雷尼紹XL80激光干涉儀操作手冊(cè)匯總

1、鐳射干涉儀操作手冊(cè)1 / 53手冊(cè)內(nèi)容一 .RENISHAW公司簡(jiǎn)介 1二.鐳射干涉儀原理2(1)波的速度 3(2)干涉量測(cè)原理 3(3)鐳射干涉儀 4(4)鐳射干涉儀一般量測(cè)項(xiàng)目 4三.注意事項(xiàng) 5四.鐳射干涉儀防止誤差及保養(yǎng) 5(1)鐳射干涉儀防止誤差 5(2)鐳射干涉儀保養(yǎng)方法 6.安全及注意事項(xiàng) 6.鐳射光原理及特性7.鐳射硬件介紹 8.鐳射架設(shè)流程圖 15.定位量測(cè)原理及操作 16(1)線性定位量測(cè)原理 16(2)量測(cè)方式 17十.鐳射易發(fā)生之人為架設(shè)誤差 20(1)死徑誤差 20(2)余弦誤差 21(3)阿倍平移誤差 21十一 .鐳射操作之步驟 22(1)軟件安裝之步驟 22(2)

2、執(zhí)行量測(cè)軟件 22(3)定位量測(cè)硬件架設(shè)之操作 23(4)鏡組架設(shè)前之注意事項(xiàng) 24(5)鏡組架設(shè)之步驟 24十二.定位量測(cè)之程序范例 29十三.定位量測(cè)之軟件操作步驟 30熱漂移量測(cè) 38快速功能鍵 44十四.動(dòng)態(tài)軟件量測(cè)之操作 45(1)動(dòng)態(tài)量測(cè)硬件之架設(shè) 45(2)執(zhí)行量測(cè)之軟件 46(3)位移與時(shí)間 48(4)速度與時(shí)間 49(5)加速度與時(shí)間 50十五.角度量設(shè)之操作 52(1)注意事項(xiàng) 52(2)鏡組架設(shè)的種類 53(3)鏡組架測(cè)之步驟 54(4)角度量測(cè)之軟件操作步驟 57十六.RX10旋轉(zhuǎn)軸之量測(cè) 62(1)說明 622 / 53(2)硬件配件之介紹 62(3)硬件操作之步驟

3、64(4)軟件操作之步驟 67十七.直度量測(cè)之操作 75(1)直度之分類 75(2)直度量測(cè)之硬件架設(shè) 75(3)鏡組架設(shè)之步驟 75(4)直度軟件之操作步驟 80十八.Z軸直度鏡組織架設(shè)方法 85十九.垂直度量測(cè)之操作 89(1)垂直度鏡組架設(shè)之步驟 89(2)軟件操作之步驟 95二十.平面度量測(cè)之原理與操作 101(1)硬設(shè)備 101(2)操作之原理 102(3)鏡組架設(shè)之步驟 102(4)軟件操作之步驟 1103 / 53RENISHAW公司簡(jiǎn)介RENISHAW為一家英國(guó)公司，產(chǎn)品營(yíng)銷全世界，主要產(chǎn)品有三次元量床之測(cè)頭、測(cè) 針、BALLBAR循圓測(cè)試儀、鐳射干涉儀？?等等及產(chǎn)品經(jīng)NPL(

4、英國(guó)國(guó)家 標(biāo)準(zhǔn))認(rèn)證為ISO 9001之合格廠商RENISHAW公司為機(jī)器設(shè)備制造商提供量測(cè)檢驗(yàn)系統(tǒng)的儀器，提供各種用于機(jī)器 精度檢定的量測(cè)設(shè)備進(jìn)而改善機(jī)器的精度RENISHAW XL80高性能鐳射干涉儀是機(jī)床、三次元坐標(biāo)量床及其它定位裝置 精度校準(zhǔn)用的高性能儀器，由于最新電子技術(shù)的應(yīng)用，使其鐳射波長(zhǎng)非常穩(wěn)定并保 持了低成本高效率的工作流程RENISHAW產(chǎn)品介紹：4 / 53三次元測(cè)頭測(cè)針系列循圓測(cè)試儀器(BALLBAR)量測(cè)系統(tǒng)黏貼式光學(xué)尺系列鐳射干涉儀量測(cè)原理MICHELSON E0 干涉原理兩個(gè)頻率振幅波長(zhǎng)相同的鐳射光波因相位變化而發(fā)生不同程度的干涉a.b.相長(zhǎng)干涉（建設(shè)性干涉）相消干

5、涉（破壞性干涉）相消干涉5 / 53.波的速度V = f 入若 f,入 const 則 V const常起始黠典接收黑部目蹄相差n他整數(shù)波日寺, 起始黠典接收黑占相位相同常起始黠典接收黠距雕相差n+0,2511固整數(shù)波H寺, 起始黠典接收黠相位相差90度常起始黠典接收黠距施相差計(jì)05固整數(shù)波畤, 起始黠典接收黠相位相差180度.干涉量測(cè)原理6 / 53稱射黠接收黠性干涉倭反射參考踣彳基量測(cè)踣彳空.鐳射干涉儀：一般鐳射干涉儀均為氨覆鐳射，其鐳射光為紅色波長(zhǎng)0.6329 長(zhǎng)期穩(wěn)定誤差0.05ppm以下（10個(gè)波長(zhǎng)相差0.5個(gè)波） 其優(yōu)點(diǎn):a.測(cè)量范圍大b.簡(jiǎn)化以往光學(xué)儀器結(jié)構(gòu)c.測(cè)量速度快缺點(diǎn):易

6、受大氣環(huán)境影響因波長(zhǎng)常會(huì)隨溫度、氣壓、濕度而變化 （因鐳射光以空氣為傳遞介質(zhì)）.鐳射干涉儀一般量測(cè)項(xiàng)目：（一）定位精度、距離量測(cè)、重復(fù)性（二）速度、加速度、動(dòng)態(tài)量測(cè)（三）角度量測(cè)：a.垂直方向角度（pitch） b.水平方向角度（yaw）（四）真直度量測(cè)：a.垂直方向 b.水平方向（五）直角度量測(cè)（六）平面度量測(cè)（七）平行度量測(cè)（八）旋轉(zhuǎn)角度量測(cè)注意事項(xiàng):7 / 53(1)三腳架置于待測(cè)物適當(dāng)位置，地基穩(wěn)固不可搖晃及避免人員和機(jī)器碰觸 的地方(2)三腳架之水平氣泡調(diào)至中央位置固定(3)信號(hào)線之插頭，紅點(diǎn)表示向上，各線接頭缺口部份確實(shí)吻合方可插入(4)各電源線、信號(hào)線連接或拔除時(shí)，各儀器需均在O

7、FF狀態(tài)，否則會(huì)對(duì)儀 器造成傷害(5)給予穩(wěn)定獨(dú)立電源，確實(shí)不漏電環(huán)境中使用(6)短距離量測(cè)(50mm內(nèi))亦產(chǎn)生余弦誤差，先校直度再作定位(6)對(duì)焦時(shí)避免反射回來的鐳射光打在鐳射光射出口處(7)鐳射先熱機(jī)穩(wěn)定后，再做鐳射量測(cè)(8)操作中確認(rèn)XC80(環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng))是監(jiān)控中，每7秒各偵測(cè)一項(xiàng)，以42秒 為一次循環(huán)(9)鐳射干涉儀設(shè)備存放地點(diǎn)盡量保持干燥鐳射干涉儀防止誤差及保養(yǎng)1鐳射干涉儀防止誤差(1)量測(cè)周圍環(huán)境應(yīng)盡量避免太陽光直接照射或突然流動(dòng)的風(fēng)產(chǎn)生擾流現(xiàn)象(2)裝設(shè)干涉鏡及反射鏡在被測(cè)機(jī)臺(tái)上時(shí)，必須牢固，否則機(jī)臺(tái)移動(dòng)會(huì)造成不可預(yù)期的量測(cè)誤差(3)環(huán)境偵測(cè)感應(yīng)器與材料溫度感應(yīng)器是否作動(dòng)，必須

8、于量測(cè)前確實(shí)檢查，以免造成不必要的誤差(4)要獲得最佳精度并減少誤差，建議遵守下列規(guī)定：a.在校驗(yàn)環(huán)境條件中執(zhí)行量測(cè)b.激光束需作確實(shí)校直c .需注意量測(cè)時(shí)的周圍條件d牢固地裝設(shè)鏡組(3)在量測(cè)執(zhí)行中不可因其它因素而中斷，量測(cè)必須一次完成檢驗(yàn)，若發(fā)生量測(cè) 中斷情形，必須重新執(zhí)行檢驗(yàn)8 / 532.鐳射干涉儀保養(yǎng)方法(1)使用時(shí)應(yīng)防止碰撞及震動(dòng)(2)工作完畢應(yīng)循操作方法反順序逐一拆卸并且擦拭干凈置回儀器盒內(nèi)(3)金屬平臺(tái)在使用完后應(yīng)擦拭干凈(4)干涉鏡及反射鏡片應(yīng)使用光學(xué)鏡片專用擦拭紙做圓形回轉(zhuǎn)擦拭(注意嚴(yán)禁使用酒精或具有揮化性及腐蝕性之清潔液擦拭，請(qǐng)干擦,因鏡面有 鍍一層藍(lán)色薄墨，而激光束是靠

9、此薄墨產(chǎn)生折射與反射，如果使用具有揮化 性或腐蝕性之清潔液會(huì)將此薄墨破壞，如果鏡面沒有薄墨折射率既減弱而 影響光強(qiáng)，且無法再鍍上此薄墨，請(qǐng)注意小心使用)(5)應(yīng)小心搬運(yùn)尤其對(duì)鏡片類應(yīng)有適當(dāng)防護(hù)與防震，暫不用時(shí)以干凈東西覆蓋安全注意事項(xiàng).鐳射光屬二級(jí)鐳射，建議勿長(zhǎng)時(shí)間直視鐳射光.鐳射預(yù)熱時(shí)可將鐳射光閘暫時(shí)關(guān)閉，鏡組對(duì)焦時(shí)再予以打開.對(duì)焦時(shí)盡量避免反射之鐳射光打在鐳射頭的鐳射發(fā)射出口處，以免鐳射造成不良影響.架設(shè)鏡組前，先將機(jī)器欲測(cè)軸全行程來回移動(dòng)，觀察機(jī)器移動(dòng)空間并決定鏡 組架設(shè)位置，當(dāng)鏡組架設(shè)至機(jī)臺(tái)后，使用手動(dòng)慢速移動(dòng)機(jī)器確定移動(dòng)空間無其它干涉物后，機(jī)器才可改為自動(dòng)移動(dòng).架設(shè)或操作鐳射干涉儀時(shí)

10、，閑雜人等避免靠近，以免拌到電源線或傳輸線.確認(rèn)電壓伏特是否正確，并且所使用的電力來源盡量能夠獨(dú)立，并加穩(wěn)壓器.9 / 53鐳射光原理及特性.光的相關(guān)原理光為一種無質(zhì)量的微粒子（牛頓） 光為一種電磁波（馬克士威爾） 光具有粒子與波動(dòng)的性質(zhì).光的特性方向性直線性波動(dòng)性.波的基本物理量頻率f、周期T、振幅A、波長(zhǎng)入、其中波長(zhǎng)是長(zhǎng)度單位.何謂鐳射光對(duì)某種元素施予能量，使其原來穩(wěn)定的基態(tài)（低能階）變?yōu)椴环€(wěn)定的 激態(tài)（高能階）,元素會(huì)由激態(tài)（高能階）釋放出能量后變回原來的基態(tài) （低能階）再釋放能量的過程中會(huì)產(chǎn)生一種光，我們謂之鐳射光高能陷激 憩一T吸伙量 低能B普基 熊高能陷激 熊出耀嬴*量低能陷一-一

11、J.鐳射光之特性A.高單頻性：光的頻率即是色，高純頻率即是高單色，一般可見光包含紅、澄、黃、綠、藍(lán)、靛、紫、頻率純度較低B.高方向性：鐳射光配合聚光鏡的發(fā)散角度非常小，而一般光線其擴(kuò)散 角度都非常大C.高亮度性：其光線亮度比一般光線亮度大數(shù)倍（視鐳射而定）10 / 53硬件介紹XC80環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)11 / 53材料溫度感磨器空氧溫度感鷹器大氫屢力測(cè)8校正日期XC80環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)插梢示意圖12 / 5313 / 53不痛痛倒柱角度反射夾持器組綠性反射綜性分光短線性定位量測(cè)鏡組ee槨靶角度量測(cè)鏡組角度分光14 / 53Z軸直度量測(cè)鏡組及附件垂直度量測(cè)鏡15 / 53基板平面度平坦度量測(cè)鏡組旋轉(zhuǎn)軸量

12、測(cè)系統(tǒng)固定式粉折箱360度粉折斜臂式章床用）LS35C塞tiaMS手控紀(jì)綏器詞颼費(fèi)器LXlMt畫食旋幅16 / 53鐳射頭微調(diào)平臺(tái)17 / 53平臺(tái)配接器高度飄前曲柄支e仲晨定支曹的角度箱定中心柱防滑穆哮肝重負(fù)荷三腳架鐳射架設(shè)聯(lián)機(jī)流程圖1 .鐳射架設(shè)及量測(cè)流程表1518 / 53定位量測(cè)原理及操作1 .線性定位量測(cè)原理：（一）架設(shè)方式：干涉鏡不動(dòng)，移動(dòng)反射鏡反射鏡不動(dòng)，移動(dòng)干涉鏡接收黠盤性干涉俄反射袋（二）何謂線性定位精度：CNC機(jī)器執(zhí)行時(shí)，程序之坐標(biāo)點(diǎn)未必是機(jī)器的坐標(biāo)點(diǎn)，程序坐標(biāo)點(diǎn) 為理想值,機(jī)器坐標(biāo)點(diǎn)為實(shí)際值，兩者之間差為機(jī)器的定位精度（三）線性定位誤差原因：誤差原因可能是導(dǎo)程誤差、控制器

13、誤差、機(jī)器幾何誤差及震動(dòng) 等原因（四）線性定位量測(cè)的目的：量測(cè)出機(jī)臺(tái)可能因零件和組裝所造成的誤差，可利用機(jī)器參 數(shù)補(bǔ)償或重新組裝改進(jìn)機(jī)器加工機(jī)精度，確保機(jī)器加工的質(zhì)量 （五）鐳射干涉儀定位量測(cè)發(fā)生誤差的原因：a .空氣、溫度、濕度、氣壓等影響b.待測(cè)物之熱膨脹系數(shù)c-電子誤差d .死徑誤差（圖一）e.阿倍（ABBE）誤差（圖二）f .余弦（COS）誤差（圖三）g-震動(dòng)誤差h.鏡組熱膨脹飄移鐳射干涉儀量測(cè)數(shù)據(jù)是以數(shù)值方式顯示，并沒有一般量測(cè)時(shí)有人為讀值判定所產(chǎn)生的誤差1619 / 532.量測(cè)方式a 線性(linear)方式-單向-2次第一串目糕雌-4日檬起.b 線性(linear)方式雙向2次

14、第T目糕最貧，目修1720 / 53C .朝圣(pilgrim)方式-單向-2次第一站目參起鉆卜第一姻目糕d 朝圣(pilgrim)方式-雙向-2次最接一號(hào)自律1越程量21 / 5322 / 5318e .鐘擺（pendulum）方式-單向-2次第一智目襟f 鐘擺（pendulum）方式-單向-2次第一總目糕最鏤一國(guó)目槨越行程鐳射架設(shè)易發(fā)生之誤差1死徑誤差（如圖一所示）.死徑誤差是一種與使用 XC80自動(dòng)補(bǔ)償?shù)木€性量測(cè)過程中的環(huán)境因子變化有關(guān)的誤差。在正常情況下，死徑誤差很小并且僅在恢復(fù)為基準(zhǔn)值之后和量測(cè)期間發(fā)生環(huán)境變化時(shí)出現(xiàn)。.鐳射光波經(jīng)過干涉鏡后開始計(jì)算位移量，故干-反鏡組間隙越大，光波暴

15、露 大氣環(huán)境越多，受外在因素影響越大，如果干涉儀與反射鏡之間沒有移動(dòng)，并且激光光束周圍的環(huán)境條件發(fā)生變化，則波長(zhǎng)（在空氣中）將在整個(gè)路徑 （Li + L2）上發(fā)生變化，但是鐳射量測(cè)系統(tǒng)僅在 L2距離上得到補(bǔ)償。因此將引進(jìn)死路量測(cè)誤差，因?yàn)楣馐窂絃i沒有得到補(bǔ)償。XL80 LASER干涉?zhèn)l 固定光季接組）圖一死徑誤差死躇 量涕路授,.但是，如果在恢復(fù)為基準(zhǔn)值時(shí)固定光學(xué)鏡組和移動(dòng)光學(xué)鏡組彼此相接，則 死路誤差可以忽略不計(jì)，如下圖所示。23 / 53基型位置健勒.余弦誤差（如圖二所示）.架設(shè)鐳射頭沒有真正與干-反射鏡成一直線所造成的誤差，即激光光束路 徑與運(yùn)動(dòng)軸線之間有校直的偏差，而導(dǎo)致量測(cè)距離與

16、實(shí)際移動(dòng)距離之間有 差異。蕾射光束XL80 LASER圖二余弦誤差.阿倍平移誤差（如圖三所示）.激光束軸線不在行程軸在線，意即當(dāng)光束與預(yù)定校準(zhǔn)軸線平行但有一個(gè) 偏移距離，進(jìn)行測(cè)量時(shí)會(huì)因俯仰或偏角引致 Abbe偏置誤差。平面目XL80 LASER雷射光束勃掾(100mm)行程軸維支助ABBE 差24微米反射 僚兼光學(xué)箱組）24 / 53圖三阿倍平移誤差Mkiuaott WordAdobe Ruier 7.0魄性司提跟性胤屬Vfiodows Media Pla)：$ Windows Mcsscngtr四鹵.西西一 M/jpwft Devekper Net#orX所相程式（D01岡Rcoishav

17、LaterXL（圖二）鐳射操作之步驟（一）軟件安裝步驟：（1）將原廠Laser光盤軟件放入磁盤驅(qū)動(dòng)器中，即會(huì)自動(dòng)執(zhí)行安裝 AUTORUN完成安裝,若計(jì)算機(jī)無法執(zhí)行自動(dòng)安裝，請(qǐng)點(diǎn)選軟件 中Setup.exe執(zhí)行安裝，軟件安裝完成后，計(jì)算機(jī)會(huì)要求重新開 機(jī),請(qǐng)點(diǎn)選稍后重新開機(jī)（2）接著安裝Laser在線輔助說明，軟件安裝完成后，計(jì)算機(jī)會(huì)要求 重新開機(jī)，請(qǐng)點(diǎn)選重新開機(jī)（3）軟件安裝完成后請(qǐng)將XL80連結(jié)到計(jì)算機(jī)上，此時(shí)會(huì)出現(xiàn)找到 新硬件，請(qǐng)選擇自動(dòng)安裝軟件（先確認(rèn)XL80之鐳射軟件光盤 有在計(jì)算機(jī)內(nèi)），開始安裝驅(qū)動(dòng)程序（4）XC80只要有安裝鐳射軟件即可自動(dòng)搜尋到驅(qū)動(dòng)程序 注:適用 WIN XP,W

18、IN Vista操作系統(tǒng).（二）執(zhí)行量測(cè)軟件：（1）由開始工具列中選擇 Renishaw LaserXL進(jìn)入（如圖一所示）（2）點(diǎn)選欲執(zhí)行之軟件：有線性測(cè)長(zhǎng)（定位量測(cè)）、角度測(cè)量、長(zhǎng)距離直線度測(cè)量、短距離直線度測(cè)量、回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量、平面度測(cè)量、動(dòng)態(tài)測(cè)量、雙軸線測(cè)量、數(shù)據(jù)分析 （如圖二所示） 以上所有軟件均附上：但測(cè)量時(shí)須搭配鏡組.（3）除上述方法之外，亦可將快捷方式至于 Windows桌面上，直接點(diǎn) 選即可I Reiwhw L 雌續(xù) LLS HP 淘1岫q口口湎rA CiLkMauASUSUidiiyBlujetaoth聯(lián)機(jī)模式口 USB2.0 PC Canue-mC3附圖癌用程式Q國(guó)勤口

19、遁柒埸0 Adobs Rsadsr 7.0M MSN Explnwi逢端堀助RENI5HA科B皿跟5PC-DMISST1+NeroStartup埃 Pa3 nMe7 Q（圖一）25 / 53(三)定位量測(cè)系統(tǒng)架設(shè)操作：步驟一：將所有硬件依圖所示，完成接線及架設(shè)雷源裝置三腳架移勤方向遑行校型 歉件的電躺光學(xué)短抵安裝配件XC80輔信里元XL30雷射棉性干涉俄狼性反射材料溫度 量港豚氧溫量冽殖鏡組架設(shè)前之注意事項(xiàng)(1)先空跑預(yù)量測(cè)軸的行程，確實(shí)了解機(jī)床起點(diǎn)與終點(diǎn)，再架設(shè)鏡組(2)減低死徑誤差，干涉鏡與反射鏡架設(shè)越近越好(3)干-反鏡組需架于機(jī)臺(tái)的床臺(tái)與主軸上，因其是相對(duì)移動(dòng)物體(4)對(duì)焦時(shí)避免反射回

20、來的鐳射光打在鐳射光射出口處(5)對(duì)焦時(shí)近端調(diào)平移、遠(yuǎn)程調(diào)角度步驟二：鏡組架設(shè)之步驟(1)干涉鏡需置于鐳射頭與反射鏡之間，而當(dāng)中有一塊反射鏡是鎖 在干涉鏡上(如圖一所示)26 / 53俱忻同圜XL80雷射基隼光束東泉性干涉倭東泉性反射量測(cè)光束 一 、泉性分光行程觸糠4棉性反射圖一注意干涉鏡上所畫的箭頭，必須兩個(gè)箭頭分別指向兩個(gè)反射鏡 上(如圖二所示)本泉性干涉倭行程申解泉性反射箱生泉性反射雷射光束的另外人口1泉性分光XL80雷射圖二水平軸向量測(cè)鏡組架設(shè)圄基舉反射東泉性干涉倭XL80雷射量刑反射(4)垂直軸向量測(cè)鏡組架設(shè)27 / 53圄量冽反射行程獨(dú) 一 XL80雷射T基型反射棣性干涉倭(5)斜

21、背式車床量測(cè)鏡組架設(shè)旋轉(zhuǎn)鏡圖1 一旋轉(zhuǎn)鏡旋轉(zhuǎn)鏡可以與線性、角度或真直度光學(xué)鏡組結(jié)合使用，量測(cè)機(jī)器的對(duì)角線或傾斜 軸線。它可以安裝在光學(xué)鏡組上，使設(shè)定快速、簡(jiǎn)便。旋轉(zhuǎn)鏡用于使激光光束在垂直面上偏轉(zhuǎn) 0至135度。它的主要應(yīng)用是量測(cè)或校 準(zhǔn)斜床式車床或機(jī)器對(duì)角線。以下兩個(gè)圖顯示在斜床式車床上使用旋轉(zhuǎn)鏡進(jìn)行線性量測(cè)的方法。圖2顯示的配置用于軸線與水平面的夾角大于 45度的量測(cè)。旋轉(zhuǎn)鏡與斜軸之間的準(zhǔn)直誤差 應(yīng)調(diào)整在2度以內(nèi)?？梢允褂昧拷瞧髁繙y(cè)行程的斜角，并設(shè)定旋轉(zhuǎn)鏡與該斜角 平行。28 / 53ML1Q箍射量洌反射鏡展疆箱貌性干涉俅行程觸泉基型反射箱圖2 -斜軸與水平面的夾角大于 45度時(shí)使用的旋轉(zhuǎn)鏡

22、圖3所示的配置用于X軸與水平面的夾角小于 45度的車床。ML10將射圖3 -斜軸與水平面的夾角小于 45度時(shí)使用的旋轉(zhuǎn)鏡29 / 53步驟三：鏡組調(diào)整(1)將鐳射光射出口轉(zhuǎn)至對(duì)焦用小孔射出口位置(如下圖)較小光束孔檬靶(2)當(dāng)反射鏡及干涉鏡皆準(zhǔn)備好后，將要量測(cè)的軸回歸原點(diǎn)(起點(diǎn))或移 動(dòng)到與原點(diǎn)相反的極限位置(終點(diǎn))(3)將干涉鏡及反射鏡架到量測(cè)軸及另一輔助軸上(4)盡量將干涉鏡及反射鏡之間的距離縮小，越靠近越好(避免死徑誤俯視圖基型反射差，如下圖)(5)兩鏡組靠近時(shí)可直接移動(dòng)反射鏡組使光點(diǎn)重迭，再利用腳架上升，平移機(jī) 構(gòu)將重迭光點(diǎn)移到接收孔，此時(shí)檢查計(jì)算機(jī)里接收光線的強(qiáng)度(6)將反射鏡移動(dòng)至

23、量測(cè)距離的極限，將偏離標(biāo)靶白點(diǎn)的激光束用上下左右 角度調(diào)整調(diào)到白點(diǎn)上(如下圖)糕靶鼓小雷射光束30 / 53(7)將反射鏡標(biāo)靶取下檢視反射回來之光點(diǎn)的重迭度，若光點(diǎn)不重迭，在近端不重迭時(shí)是兩鏡組上下或左右沒有在相同之位置高，必須調(diào)整分光鏡或 反射鏡使之重迭，在遠(yuǎn)程不重迭時(shí)是因有角度偏差，必須調(diào)整鐳射頭的偏 擺及傾斜角度使光點(diǎn)重迭(如下圖)?3購(gòu) py(8)將重迭的光點(diǎn)利用腳架平移或上下調(diào)整，使光點(diǎn)落在鐳射頭對(duì)焦孔上(9)將鐳射頭對(duì)焦孔轉(zhuǎn)至接收孔位置上(如下圖)，檢視光線的強(qiáng)度(10)將反射鏡移到近端的位置檢視光線強(qiáng)度和遠(yuǎn)程的光線強(qiáng)度一樣即可(11)需注意光線強(qiáng)度超過50%即可量測(cè)，但近距離與遠(yuǎn)

24、距離時(shí)光線強(qiáng)度需 相同才可做量測(cè)31 / 53控制器程序范例X軸方向（例如X軸行程總共主程序0001O0001;G91G28X0.;M98P0250002;G01X-3.F500.;X3.;M98P0250003;M30 ;Y軸方向（例如Y軸行程總共主程序0001O0001G91G28Y0.;M98P0250002;G01Y-3.F500.;丫3.;M98P0250003;M30Z軸方向（例如Z軸行程總共主程序0001O0001；G91G28Z0.;M98P0200002;G01Z-3.F500.;Z3.;M98P0200003;M30500mm,每20mm取一點(diǎn)，共25次）子程序0002 （

25、鐳射去的行程）O0002G91G01X-20.F5000.;G04X3.;M99子程序0003 （鐳射回的行程）O0003G91G01X20.F5000.;G04X3.M99500mm,每20mm取一點(diǎn)，共25次）子程序0002 （鐳射去的行程）O0002G91G01Y-20.F5000.;G04X3.M99子程序0003 （鐳射回的行程）O0003G91G01Y20.F5000.;G04X3.M99 400mm,每20mm取一點(diǎn)，共20次）子程序0002 （鐳射去的行程）O0002G91G01Z-20.F5000.;G04X3.;M99子程序0003 （鐳射回的行程）O0003G91G01Z

26、20.F5000.;G04X3.M9932 / 53（四）進(jìn)入定位量測(cè)軟件（1）由開始工具列中選擇 Renishaw LaserXL進(jìn)入（如圖一所示）（2）點(diǎn)選欲執(zhí)行之軟件：線性測(cè)長(zhǎng)（定位量測(cè)）（如圖二所示）由子郡件Outlaok Egress聯(lián)機(jī)捏式MkruaoEt WordAd。加 Renier 7.0蹤性測(cè)顯褊1由11度Vf inflows Media Plfi): RenisJw LawrXL西 HP SoLubon CenterAm CJikMauAgUSUidityBliuetaothUSB2.0 PC Canw-ra附星愿用程式曾1勤遁集塌Adobe Rcodci 7.Q%, M

27、SNEKpkim 工：$ Windows Messenger速端憤助由Nero口 StartupU Fo*sQue就 PaixMhpnMa3 7 0加 Microsoft Devehper NehFork所有睚式（D* Reni&haw Lft&erXL口-1|口 |刈械案目 嘲 掠祖國(guó) 我的最愛因 工具囚 祝明囿VO上O X嗚曷住X9刀搜尊 用弁jD也QEJM值或注曲皿1）11級(jí)泡蠟功走晏姓式集表ewht V格至 T?、箜i蜥測(cè)量I定進(jìn)入數(shù)據(jù)抓取+0.000010-0.00001 0次數(shù)(目才票 飄差微1(+) 1(+)1W 1(+)0.0粥料打料知 圜wMg咨一O.OOOOO)10,000

28、00020,00000030,00000040,00000()50.00000036 / 53(ii)數(shù)據(jù)抓取結(jié)束后按完成跳出.點(diǎn)詵檔案-另存新槽或工具列中方塊H(12)設(shè)定儲(chǔ)存路徑后，輸入文件名稱： （五）資料分析（1）按數(shù)據(jù)點(diǎn)選分析進(jìn)入數(shù)據(jù)分析或按工具列中方塊必|W輻艷物行錯(cuò)果德翰目檄聾料分析下圖為進(jìn)入分析系統(tǒng)畫面（每次進(jìn)入分析都會(huì)先顯示所有數(shù)據(jù)曲線）空 副電|囤 房|%|L|乳 眼慳1% 留可d i 200 KKSKJ KB TO)-福住序就：日期：L口：第 OQt g 2005橫新者：岫同：到黯:他粘：槽名：1004-1 .Ml餐向皓出所有幽撼下圖為進(jìn)入分析系統(tǒng)畫面中的快速工具列骸示各

29、量測(cè)他 罩一圃形簿圄WK列印位例放大倍率明出省副電低苞%lhl義或L久窗k37 / 53(2)選取分析規(guī)范分析ISO 230-2 1997 Analy PlotISO 230-2 1997 Stets TableISO 230-2 1997 Triplet Plot GB/T 17421 Analysis Hot (jBJI 17421 State TableGRT 17421 Triplet PlotISO 230-2 Analysis PlotISO 230-2 Statistical TableBS 3800 Reversal tripletBS 3800 AccuiecyBS 3800

30、 Stahstical TableBS 4656 Reversal tripletBS 4656 AccuiiacyBS 4656 Statistical TableNMTBA (Off.t)NMTBA Statistical TableNMTBA (Standaid)ASME B89.1.12MASME B89.1.12M Stets TableASME B5.54 A面燦 PlotASME B5.54 Stated TableVDI 2617VDI 2617 TemplateVDI 2617Stetttical TabfeGB 10931-89 Stete TatleE60-099E60-

31、099 Steitktical PrintRenishav AnlysiRemshaw Statistical Table Trend Analysis Plot精出所有教擄列印原始魁遮逗擇敷遮.槽圓抓取觸廢圓表差輔僧圄表列印瓚t競(jìng)股擄手找新分析方法38/ 53左圄舄分析系統(tǒng)內(nèi)RENISHAW 原依照各閾分析規(guī)85所骰:定 之分析方法包含REN EH A W原分析規(guī)箍Axi s: XM d Posi t i on 2. 040 7. 132Locat i onU平均Ps平均目襟(毫米)反向差U ma4.860定位精度P:18.513重覆精度Ps m12.0 07位置偏差Pa:11.0 80鐳射

32、誤差補(bǔ)償圖表之范例下圖為VDI 3441之分析規(guī)范，此規(guī)范為德國(guó)針對(duì)機(jī)床的運(yùn)行和定位精度校正的基 本原理，為目前工具機(jī)產(chǎn)業(yè)常用之規(guī)范(僅供參考)VDI 3441Error Comp ExampleVDI 3441 - 性Machi ne: Li near Exampl eSeri al No: 15345/Li nDate: 09: 00 Sep 2 97 By: R. T. S.U:反轉(zhuǎn)背隙(reversal error)通稱背隙Ps:定位散布度(positional scatter)表示沿測(cè)試軸各個(gè)位置隨意的偏差對(duì)定位誤差之 影響，可能被視同方向重復(fù)性之測(cè)試P:定位不確定度(positio

33、nal uncertainty),沿測(cè)試軸之總偏差由定位偏差值，反轉(zhuǎn)誤差 和在每一標(biāo)的點(diǎn)定位散布度計(jì)算得來Pa:定位偏差(positional deviation)沿測(cè)試軸各量測(cè)點(diǎn)間平均定位誤差之最大差異39 / 53鐳射誤差補(bǔ)償圖表操作之流程與范例分析GB 1。9允的津電居TableE60DEb必Eta融切出PrintISO 230*2 1997 A ruljrx Pbt ISO 230-21997 Stas TftbkISO 230-2 1997 Tnpist Plot GB/T17421 uy$ePbl GB仃 E21 Sfets Tibk GBT 17421 TiiptetPlotIS

34、O 笫 M Anaijas PtotISO 2302 hbkBS 3田口 Revisal tnpletBS 380c AecwcBS 3800 Siatdkd 7bbRW 4656 Rpveml 出】LtBS 4656 Accwe國(guó)&皎$也殿iM T冊(cè)kNMTBA (Offset)NMTBA $幡由7獨(dú)hNMTBA (Standi)ASME BS9.1.12MASME BS91 12MSWTahtASME B554 A 匐甦 HotRetishjs Analysis；tabc&l Table lie堀 Auaiysis Pbt 輸出所有微博 列的原始觸搏 溟擇觸楂圖 抓取轂椽雕w需差搐值同疑列

35、印則蝴尊找新分祈方法1熟漫分析24占逗需差禱慎圈表三圄表瞪型璉攫綜合型4袖別增減值帽式害葛多M寺簫溟擺此項(xiàng)目） 絕封值世式者官02畤爵逗攆此嗔目）5,正翼歌碑向什冷烝正箕方向的醇操依控制器而隹 有差值典植僧值沿鑼堂理司表ASME B5 54 StoWnl Table VDISfil?YDI2617加睢版鐳射誤差補(bǔ)償圖表之范例（由上圖之誤差補(bǔ)償表設(shè)定完成后點(diǎn)詵繪制誤差補(bǔ)償圖表即會(huì)進(jìn)入補(bǔ)償數(shù)值如下圖所示）*靜蘆*甫1宣惠占冏B鬲 卜叁1 + 7 -）叁智黑占位置書甫起黑占糟退？中值的標(biāo)合畫去 但封慎1微米O + OOOO套木0.0。毫米1 500. QOOQ 毫米150 .OQOO 率米1差圖表之

36、8?定2微小背隙之神僧教他12345678901聿由標(biāo)位曹 (毫米) 0.OOOO 1 50.OOOO 300.0000 450.OOOO 600 . OOOO 750.OOOO 900.OOOO1050.OOOO 12。.OOOO 1350.OOOO 1 5。.QOOO1- C0332345454340 / 53（六）熱漂移下圖為量測(cè)熱漂移之最典型的圖形（鋸齒狀），以時(shí)間取點(diǎn)，每趟來回為5分鐘, 所以前5分鐘其誤差值比較大寤去程的第二趟i享差逋於之?徽米蔚回程的第二趟. 彳第差值彼25微米 漂移至3.1微米馨第一豌。漂 到踹米41 / 53上圖量測(cè)是以設(shè)定點(diǎn)數(shù)用時(shí)間抓取(共500點(diǎn)每2秒抓一

37、點(diǎn))，其方法如下:(1)選擇目標(biāo)點(diǎn)一手動(dòng)設(shè)定模式-設(shè)定定位目標(biāo)數(shù)一編輯目標(biāo)值一設(shè)定抓取數(shù)據(jù)啟動(dòng)-自動(dòng)數(shù)據(jù)抓取設(shè)定一開始量測(cè)目樣黠抓取省料自薊定挨式隨橫嵌定模式摒取般拚音勤0.000000自目目目目目目目日: I I 1t事 234 3 67gg1OW0,000000 宅米0,000000 毫米0,000000 亳米0.000000 毫米0.000000 毫米0.000000 毫米0.000000 毫米0.000000 毫米0.000000 毫米n nmnnn 百*定位方式量測(cè)次數(shù)飾數(shù)19哭逗擇萬向取消碓定| n x面0.000000融科1(+)0：00。00。簸黃料“an.ncomo如沓料抓取

38、完成42 / 53(七)數(shù)據(jù)打印(1)按檔案選擇打印機(jī)設(shè)定(2)打印機(jī)設(shè)定中選擇所安裝的打印機(jī)(3)按打印印出所選擇的數(shù)據(jù)或按工具列中方塊S配置系虢瓷料梅案目St(八)其它功能設(shè)定說明(1)配置系統(tǒng)說明僮料槽案目1殳定瓷料儲(chǔ)存位置琮境定 量那I位角度像數(shù)H具列裝置逗摩 介面位址 呼叫配置槽 儲(chǔ)存配置棺系逗棒43 / 53氧屋,溫度及膨服保數(shù)之罩位段定膨BE系費(fèi)J (ppm/aC) |1 ,70膨臏系敦軍位大氧屋里位rnbsr空氟溫度單位據(jù)氏材料溫度單位期硅定角度保敦角度量定用量一罩位公英制切控及小戮黠接保留位數(shù)定工具列快速赳言殳定裝置逗攆逗攆所逋接的硬醴言殳借介面位址溟攆XL80&XC80l殳

39、定(建標(biāo)完成彳爰藤:颼曾自勤搜早序虢)呼叫配置槽呼叫戟醴所有的1殳定存配置槽儲(chǔ)存戟颼所有的定系切換中英文切換44 / 53(2)窗口功能切換設(shè)定說明MachineSerial No12345Date|09WEbOl90ByL.A.BattAisx-Location|Test MachineTITLElExampteVDIWl Da故障|ppm/aC j警告信號(hào)及消除45 / 53fl |997.60 |mbar .Material Expansion Cnmpensation量洌罩位瀏量模式卜一空二播氏XL80 NOT RESPONDING鐳射無反應(yīng)，表示電源無送入檢查鐳射ON/OFF及不斷電

40、器之ON/OFF及最初之外接電源插座ON/OFF是否在開的位置SIGNAL LOW鐳射光線訊號(hào)太低表示對(duì)焦動(dòng)作沒做好重新做對(duì)焦動(dòng)作.請(qǐng)無相關(guān)人員離開HEATER FULL ON鐳射加熱器正在運(yùn)作表示目前無法做量測(cè)，等待十分鐘再看其是否消失恢復(fù)正常BEAM OBSTRUCTED鐳射光線被阻隔表示曾被遮到或主軸頭滴油及工作臺(tái)附近之無塵紙報(bào)紙等飄起遮 住光線.請(qǐng)無關(guān)人員離開.將主軸附近漏油擦干凈.清除工作臺(tái)附近之報(bào)紙及無塵紙.按歸零鍵消除AlarmXL80 NOT ON 但（I ）為綠燈鐳射機(jī)不正常表示計(jì)算機(jī)連接信號(hào)有問題.將鐳射頭隔10秒后再啟動(dòng).離開本系統(tǒng)再重新啟動(dòng).檢查與鐳射頭相關(guān)之信號(hào)線.若

41、仍無法消除，則請(qǐng)與RENISHAW公司技術(shù)人員聯(lián)絡(luò)XC80 FAUL環(huán)境補(bǔ)償裝置失效檢查USB連結(jié)是否正常HIGH SPEED ERROR高速度誤差表示鐳射在擷取數(shù)據(jù)時(shí)，鏡頭移動(dòng)太快或光線瞬間被擋到MOVE OVERRUN過行程移動(dòng)鏡頭移動(dòng)距離須超過OVERRUN設(shè)定，檢查程序是否有消除背隙PREHEAT鐳射正在預(yù)熱中46 / 53表示剛開機(jī)之狀態(tài)，大約6分鐘左右可恢復(fù)正常，與C之不同為量測(cè) 中可能出現(xiàn)但仍可執(zhí)行量測(cè)動(dòng)作（不過不見得準(zhǔn)確），歸零消除再等待 10分鐘,若仍無法消除，將鐳射OFF后再ONI : LASER UNSTABLE鐳射光線未達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)此時(shí)光線忽有忽無待6分鐘左右鐳射之LED指示燈由紅轉(zhuǎn)黃并變綠燈時(shí)，即自動(dòng)消除.經(jīng)6分鐘左右若無消除，以歸零強(qiáng)制消除，若長(zhǎng)期處于黃燈，請(qǐng)檢