萊寶鍍膜機(jī)日常保養(yǎng)和維護(hù)(修改)(1)

1、2011/10/152011/10/15第一版A2編編 寫：何劍坪寫：何劍坪審審 核：核：批批 準(zhǔn)：準(zhǔn)：部部 門：門：IRIR一部一部編寫日期編寫日期：20122012年年5 5月月8 8日日培訓(xùn)目錄1.泵的維護(hù)和保養(yǎng)2.真空計(jì)維護(hù)和保養(yǎng)3.離子源的維護(hù)和保養(yǎng)4.光控維護(hù)和保養(yǎng)5.日常保養(yǎng)泵的維護(hù)和保養(yǎng)泵的維護(hù)和保養(yǎng)泵的維護(hù)和保養(yǎng)萊寶機(jī)泵分類萊寶機(jī)泵主要分為下列四種：1.前級(jí)真空泵即機(jī)械泵2.羅茨泵3.擴(kuò)散泵4.Polycold壓縮泵 由于萊寶機(jī)羅茨泵和Polycold壓縮泵工作性質(zhì)和結(jié)構(gòu)較特殊，不在保養(yǎng)之列，在此也不做介紹。泵的維護(hù)和保養(yǎng)泵的維護(hù)和保養(yǎng)一、前級(jí)真空泵（機(jī)械泵）維護(hù)和保養(yǎng)1、基

2、本定義： 前級(jí)真空泵俗稱機(jī)械泵，屬于2級(jí)（高低旋片）旋片式真空泵。高旋片旋轉(zhuǎn) 帶動(dòng)氣體通過腔體經(jīng)低旋片排出。2、保養(yǎng)目的： 旋片在高速轉(zhuǎn)動(dòng)過程中需要大量真空泵油潤(rùn)滑，而真空泵油在長(zhǎng)期直接 接觸大氣和旋片高速旋轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的高溫條件下容易發(fā)生質(zhì)變，所以需對(duì)其進(jìn) 行定期更換。3、保養(yǎng)方法： 更換油時(shí)需將原來的舊油全部放掉，再將泵芯拆下，清潔泵芯殘留物和 油污。拆下低轉(zhuǎn)片排氣口閥片，檢查其是否有斷裂并用丙酮和M3尼龍紗布清 潔其表面油污然后裝回。4、注意事項(xiàng)： a、清潔完后需更換一些必要配件，如：過濾網(wǎng)、油封、軸套、密封墊等 b、裝回備件后將新油加入可視窗一半左右位置即可。工作過程中需定期對(duì) 其進(jìn)行點(diǎn)檢

3、，包括轉(zhuǎn)動(dòng)是否有異常聲音；油位是否在正常位置等。二、擴(kuò)散泵的維護(hù)和保養(yǎng)二、擴(kuò)散泵的維護(hù)和保養(yǎng)1 1、基本基本定義定義： 擴(kuò)散泵又稱金屬油擴(kuò)散泵。所謂擴(kuò)散就是氣體密度均勻化的一種過程， 擴(kuò)散泵底部油受熱呈霧狀經(jīng)導(dǎo)流管從泵的噴嘴噴出向四周定向高速膨 脹（而不是射流），被抽容器的氣體分子擴(kuò)散到油霧膨脹波中，經(jīng)碰 撞壓縮后被逐級(jí)送到泵出口被前級(jí)泵抽走，油蒸汽在泵壁遇冷成油流 回泵底重新受熱循環(huán)工作。2 2、保養(yǎng)目的：、保養(yǎng)目的： 擴(kuò)散泵油在抽氣過程中會(huì)將空氣中粉塵和其他雜質(zhì)帶入泵底，雜質(zhì)和 粉塵在泵底高溫狀態(tài)下容易發(fā)生質(zhì)變，泵油與空氣接觸后流回泵底與 質(zhì)變的 雜質(zhì)接觸，就會(huì)使油質(zhì)逐漸變壞，就是俗稱的“

4、氧化”，所以 需定期對(duì)擴(kuò)散泵油進(jìn)行更換，并對(duì)泵體及泵芯進(jìn)行清潔3 3、保養(yǎng)方法、保養(yǎng)方法 將擴(kuò)散泵從設(shè)備上拆下后逐級(jí)取下泵芯，用丙酮和碎布清潔整個(gè)泵內(nèi)壁 及其所有泵芯上面的油污和油垢，自然晾干后再逐級(jí)裝回即可4 4、注意事項(xiàng)：注意事項(xiàng)： a、泵芯要輕拆輕放，不可碰撞，防止變形 b、注意泵芯水冷密封圈要平滑裝入 c、注入新油油量約為5升左右 d、裝好泵后需對(duì)泵進(jìn)行檢漏，并預(yù)抽真空到4.0E-2mba左右方可加 熱投入工作泵的維護(hù)和保養(yǎng)泵的維護(hù)和保養(yǎng)真空計(jì)的維護(hù)和保養(yǎng)萊寶萊寶機(jī)所用真空計(jì)分類機(jī)所用真空計(jì)分類 萊萊寶鍍膜機(jī)目前所使用的寶鍍膜機(jī)目前所使用的真空計(jì)有：真空計(jì)有： 皮拉尼皮拉尼規(guī)規(guī)PSG5

5、00 電離電離-皮拉尼皮拉尼復(fù)合規(guī)復(fù)合規(guī) 冷冷電離電離規(guī)即潘寧規(guī)規(guī)即潘寧規(guī) 電離皮拉尼復(fù)合規(guī)不在保養(yǎng)之列，在此不做介紹真空計(jì)的真空計(jì)的維護(hù)和保養(yǎng)維護(hù)和保養(yǎng)一、皮拉尼規(guī)的保養(yǎng)一、皮拉尼規(guī)的保養(yǎng)1 1、皮拉尼規(guī)的原理：皮拉尼規(guī)的原理： 皮拉尼規(guī)的型號(hào)很多，如皮拉尼規(guī)的型號(hào)很多，如PSG400/S,PSG050,PSG500等，我們現(xiàn)在等，我們現(xiàn)在使用使用的的是是PSG500型號(hào)，如下圖：型號(hào)，如下圖： 其基本工作的原理為：內(nèi)部熱絲發(fā)其基本工作的原理為：內(nèi)部熱絲發(fā) 熱能量隨氣體濃度變化而變化，其熱能量隨氣體濃度變化而變化，其 變化的比例關(guān)系就通過計(jì)算后經(jīng)顯變化的比例關(guān)系就通過計(jì)算后經(jīng)顯 示器反應(yīng)其真

6、空度變化。示器反應(yīng)其真空度變化。 當(dāng)真空度當(dāng)真空度測(cè)量不測(cè)量不準(zhǔn)確，通過調(diào)節(jié)零準(zhǔn)確，通過調(diào)節(jié)零 點(diǎn)而無法恢復(fù)時(shí)，說明其燈絲已經(jīng)點(diǎn)而無法恢復(fù)時(shí)，說明其燈絲已經(jīng) 污染，需要清洗。污染，需要清洗。 真空計(jì)的真空計(jì)的維護(hù)和保養(yǎng)維護(hù)和保養(yǎng)2 2、皮拉尼規(guī)的維護(hù)（清洗）皮拉尼規(guī)的維護(hù)（清洗） 清洗步驟：清洗步驟： a a、如圖、如圖拆開，拆開，移開移開 燈絲部分的擋板燈絲部分的擋板 b b、加入丙酮浸泡、加入丙酮浸泡5 5 分鐘分鐘 c c、倒出丙酮，放置、倒出丙酮，放置 自然干燥自然干燥 d d、安裝燈絲擋板安裝燈絲擋板 e e、連接好線路開機(jī)、連接好線路開機(jī) 調(diào)節(jié)零調(diào)節(jié)零點(diǎn)點(diǎn) 真空計(jì)的真空計(jì)的維護(hù)和保

7、養(yǎng)維護(hù)和保養(yǎng)燈絲 二、潘寧規(guī)（冷電離規(guī)）的保養(yǎng)（清洗）1 1、潘寧規(guī)的工作原理：、潘寧規(guī)的工作原理： 潘寧規(guī)是通過陰極環(huán)放電產(chǎn)生電子，在磁場(chǎng)的作用下獲得能量使氣體 分子電離。電離后的電離子數(shù)量通過計(jì)算經(jīng)顯示器反應(yīng)真空度。潘寧 規(guī)真空度主要作用是提供離子源真空參數(shù)。2 2、潘寧規(guī)的清洗：、潘寧規(guī)的清洗： 照下圖方法拆卸潘寧規(guī)： a、用鑷子拆下陰極片 b、拆下陰極環(huán)，注意 輕搖輕晃，不能過 度搬動(dòng)，防止斷裂 c、倒出陶瓷絕緣墊 d、將所有拆下的配件 放入丙酮容器中浸 泡5分鐘后自然晾干 真空計(jì)的真空計(jì)的維護(hù)和保養(yǎng)維護(hù)和保養(yǎng)3 3、潘寧規(guī)的安裝：、潘寧規(guī)的安裝： 潘寧規(guī)清洗完后自然晾干，如下圖用鑷子

8、將配件逐個(gè)裝回即可： a、裝入陶瓷片 b、插入陰極環(huán) c、調(diào)整陰極環(huán)位 置與兩壁平行 d、裝入陰極片 注意：拆裝過程中 不可用手觸碰 內(nèi)部任何配件， 否則將會(huì)在工 作時(shí)引起打火！ 真空計(jì)的真空計(jì)的維護(hù)和保養(yǎng)維護(hù)和保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)一、離子源的工作一、離子源的工作原理原理1 1、離子源的工作原理：、離子源的工作原理： 離子源是采用低電壓（離子源是采用低電壓（8V8V）高電流（最高可達(dá)）高電流（最高可達(dá)250A250A）使石墨加）使石墨加熱器加熱陰極（六硼化鑭）發(fā)射帶有負(fù)電荷的電子，負(fù)電荷的電子跟熱器加熱陰極（六硼化鑭）發(fā)射帶有負(fù)電荷的電子，負(fù)電荷的電子跟陽極正電壓之間形成一陽極正電壓之間形成

9、一個(gè)個(gè)等離子源等離子源。負(fù)電荷電子跟所充氬氣發(fā)生碰撞負(fù)電荷電子跟所充氬氣發(fā)生碰撞使氬離子電離，電離后的氬離子帶有負(fù)電荷經(jīng)線圈磁場(chǎng)作用向上運(yùn)動(dòng)使氬離子電離，電離后的氬離子帶有負(fù)電荷經(jīng)線圈磁場(chǎng)作用向上運(yùn)動(dòng)轟擊真空室的氧氣和材料分子，增加其跟基片的附著力。轟擊真空室的氧氣和材料分子，增加其跟基片的附著力。 離子源的維護(hù)和保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)二、離子源的結(jié)構(gòu)二、離子源的結(jié)構(gòu) 離子源結(jié)構(gòu)如下離子源結(jié)構(gòu)如下圖圖1.21.2所所示示： 1 2 3 4 1 2 3 4 離子源離子源分為陽極、陰極、線圈三大部分分為陽極、陰極、線圈三大部分a a、陽極分為陽極分為陽極管，陽極

10、保護(hù)管、護(hù)殼和陽極管，陽極保護(hù)管、護(hù)殼和TP150TP150組成（如圖組成（如圖5.7.85.7.8）b b、陰極分為石墨加熱器，六硼化鑭陰極，加熱器底座，三氧化二鋁片和一些陶瓷、陰極分為石墨加熱器，六硼化鑭陰極，加熱器底座，三氧化二鋁片和一些陶瓷 絕緣器件和絕緣器件和TP250TP250組成（如圖組成（如圖3.4.63.4.6）c c、線圈分為偏轉(zhuǎn)線圈，線圈電流發(fā)生器線圈分為偏轉(zhuǎn)線圈，線圈電流發(fā)生器組成（如圖組成（如圖9 9） 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9三、配件更換及保養(yǎng)三、配件更換及保養(yǎng)1 1、工具準(zhǔn)備：、工具準(zhǔn)備： 更換離子源配件需如下工具：更換離子源配件需如下工具： 加熱器

11、陰極提取器加熱器陰極提取器 底座陶瓷夾底座陶瓷夾 陽極保護(hù)管（陽極筒）提取陽極保護(hù)管（陽極筒）提取器器 陽極管護(hù)陽極管護(hù)殼提取器殼提取器離子源的維護(hù)和保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)2 2、配件更換：、配件更換： 1 1、拿拿掉鋼環(huán)掉鋼環(huán) 5 5、再再依次取下如圖配件依次取下如圖配件 2 2、用用陽極筒提取器取出陽極筒提取器取出 陽極筒陽極筒 3 3、用、用加熱器提取加熱器提取器器 6 6、用長(zhǎng)鑷子取出陶瓷環(huán)、用長(zhǎng)鑷子取出陶瓷環(huán) 取出加熱器取出加熱器和陰極和陰極 4 4、拿拿掉陰極掉陰極 7.7.用用底座陶瓷夾子取出底座陶瓷夾子取出 底座陶瓷底座陶瓷 離子源的保養(yǎng)和維護(hù)離子源的保養(yǎng)和維護(hù) 1. 1.裝底

12、座陶裝底座陶 4.4.將裝好的加熱器裝回將裝好的加熱器裝回 瓷環(huán)瓷環(huán) 加熱器提取器中加熱器提取器中 2. 2.裝三氧化二鋁裝三氧化二鋁 片和片和27.527.5陶瓷陶瓷 5.5.將加熱器裝回離將加熱器裝回離 環(huán)環(huán) 子源子源 3. 3. 依次依次將將21.521.5陶瓷環(huán)陶瓷環(huán) 6.6.裝入裝入32.532.5陶瓷環(huán)陶瓷環(huán) 11.5 11.5陶瓷環(huán)和陰極陶瓷環(huán)和陰極 裝回加熱器裝回加熱器 離子源的維護(hù)和保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)3 3、配件裝配：、配件裝配： 7. 7.把陽極筒裝回離子源把陽極筒裝回離子源 8. 8.將鋼環(huán)平滑裝回將鋼環(huán)平滑裝回 9. 9. 裝好后的離子源裝好后的離子源離子源的維護(hù)和

13、保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)注意事項(xiàng)：注意事項(xiàng)：1.1.提取陽極筒和加熱器時(shí)不可搖晃，需一次提出，以免損提取陽極筒和加熱器時(shí)不可搖晃，需一次提出，以免損 傷陽極筒和弄斷加熱器，裝回亦是如此。傷陽極筒和弄斷加熱器，裝回亦是如此。2.2.陰極和陶瓷陰極和陶瓷器件容易損壞，取器件容易損壞，取、裝時(shí)、裝時(shí)需輕拿輕放需輕拿輕放3.3.將加熱器裝回加熱器提取器中時(shí)，加熱器底部刻槽應(yīng)對(duì)將加熱器裝回加熱器提取器中時(shí)，加熱器底部刻槽應(yīng)對(duì) 齊箭頭方向齊箭頭方向4.4.裝鋼環(huán)時(shí)注意鋼環(huán)表面清潔，需用純棉布擦拭后方可裝裝鋼環(huán)時(shí)注意鋼環(huán)表面清潔，需用純棉布擦拭后方可裝 回回5.5.整個(gè)作業(yè)過程中雙手需戴純棉手套作業(yè)。整個(gè)作業(yè)

14、過程中雙手需戴純棉手套作業(yè)。6.6.離子源所有配件不可接觸油污灰塵等污染物。離子源所有配件不可接觸油污灰塵等污染物。7 7. .裝好離子源后需對(duì)其進(jìn)行全面吸塵方可工作。裝好離子源后需對(duì)其進(jìn)行全面吸塵方可工作。離子源的維護(hù)和保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)新舊耗材對(duì)比：新舊耗材對(duì)比：新陽極筒新陽極筒 舊陽極筒舊陽極筒 新陰極新陰極 使用使用 使用時(shí)使用時(shí) 污染污染 時(shí)間時(shí)間 間長(zhǎng)（間長(zhǎng)（ 陰極陰極 較短較短 有毒）有毒）注意：使用和污染后的陰極都有毒，不可直接接觸皮膚！注意：使用和污染后的陰極都有毒，不可直接接觸皮膚！離子源的維護(hù)和保養(yǎng)離子源的維護(hù)和保養(yǎng)光控的維護(hù)和保養(yǎng)1.1.光控的維護(hù)和保養(yǎng)光控的維護(hù)和保養(yǎng)光控的維護(hù)和保養(yǎng)光控的維護(hù)和保養(yǎng)3.3.光控的維護(hù)和保養(yǎng)光控的維護(hù)和保養(yǎng)日常保養(yǎng)日常保養(yǎng)日常保養(yǎng)1材料擋板清潔噴砂次/1爐2陽極簡(jiǎn)清潔噴砂次/1爐3內(nèi)左右護(hù)板清潔噴砂次/2爐4外左右護(hù)板清潔噴砂次/1爐5OMS3000清零次/1天6底護(hù)板清潔噴砂次/8爐7掛環(huán)清潔噴砂次/8爐8基片架清潔噴砂次/10爐9離子源擋板清潔噴砂次/10爐10離子源護(hù)殼清潔噴砂次/10爐11光纖鍍膜傘清潔噴砂次/10爐12內(nèi)不銹鋼板清潔噴