試驗講義-半導(dǎo)體材料吸收光譜測試分析2015_第1頁
試驗講義-半導(dǎo)體材料吸收光譜測試分析2015_第2頁
試驗講義-半導(dǎo)體材料吸收光譜測試分析2015_第3頁
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文檔簡介

半導(dǎo)體材料吸收光譜測試分析一、實驗?zāi)康?掌握半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)、半導(dǎo)體材料禁帶寬度的測量原理與方法。.掌握紫外可見分光光度計的構(gòu)造、使用方法和光吸收定律。二、實驗儀器及材料紫外可見分光光度計及其消耗品如笊燈、鴇燈，玻璃基 ZnO薄膜。三、實驗原理1.紫外可見分光光度計的構(gòu)造、光吸收定律（1）儀器構(gòu)造：光源、單色器、吸收池、檢測器、顯示記錄系統(tǒng)。a.光源：鴇燈或鹵鴇燈 可見光源，3501000nm；氫燈或笊燈紫外光源，200360nm, b.單色器：包括狹縫、準(zhǔn)直鏡、色散元件色散元件：棱鏡一一對不同波長的光折射率不同分出光波長不等距；光柵一一衍射和干涉分出光波長等距。c.吸收池：玻璃一一能吸收UV光，僅適用于可見光區(qū)；石英 一一不能吸收紫外光，適 用于紫外和可見光區(qū)。要求：匹配性（對光的吸收和反射應(yīng)一致）d.檢測器：將光信號轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘柕难b置。如：光電池、光電管（紅敏和藍(lán)敏）、光電倍增管、二極管陣列檢測器。紫外可見分光光度計的工作流程如下：單色器雙光束紫外可見分光光度計則為:雙光束雙光束紫外可見分光光度計的光路圖如下:(2)光吸收定律透射光It單色光垂直入射到半導(dǎo)體表面時，進(jìn)入到半導(dǎo)體內(nèi)的光強(qiáng)遵照吸收定律:Ix IexIt I0edIt:透過膜薄的光強(qiáng)；a：材料吸收系數(shù)，與材料、入I0 :入射光強(qiáng)；I x：透過厚度X的光

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