10日。(當(dāng)不以時間為限制，則不填截止日期，詳細(xì)填選6-1項(xiàng))3.TEI變更類別：3-1. 操作方法/參數(shù)3-2. 藥液控制/分析 3-3.清洗/更換/檢查/保養(yǎng)頻率 3-4.檢驗(yàn)方法/規(guī)格/頻率3-5. 生產(chǎn)流程變更 3-6. Utility(水)變更 3-7. 新增項(xiàng)目 3-8. 其他 4.原因/目的說明： o目前SOP不足/與現(xiàn)況不符，以此份TEI為暫行作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，供現(xiàn)場遵循。 預(yù)定SOP制定/修訂日期： 年 月 日 (若需申請CCB，請?zhí)畹?項(xiàng)) o異常發(fā)生， 製程發(fā)生 異常。 (附實(shí)驗(yàn)測試數(shù)據(jù)或group討論之改善計劃，理論依據(jù)) 工程測試，配合實(shí)驗(yàn)測試or CCB，進(jìn)行製

3、程能力改善、trouble shooting、新方法/設(shè)備/製程/物料之評估。 實(shí)驗(yàn)or CCB名稱：CFA1F新增RTR乾膜去膜線 ，實(shí)驗(yàn)?zāi)康模篊FA1F新增乾膜去膜線初步評估OK,開TEI驗(yàn)證生產(chǎn)品質(zhì)狀況 (附實(shí)驗(yàn)測試數(shù)據(jù)或改善計劃，理論依據(jù)、監(jiān)控方式) oCCB已核準(zhǔn)，核準(zhǔn)編號 預(yù)定SOP制定/修訂完日期：-年-月-日o其他，請說明： 5.原規(guī)定規(guī)範(fàn)名稱&編號： NA 6.TEI范圍和內(nèi)容： 6-1.範(fàn)圍：製程(站別)： H28R，線/機(jī)臺：o不限限制於RTR乾膜去膜線，物料：不限 o限制於 產(chǎn)品：不限o限制於(如下表)，數(shù)量：不限o限制於(詳如下表)，其他：料號不限數(shù)量不限 6

4、-2.內(nèi)容： 原 SPEC 規(guī) 定TEI 規(guī) 定NA具體參數(shù)見附件7實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證&品質(zhì)監(jiān)控方式：項(xiàng)次監(jiān)控點(diǎn)監(jiān)控項(xiàng)目抽樣量QC簽名備注1H28R板面壓傷5pnl/批郭秦雄2H28R板面皺褶2H28R去膜不全8.需 提CCB，名稱: CFA1F新增RTR乾膜去膜線 目前進(jìn)度 CP已通過 ,FWP預(yù)計提出日期： 2016/12/30 o不需CCB，原因： 9.此份TEI是否需回復(fù)TEI到期品質(zhì)分析報告 ？是，預(yù)定提出日期： 2016/12/30 o否。原因： 備注：1.此表單源自之SOP名稱TEI(Temporary Engineering Instructions )作業(yè)辦法2.流程

5、：申請人進(jìn)入Windchill系統(tǒng)以3S類上傳申請人課長初審à申請人部門主管復(fù)審à現(xiàn)場/品管單位會簽品保處核準(zhǔn)藍(lán)圖室編號&分發(fā)副本分發(fā)(現(xiàn)場)單位標(biāo)示並存檔至失效日止分發(fā)單位主動將文件歸還藍(lán)圖室管制PQE回復(fù)到期品質(zhì)分析報告(若需要).保存年限03年（依據(jù)：文件,記錄管理辦法） 填表日期：2016/12/3TEI申 請 表1. RTR去膜線參數(shù)Unit process控制點(diǎn)儀表設(shè)定值操作範(fàn)圍檢查備注頻率放板基板扭力操作介面250mm：5070%500mm：80100%250mm：5070%500mm：80100%1次/班基板轉(zhuǎn)速操作介面250mm：610rpm500

6、mm：610rpm250mm：610rpm500mm：610rpm1次/班線速速度速度表2 m/min2±0.2m/min; 1次/班板寬設(shè)定板寬操作介面250mm or 500mmNA1次/lot依板子實(shí)際寬幅設(shè)定去膜段溫度儀表5050±51次/班噴壓（上/下）壓力表1.6 Kg/cm21.6±0.5Kg/cm2去膜自動添加操作界面7L/4m27±1L/4m21次/月工務(wù)校正新液洗自動添加操作界面1L/4m21±0.2L/4m2剝膜噴霧1頻率操作界面45451次/班剝膜噴霧2頻率操作界面4545剝膜噴霧3頻率操作界面4545剝膜震盪操作界面4

7、545消泡劑自動添加操作界面0.8L/50m20.8±0.2L/50m21次/月工務(wù)校正水洗13#噴壓壓力表上噴：1.4 Kg/cm21.4±0.2Kg/cm21次/班下噴：1.4Kg/cm21.4±0.2Kg/cm2溢流量操作界面4±1L/min4±1L/min酸洗(H2SO4)噴壓壓力表上噴：1.4 Kg/cm21.4±0.2Kg/cm21次/班下噴：1.4Kg/cm21.4±0.2Kg/cm2自動添加操作界面8L/100m20.8±0.2L/100m21次/月工務(wù)校正水洗47#噴壓壓力表上噴：1.4 Kg/c

8、m21.4±0.2Kg/cm21次/班下噴：1.4Kg/cm21.4±0.2Kg/cm2溢流量操作界面4±1L/min4±1L/min乾燥段溫度溫度表8080±51次/班風(fēng)刀1頻率操作界面60601次/班風(fēng)刀2頻率操作界面6060風(fēng)刀3頻率操作界面6060收板基板扭力操作介面250mm：5070%500mm：80100%250mm：5070%500mm：80100%1次/班基板轉(zhuǎn)速操作介面250mm：610rpm500mm：610rpm250mm：610rpm500mm：610rpm1次/班2. 藥液配置/當(dāng)槽/洗槽/濾芯更換位置藥液濃度槽體積

9、配槽方法當(dāng)槽頻率洗槽頻率濾芯更換濾芯規(guī)格廢水洗槽方法剝膜槽NaOH3+/1%1550LA. 打開新液控制閥門B. 添加新液至標(biāo)準(zhǔn)液位C. 關(guān)閉新液控制閥門1次/周1次/周1次/周20inch*200um纏繞式濾芯D1.去膜槽洗槽步驟A.將廢液排放至D類廢液槽後，關(guān)閉D類排放閥；B.將槽內(nèi)膜渣清洗乾淨(jìng)C.將各槽注滿CT水，開啟循環(huán)噴灑30min，將槽液排放至D類廢水，關(guān)閉D類排放閥；D.將所有槽子注入CT水至半槽，去膜槽倒入DT-CUII 225L (濃度約15%)，取41LDT-CUII倒入新液洗,然後再以CT水注滿各槽，開啟噴灑傳動2小時（去膜槽溫度50），將槽液排放至E/E1類廢水槽，關(guān)閉

10、E/E1類廢水排放閥。E.將所有槽子注滿CT水，開啟噴灑傳動30min，打開廢水排放閥，將廢水排放至E廢水管路中，關(guān)閉E類廢水排放閥；F.將所有槽子注滿SW水，開啟循環(huán)噴灑傳動30min，將槽液排放至A類廢水槽，關(guān)閉A類廢水排放閥。2.水洗/酸洗槽洗槽步驟A.將廢液排放至A類廢液槽後，關(guān)閉A類排放閥；B.將槽注滿SW水，開啟循環(huán)噴灑30min，將槽液排放至A類廢水，關(guān)閉A類排放閥；C.將槽子注入SW水至半槽，倒入1/5 槽體體積的DT-CUII (濃度20%)，然後再以CT水注滿，開啟噴灑傳動30min，將槽液排放至A類廢水槽，關(guān)閉A類廢水排放閥。D.將槽子注滿SW水，開啟噴灑傳動30min，

11、打開廢水排放閥，將廢水排放至廢水管路中，關(guān)閉E類廢水排放閥；E.將所有槽子注滿SW水，開啟循環(huán)噴灑傳動30min，將槽液排放至A類廢水槽，關(guān)閉A類廢水排放閥。新液洗NaOH3+/1%275LA. 打開新液控制閥門B. 添加新液至標(biāo)準(zhǔn)液位C. 關(guān)閉新液控制閥門1次/周1次/周1次/周20inch*200um纏繞式濾芯D水洗13SWNA100L加SW水至溢流液位1次/班1次/周1次/周10 inch*5um PP濾芯E酸洗槽H2SO44+/-2%400LA. 先加入1/2槽DI水于槽中；B. 緩慢加入50%H2SO4 35L于槽中；C.補(bǔ)充DI水至標(biāo)準(zhǔn)液位1次/天1次/周1次/周20inch*20

12、um纏繞式濾芯A水洗47SWNA100L加SW水至溢流液位1次/班1次/周1次/周10 inch*5um PP濾芯A3.藥液分析及調(diào)整槽名溶液組成（濃度）體積(L)分析項(xiàng)目(操作範(fàn)圍)分析項(xiàng)目(警戒範(fàn)圍)分析頻率分析方法調(diào)整方法去膜槽NaOH:3%15503±1%3±0.5%1次/天a. 取樣2 ml, 加入100ml D.I水b. 加入2-3滴MR指示劑c. 以0.1 N HCL滴定至顏色呈紅色d. 計算:NaOH W%=所滴HCL ml×0.390NaOH濃度異常處置：當(dāng)發(fā)現(xiàn)NaOH濃度超出警訊界限時，需將去膜槽&去膜新液洗當(dāng)槽，並請工務(wù)查檢管道及自動

13、添加是否有異常，檢修OK后再將總塔的NaOH藥液注入到去膜槽&去膜新液洗內(nèi)，並由現(xiàn)場取樣至化驗(yàn)室分析.去膜新液洗NaOH:3%275L3±1%3±0.5%1次/天酸洗槽H2SO44%400L4±2%4±1%1次/天a.取槽液1ml置於250ml錐形瓶中；b.槽液50mlDI水；c.加入2滴甲基橙指示劑；d.以1.0N NaOH滴定至淡黃色；e.計算H2SO4%=滴數(shù)(ml) × 2.66。H2SO4不足加入H2SO4 =(4-X)×400÷100×2.6 L H2SO4過高：排出(X-4)/X×4

14、00L藥液，並加入等量SW水4.Station monitor項(xiàng)目製程線別管制項(xiàng)目所使用Coupon名稱控制範(fàn)圍/規(guī)格(Operation Window/SPEC)警訊界線(Trigger Limit)量測方式/儀器管制頻率管制方式異常處理依據(jù)定期工具(文件名稱)查檢表管制圖SOP(表單名稱)(編號)RTR去膜線去膜點(diǎn)3661um銅板30%-50%35%或45%將去膜線操作參數(shù)調(diào)整到正常範(fàn)圍內(nèi)，將約7m銅膜板壓膜空曝后從去膜入料段依次放板，當(dāng)板子的前端剛走出去膜段時,關(guān)閉去膜槽的傳動及噴壓，從交接段拿出，再按原放板順序擺放板子,用卷尺量測去膜幹淨(jìng)的長度,並計算去膜點(diǎn).去膜點(diǎn)計算方法:(去膜槽總

15、槽長-去膜干淨(jìng)槽長)/去膜槽總槽長1次/周(周一日班量測)去膜點(diǎn)記錄表N/A製程（設(shè)備）：異常需立即停線檢查，藥液異常需重新配比藥液，更換新的藥液需拿到化驗(yàn)室分析，藥液分析OK後方能生產(chǎn)異常板：提MRB處理5. 濾芯更換5-1. 更換頻率 全線濾芯更換頻率1次/ 周；備注：所有槽壓力不足/目視干膜屑過多時需及時更換濾芯；去膜槽用纏繞式濾芯(200um)，水洗用PP濾芯(5um)5-2.水洗槽濾芯更換步驟a. 先停線排掉各更換槽廢液, b. 扭開過濾罐，取出濾芯（緩慢抽出，防止濾芯之異物掉落）。c. 核對濾芯規(guī)格(5um)是否正確將新濾芯裝上，擰緊過濾罐d. 打開噴壓，檢查是否漏液，若漏液則重新

16、裝過濾罐 5-3.去膜槽濾芯更換步驟e. 先停線排掉各更換槽廢液, f. 開排水閥門排水。g. 扭開蓋子，取出濾芯（緩慢抽出，防止濾芯之異物掉落）。h. 用清水緩慢沖下將底部異物沿異物排水口沖出。（水不宜過大防止異物進(jìn)入入水口）。i. 沖乾淨(jìng)后核對濾芯規(guī)格(5um)是否正確將新濾芯裝上,并將蓋子蓋上，並擰緊螺絲。6. 過濾桶清潔 6-1.清潔頻率:每週清槽后 6-2.清潔步驟: a. 關(guān)閉過濾器之進(jìn)水閥，出水閥，打開異物排放閥。b. 拆除噴嘴,開壓著片緊固螺絲，取下濾芯壓著片,取出濾芯（緩慢抽出，防 止濾芯之異物落入過濾桶中）。c. 用清水沿過濾桶壁緩慢沖下將底部異物沿異物排水口沖出。（水不宜過大防止異物進(jìn)入入水口）。d. 沖乾淨(jìng)后將新濾芯裝上,壓緊彈簧及壓著片，并鎖緊將過濾蓋蓋上