真空設備維修

1、做為真空設備專業(yè)生產廠家，不乏檢測儀表和專業(yè)技術人員，并有相當豐富的真空設備維修經(jīng)驗，因此，真空設備的檢測和維修應該是沒有問題的。而作為用戶，除非技術力量雄厚，一般不具備或不完全具備條件來進行真空設備維修。問：真空設備維修的要點是什么?答：真空設備維修的要點是判斷故障。真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之。這時，應該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候，關閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時候應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重

2、點放到查找真空泵及閥門的問題上，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。沾襟.獨坐墻角落孤寞,窗外風交雨狂作.念當初,情深意切問：用戶最頭痛的是什么?答：用戶最頭疼的是檢測漏率問題。漏分內漏和外漏；外漏比較好檢測，內漏則難辦些。較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。我們用自制的檢漏儀可以在旋片泵范圍內進行檢漏，現(xiàn)在已經(jīng)生產 ZHC1 型儀表。該檢漏儀表用 ZJ2 電離規(guī)管，規(guī)管接在旋片泵吸氣口來檢測。若是擴散泵機組

3、的話，可以檢測到l0Pa 級的漏率。問：小漏和微漏怎么查?答：小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了，沾襟.獨坐墻角落孤寞,窗外風交雨狂作.念當初,情深意切也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，再噴射。最好是反復幾次，確認漏點。ZHC 一 1 儀表也可以用上述方法來檢漏，不同的是 ZHC1 儀表能在旋片泵范圍內進行檢漏，而且不怕暴露于大氣中。問：內漏和外漏怎樣查?答：內漏多發(fā)生在有水冷套的設備上

4、，查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點。但是卻有以下現(xiàn)象；機械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕，具備以上條件基本可以確定有內漏。有一臺 25kg 中頻爐，2X 一 70 旋片泵和 ZJ150 羅茨泵兩臺泵加到一起抽也只能抽到 l0Pa，ZJ 一 150 泵的作用顯現(xiàn)不出來，沒發(fā)現(xiàn)有外漏，卻具備了機械泵油很快乳化，真空室內鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水。剩下就是查出漏點。先把內壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤點，濕潤處就是漏點。沾襟.獨坐墻角落孤寞,窗外風交雨狂作.念當初,情深意切問：故障點找出后怎么處理?答：找出故障點就可以

5、因地制宜地進行處理了，簡單的辦法是換件，小到膠圈、螺栓，大到閥門、真空泵，只要手頭上有的都可以換；對于需要焊接的部位應按要求來進行，焊接后還需確認達到了要求。問：維修應注意哪些環(huán)節(jié)?答：維修應注意幾個環(huán)節(jié)、拆卸、清潔、檢驗、裝配。真空設備無論大小都屬于精密機械設備，這點很重要。拆卸應遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲；清洗零件時要干凈、徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問題和查出隱患；真空泵類產品與一般機械產品有較大區(qū)別，一般機械產品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手，應多加小心，切記。檢驗是個細致活，每個細節(jié)都不要落掉，更不能存在僥幸心理。有一臺設備，用戶存放 4 年了，做完了常規(guī)的清理按

6、部就班地連接好管路開始抽真空，怎么也達不到出沾襟.獨坐墻角落孤寞,窗外風交雨狂作.念當初,情深意切廠標準，什么都查了，就是一根供氣的真空膠管沒查，當時就認為真空膠管不會漏。結果恰恰相反，問題就出在這根真空膠管上。再有，不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發(fā)了才能進行裝配，真空泵油若與其他的油或溶劑，或水混合會破壞其性能，影響真空泵的性能指標。膠圈要擦干凈，仔細檢查有無缺陷，如裂紋等。還有尺寸是否正確，特別注意相近尺寸直徑的，像3 1mm與3mm； 5 7mm與 6mm 的尺寸不對將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時必須換，比如油增壓泵各個接口。裝配時泵

7、件同樣需要輕拿輕放；緊螺釘時用力要均勻，要從對角緊起。動密封多用軸封，上軸封時要細心，先檢查軸封本身有無缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何。在軸封內側可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時用力要均勻，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會漏油、漏氣；軸封簧別擠出去，沒了軸封簧軸封就失效了，注意軸封與軸的同心度。有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸度要求很嚴格，裝配時要從軸的四面沾襟.獨坐墻角落孤寞,窗外風交雨狂作.念當初,情深意切去量，保證平行一致。羅茨泵的對齒輪調整的關鍵是兩個 8 型齒輪不相碰。擴散泵的內壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國內生產的擴散泵主要靠電爐絲的長短來控制泵油的溫度，擴散泵油的

8、注入量就需要考慮當?shù)仉娋W(wǎng)的實際情況來酌量增減，若 K400 泵注油在分流槽上 10mm 的話，K150 泵就可以在分流槽上 6mm，泵的口徑大小不一樣注油量有差別；電網(wǎng)的電壓低注油可以減少 2mm，只要是干凈的鋼直尺或鐵絲都可以用來測量。由于制造和使用上的差別，擴散泵注油量的多少只能供大家參考。維修切記不可操之過急，故障沒搞清楚就想當然地開始動手拆卸，會舊病未除又添新病。把本來簡單的問題搞復雜化了。問：應急條件下設備出故障怎樣處理?答：常規(guī)的維修可以按部就班地去做，應急條件下設備出了故障，生產任務又急不可待，這種情況下，只要判斷故障準確，采用手頭上現(xiàn)有的材料，真空封泥、真空封蠟、704 硅膠、真空沾襟.獨坐墻角落孤寞,窗外風交雨狂作.念當初,情深意切腔板等一切可用的材料。只要與在制品不發(fā)生沖突，就可以進行修理。有一臺外地產的新鍍鏡機，正常月余，停機一天真空室門自己打開了，用戶急于恢復生產，自行拆檢忙了兩天，沒有解決問題。經(jīng)我們檢查發(fā)現(xiàn)是真空室門有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用戶盡快地恢復了生產。有一臺中頻爐，低真空 l 時正常，在 6Pa 時就放電，經(jīng)檢查發(fā)現(xiàn)是尖端放電造成的，根本解決問題的辦法是大修，需時一周。根據(jù)用戶急于使用的要求，用 704 硅膠封閉了 l 放電的尖端，第二天就能正常生產。有一臺真空設備，供熱密