靜電防護(hù)管理規(guī)范

1、靜電防護(hù)管理規(guī)范靜電防護(hù)管理規(guī)范第第10頁靜電防護(hù)管理規(guī)范靜電防護(hù)管理規(guī)范公司管理文件靜電防護(hù)管理規(guī)范文件編號：保密等級：發(fā)岀部門：發(fā)布日期：文件類別：口跨部門發(fā)文件編號：保密等級：發(fā)岀部門：發(fā)布日期：文件類別：口跨部門發(fā)送：抄送：總頁數(shù)：10頁附件：6頁主題詞：靜電規(guī)范部門內(nèi)編制A： 責(zé)任人： 審核：批準(zhǔn):文件分發(fā)淸單分發(fā)部門/人數(shù)量簽收人簽收日期分發(fā)部門/人數(shù)量簽收人簽收日期文件變更記錄I變更日期版本變更條款變更內(nèi)容責(zé)任人I99 Ji:i目的靜電防護(hù)的目的：靜電防護(hù)的目的是在電子元器件、組件、設(shè)備的制造和使用過程中，通過各種防護(hù)手段， 防止因靜電的力學(xué)和放電效應(yīng)而對人體及產(chǎn)品產(chǎn)生或可能產(chǎn)生

2、的危害(危害包括:對人體產(chǎn)生 電擊；使電子元器件完全損壞、縮短壽命、潛在損傷、電磁干擾等)，或?qū)⑦@些危害限制在最 小程度，以確保人體安全和元器件、組件及設(shè)備的設(shè)汁性能及使用性能不致因靜電作用受到損 害。1. 2.本規(guī)范的目的:對供應(yīng)鏈管理部靜電防護(hù)操作統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行規(guī)范管理。適用范圍適用于供應(yīng)鏈管理部電子產(chǎn)品相關(guān)的所有部門及活動過程，包括供應(yīng)商來料，公司內(nèi)部設(shè)計、 生產(chǎn)、調(diào)試、包裝、運輸，代理商存儲及工程安裝現(xiàn)場等。3 相關(guān)文件1. GBJ79-85工業(yè)企業(yè)通信接地設(shè)計規(guī)范2. GJB1619-93電子產(chǎn)品防靜電放電控制大鋼文件3. GB 4385-1995防靜電鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求4. GB12

3、014 -89防靜電工作服5. GB2887-2000電子計算機場地通用規(guī)范定義靜電electrostatics：是一種電能，一般存在于物體表而，是正負(fù)電荷在局部失衡時產(chǎn)生的一種現(xiàn)象。2.靜電現(xiàn)象:是指電荷在產(chǎn)生與消失過程中所表現(xiàn)岀的現(xiàn)象的總稱，如摩擦起電就是一種靜電現(xiàn)象。3.靜電放電electrostatic discharge (ESD)處于不同靜電電位的兩個物體之間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移就是靜電放電。4.靜電敏感度electrostatic SUSCePtiVity :指元器件所能承受的靜電放電電壓值。5.靜電敏感器件StatiC SenSitiVity device (SSD):對抗靜電電壓

4、 400OV的靜電放電敏感的電子零件、組件或成品。6.泄放leakage:將靜電荷安全傳導(dǎo)到地。7.中和neutralization:利用異號電荷使靜電消失。8.導(dǎo)電性材料conductive：表面電阻系數(shù)為105Ohm及以下靜電衰減材料CliSSiPatiVe :表面電阻系數(shù)在106-109ohm指間。防靜電材質(zhì)anti-static :表面固有電阻值10?1012Ohm之間。絕緣材質(zhì)insulative：表面固有電阻系數(shù)在1012Ohm及以上。表而電阻系數(shù)：每平方厘米電介質(zhì)表而對正方形的相對二邊間表而泄漏電流所產(chǎn)生的電阻。單位是歐姆。地線：用來將電流引入大地的導(dǎo)線;電氣設(shè)備漏電或電壓過髙時

5、,電流通過地線進(jìn) 入大地。14.接地電阻：是指電流經(jīng)過接地體進(jìn)入大地并向周圉擴(kuò)散時所遇到的電阻。4.15.防靜電工作區(qū)StatiC Safe area:由各種防靜電設(shè)施、器件及明確的區(qū)威界限形成 的工作場地。職責(zé)1.產(chǎn)品工藝部1. 1.制立、更新維護(hù)靜電防護(hù)管理規(guī)范。1. 2.建立各生產(chǎn)活動區(qū)域之抗靜電要求規(guī)定及負(fù)責(zé)制程上及儀器設(shè)備上防靜電 保護(hù)措施之架設(shè)與維修。1.3.ESD專案人員負(fù)責(zé)進(jìn)料的檢測、計劃性點檢和監(jiān)督指派人員進(jìn)行保養(yǎng)并 記錄報表歸檔，以及提岀靜電防護(hù)改善措施。1. 4.由ESD專案人員負(fù)責(zé)訓(xùn)練生產(chǎn)線上之作業(yè)人員正確的靜電保護(hù)觀念及相 關(guān)的測試設(shè)備使用指導(dǎo)。5.對各種ESD材料的

6、性能、使用抽檢周期和數(shù)量、異常處理程序及作業(yè)員 靜電防護(hù)用具的使用作岀泄義。5.1.6.對廠商提供生產(chǎn)所需ESD工具材料、防護(hù)用具的使用性能作評估認(rèn)可。7.負(fù)責(zé)對生產(chǎn)管理部人員/質(zhì)量人員進(jìn)行ESD相關(guān)培訓(xùn)并考核。2.生產(chǎn)管理部2.1.產(chǎn)線作業(yè)員每天檢測靜電手環(huán)是否正確使用及功能是否正常并做記錄。2. 2.作業(yè)員要每天檢查產(chǎn)線所有接地材料、設(shè)備是否完善，ESD器具是否合理 使用，電烙鐵/電動起子是否漏電，測試輸出電壓是否在規(guī)格內(nèi)，作業(yè)員的靜 電防護(hù)著裝是否正確與完善并做記錄。2. 3.當(dāng)發(fā)現(xiàn)ESD/EOS異常及時反饋給供應(yīng)鏈運營質(zhì)量部及產(chǎn)品工藝部人員。3.計劃管理部3.1.靜電敏感零件與半成品儲

7、存于電子倉時，需確認(rèn)儲存位置具有良好之靜電防護(hù)裝宜接地良好并點檢記錄，檢查儲存設(shè)備抗靜電保護(hù)是否正確。3. 2.靜電敏感零件與半成品于入庫計數(shù)與檢查時，需確認(rèn)人員與操作工具均有 良好之靜電防護(hù)裝程并接地良好，檢查設(shè)備之抗靜電保護(hù)是否正確。3. 3.物料人員在為生產(chǎn)線補充材料的運輸過程中需確認(rèn)靜電敏感零件是否由防 靜電小車運輸并良好接地，在整個過程中都不可以打開任何靜電敏感零 件的靜電防護(hù)包裝。4.供應(yīng)鏈運營質(zhì)量部4. 1.負(fù)責(zé)稽核作業(yè)人員是否遵循ESD管理規(guī)范進(jìn)行作業(yè)及進(jìn)行點檢、保養(yǎng)并對制程與設(shè)備抗靜電保護(hù)進(jìn)行抽檢。4. 2.靜電敏感零件入廠檢驗時,包裝是否靜電保護(hù)良好并且是否符合防靜電要求并

8、對供貨商做防靜電管制稽核。4. 3.當(dāng)防靜電包材重復(fù)使用時對包材進(jìn)行防靜電測試以確保其防靜電功能。5.質(zhì)量管理部提供培訓(xùn)以及技術(shù)支持工作程序建立全廠ESD管控系統(tǒng)供應(yīng)鏈管理部（包括產(chǎn)工部，質(zhì)量部，生產(chǎn)部）、質(zhì)量管理部等部門派ESD代表負(fù)責(zé) 推動本部門ESD管控以及建立、維護(hù)全廠ESD防護(hù)系統(tǒng)。2.人員培訓(xùn)2. 1.新員工必須經(jīng)過人力資源與行政公關(guān)部安排的新員工ESD學(xué)習(xí)課程：2. 2.相關(guān)操作人員資格鑒左加入ESD/EOS防護(hù)內(nèi)容，產(chǎn)品工藝部需要對相關(guān)操作人員進(jìn)行 ESD/EOS書而考核以及實際操作考核，未考核合格不能上線作業(yè)：2. 3.供應(yīng)鏈管理部、質(zhì)量管理部安排周期性ESD知識訓(xùn)練課程（每

9、年不能少于一 次）3.點檢3.1. ESD/EOS點檢分為日常點檢與左期點檢,點檢周期與參數(shù)依據(jù)各點檢記錄表執(zhí) 行,評定標(biāo)準(zhǔn)按照ESD測試方法作業(yè)說明書。3. 2.日常點檢由供應(yīng)鏈生產(chǎn)管理部人員負(fù)責(zé)執(zhí)行并記錄；立期點檢由產(chǎn)品工藝部負(fù)責(zé)執(zhí)行并記 錄。4.稽核改善1.日?；烁纳乒?yīng)鏈運營質(zhì)量部對產(chǎn)線ESD防護(hù)依據(jù)IPQC巡檢表進(jìn)行稽核，發(fā)現(xiàn)問題立即改善。4. 2.定期稽核改善ESD小組組織部門性ESD稽核（每周不少于一次發(fā)現(xiàn)問題點追蹤并改善。5.人員、設(shè)備以及各作業(yè)區(qū)域ESD保護(hù)規(guī)定5. 1.區(qū)域標(biāo)識以及溫濕度管控5. 1. 1.靜電敏感工作區(qū)域需張貼醒目的ESD警告標(biāo)語：5. 1. 2.有嚴(yán)格

10、著裝規(guī)范要求的區(qū)域需在區(qū)域入口處醒目張貼著裝規(guī)范；5.1. 3.空氣中的濕度對靜電的產(chǎn)生有決立性影響，因此靜電敏感區(qū)域現(xiàn)場 的相對濕度必須控制在一泄的范圍內(nèi)，我司防靜電敏感區(qū)域的 濕度管控范圍為30%-80%u5. 2.人員防護(hù)5. 2. 1.進(jìn)入各區(qū)域著裝依各區(qū)域要求；5. 2. 3.凡直接工作于靜電控制區(qū)域或因工作需要，需經(jīng)常性出入于靜電控 制區(qū)域者，需穿靜電鞋，并定期檢査：5. 2. 4.作業(yè)時直接接觸靜電敏感零件者均需佩戴靜電手環(huán)，各部門每天需 執(zhí)行ESD制程點檢，點檢項目包括靜電手環(huán)之佩戴方式與功能檢測，敏感組件之作業(yè)規(guī)范，設(shè)備以及桌墊接地，接地扣以及相關(guān) IabeI完備性等。6.

11、5. 3.工作臺或維修站的ESD保護(hù)6. 5. 3. 1.靜電敏感區(qū)域的儲料架、工作臺、維修臺而均需附加ESD桌墊，每 隔5米一個靜電接地扣，靜電扣導(dǎo)線與防靜電金屬線部分確實連接； 接地扣需要做ESD防護(hù)標(biāo)簽：6. 5. 3. 2.有靜電防護(hù)要求的工作站其SoP上需明確張貼ESD警告標(biāo)簽：6. 5. 3. 3.移除工作區(qū)域內(nèi)非必要之靜電產(chǎn)生物：6. 5. 3. 4.在所有制程中必須使用到得絕緣體如果會產(chǎn)生2KV以上的靜電場（壓），必須與ESD敏感物品保持30CM以上的距離，對于會產(chǎn)生2KV 以下靜電場（壓）的絕緣體，必須與ESD敏感物品保持15CM 以上的距離。靜電地板ESD防護(hù)原則參照防靜電

12、地板保養(yǎng)規(guī)范6. 5. 5.機器/設(shè)備EOS保護(hù)6. 5. 5. 1.機器/設(shè)備均需接地，使其漏電電壓小于IV的指左范圍內(nèi)：6. 5. 5. 2.功能測試站Or燒錄FW站別需對其輸出電壓進(jìn)行點檢：6. 6.各制程防靜電基本規(guī)定6. 6.1.電子倉以及半成品車間6. 6. 1. 1.電子倉以及半成品車間都圧義為靜電敏感區(qū)域，作業(yè)人員進(jìn)入這些 區(qū)間需要穿戴靜電衣帽；6. 6. 1. 2.以上區(qū)域均需使用防靜電地板：6. 6.1. 3.物料人員在打開靜電敏感零件防靜電包裝時需要佩戴靜電手環(huán)或者 靜電手套：6. 6.1. 4.產(chǎn)線作業(yè)或者檢驗人員作業(yè)時依據(jù)要求需佩戴靜電手環(huán)或者靜電手 套；6. 6.1

13、. 5.敏感元件的存儲需要使用抗靜電或?qū)щ娙萜鳎?. 6.1.6.敏感元件儲料架均需附加ESD桌墊，并且確保接地良好：6. 6.1. 7.靜電敏感零件運輸時需使用防靜電小車，并且需確保接地良好；6. 6. 1.8.1作區(qū)域使用ESD桌墊，ESD桌墊以及產(chǎn)線金屬設(shè)備均需確保接地 良好：6. 6.1. 9.務(wù)除工作區(qū)域內(nèi)非必要之靜電產(chǎn)生物：6. 6. 2.系統(tǒng)總調(diào)車間6. 6. 2.1. VW, IDB在通電時必須確認(rèn)金屬設(shè)備（如機芯，接口）接到同一個 地線；6. 6. 2. 2.其他測試之設(shè)備也必須確保接地良好：6. 6. 3.屏幕車間屏幕車間的防護(hù)依照目前的防護(hù)情況執(zhí)行，不做英他要求6. 7.

14、防靜電材料標(biāo)識以及抽檢方法6. 7.1.1廠內(nèi)所有防靜電料箱，料盒，隔板，蓋板，防靜電小車，tray,接地地點 等都需張貼防靜電警告標(biāo)簽和起用日期：6. 7. 2.廠商所提供的防靜電包材必須有可識別的靜電標(biāo)識；6. 7. 3.防靜電材料抽檢方法防靜電包材抽檢與IQC檢驗一起進(jìn)行，抽樣比例與IQC抽樣比例一致，抽檢 內(nèi)容包括包材防靜電標(biāo)識，靜電電壓以及導(dǎo)電阻抗；抽査中如果發(fā)現(xiàn)材料靜 電防護(hù)性能失效數(shù)量超過允收標(biāo)準(zhǔn)，不良處理流程參照IQC不良品處理流 程。6. 7.4.廠內(nèi)防靜電包材（如PE袋，氣泡袋）重復(fù)使用抽檢方法如靜電包材需要重復(fù)使用，需由生產(chǎn)部收集所有需要重復(fù)使用之包材，通知 IPQC進(jìn)行

15、抽樣檢測（按GBT2828.1-2003正常檢驗單次抽樣計劃,一般水平 Il級抽樣方法，AQL二0.65抽樣執(zhí)行），檢測包括外觀檢查（不允許存在破損） 以及靜電電壓、阻抗測試，抽樣檢驗合格才可繼續(xù)使用，如不合格則不允許 繼續(xù)使用。注：如發(fā)現(xiàn)有不合格品可以通過全檢的方式篩選：8.制程中材料不良廠內(nèi)制程EOS/ESD測量流程當(dāng)QA檢驗發(fā)現(xiàn)不良,或者產(chǎn)線出現(xiàn)集中性不良，產(chǎn)工部分析不良為IC等電子 元件失效時,ESD小組需要對工廠ESD防護(hù)情況進(jìn)行檢測，并提供測試報告， 測量項目如下：6. 8.1. 1.檢測在制產(chǎn)品設(shè)備靜電防護(hù)是否符合要求：6. 8.1.2.檢測設(shè)備、人員點檢記錄表是否有異常；6.

16、8.1.3.檢測作業(yè)人員靜電防護(hù)是否符合求：6. 8.1. 4.檢測存儲環(huán)境運輸條件是否符合防靜電要求：6. 8. 2.如量測量結(jié)果為廠內(nèi)制程問題，問題單位需立即提岀改善對策及后續(xù)預(yù)防對 策：6. 8. 3.如量廠內(nèi)制程沒有發(fā)現(xiàn)問題,需根據(jù)分析結(jié)果做進(jìn)一步處理。附件1電荷源在防靜電工作區(qū)內(nèi)禁止使用及接觸易產(chǎn)生靜電荷的電荷源（見表Do類別電荷源工作臺表面油漆或浸漆表面，普通塑料貼而，普通乙烯及樹脂表而地板塑料及普通地板革，拋光打賠木地板，普通乙烯樹脂工作服，帽，鞋普通滌綸，合成纖維及尼龍面料，塑料及普通膠底鞋操作工具及設(shè)備普通塑料盒，架，瓶，盤用品及紙制品，普通泡沫及一般電動 工具，壓縮機，噴射

17、設(shè)備，蒸發(fā)設(shè)備等。2防靜電器材基本配宜各種防靜電器材基本配置見表2o表2P置部位 置項器材名稱、元器件聶老化篩選 元器件檢臉及元 器 件 庫 房元 器 件 預(yù) 處 理設(shè)計 工藝 實驗 室裝 配調(diào) 試機房維 修外 場 維 修運 輸防靜電元件存放架靜電識別標(biāo)簽防靜電元件盒（袋）防靜電桌墊防靜電地墊OOO防靜電周轉(zhuǎn)箱OOO防靜電運輸車OOOOOO防靜電工作服O防靜電腕帶腕帶監(jiān)視器OOCjCj導(dǎo)電鞋束OOOCj防靜電工作鞋OOOOCj防靜電工作手套O防靜電烙鐵防靜電吸錫器防靜電印制板架靜電電壓表OO離子風(fēng)靜電消除器OOOO防靜電維修箱（包）防靜電海棉泡沫OOO防靜電接大地線（帶）防靜電工作區(qū)標(biāo)志牌OO

18、防靜電文件袋O抗靜電劑（溶液）OOOOOOO靜電監(jiān)測設(shè)備O7. 3防靜電標(biāo)志3. 1.防靜電工作區(qū)域標(biāo)識如下圖（見圖1）。ATTENTloNObSCrVC PrCCaIitiOns for handling CICCtrOStatiC discharge SCnSitiVC devices 按觸臚電放電敏感尤件H4 Ilti采収適呷的俺M描施ESD PrOteCted area靜tl防護(hù)區(qū)域（圖1）圖2ATTENTlON圖2ATTENTlON3. 2防靜電手環(huán)接地地點標(biāo)識以及防靜電物品標(biāo)識如，如圖2和圖3所示。OBSERVE PRECAUTIONSELECTOSTATlCSENSITIVOS

19、DEVICES733防靜電容器（防靜電周轉(zhuǎn)箱.防靜電元件盒等）、元件架、運輸車等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志 （圖3）,標(biāo)志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。734經(jīng)防靜電液處理的物品和場所，其標(biāo)志見圖4。Ojp處理日期I有效日期處理者_(dá)35靜電防護(hù)檢查要求示例:檢查項目檢査標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)描述1防靜電環(huán)是否按照 作業(yè)指導(dǎo)書要求每 天上班之前檢測？每天上班前按操作要求對防靜電鞋 及防靜電手環(huán)進(jìn)行點檢確認(rèn)，并簽 名。2工作人員拿取板卡 是否有靜電護(hù)防1、板卡有用屏蔽袋或防靜電袋包 裝。舉例圖片2、人員拿取物料的手有佩戴防靜電 手套。人員工作時是否按 按文件要求佩戴防靜電環(huán)和防靜電 相關(guān)作業(yè)指導(dǎo)書或手套。3 其他文件要求佩戴防靜電環(huán)和佩戴防靜電手套？電烙鐵及吸錫器及 電吹風(fēng)槍電源線是 否為3PIN插頭線 或設(shè)備是否有效接 地？有靜電敏感器件的 物料或產(chǎn)品使用之 前是否有屏蔽袋或 防靜電袋包裝等靜 電防護(hù)描施并擺放 整齊？電源線為3PIN插頭線或設(shè)備本身 有接地線并上期進(jìn)行點檢記錄。存放的板卡等物料均有屏蔽袋或防 靜電袋并規(guī)范包裝，且擺放整齊。存放的板卡是否有 屏蔽袋或防靜電袋 包裝，并整齊放入 防靜電箱內(nèi)？長時間存放的板卡 是否有按照規(guī)泄放 入防靜電箱內(nèi)并蓋 上頂板？電子產(chǎn)品裝配工作 臺面、電子產(chǎn)品或 物料存放架等基礎(chǔ) 設(shè)施表而等是否