SEMIS半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則

1、SEMI S22023929Content:1. 目的；2. 范圍；3. 留意事項；4. 參考標(biāo)準(zhǔn)；5. 術(shù)語；6. 安全理念；7. 一般準(zhǔn)則；8. 評估過程；9. 供給應(yīng)使用者的文件；10. 危急性警告標(biāo)志；11. 安全連鎖裝置；12. 緊急停機； 13. 電氣安全；14. 消防安全；15. 化學(xué)物質(zhì)加熱槽；16. 人體工學(xué)；17. 危急能量隔離；18. 機械設(shè)計安全； 19. 地震保護；20. 自動機械設(shè)備；21. 環(huán)境因素；22. 排氣；23. 化學(xué)品安全；24. 游離輻射安全；25. 非游離輻射安全；26. 激光安全；27. 噪音目的 (PURPOSE)為半導(dǎo)體制程設(shè)備供給一套有用的環(huán)

2、保、安全和衛(wèi)生準(zhǔn)則。范圍 (SCOPE)適用于全部用于芯片制造、量測、組裝和測試的設(shè)備。留意事項(LIMITATIONS)不行作為檢驗是否符合本地法規(guī)要求的依據(jù)；沒有供給格外具體的半導(dǎo)體制程設(shè)備ESH 準(zhǔn)則；或法規(guī)等全部條文都適用。參考標(biāo)準(zhǔn)(REFERENCED STANDARDS)SEMI StandardsANSI Standards (Radio Frequency)CEN/CENELEC Standards (Explosion)IEC Standards (Electrical)ISO Standards (Robot manipulation)NFPA StandardsACGIH

3、 (Industrial Ventilation Manual)術(shù)語(TERMINOLOGIES)不行燃物質(zhì)Non-combustible material：在一般條件anticipated conditions下，受陶瓷、石英等?？扇嘉镔|(zhì)(Combustible material)：具有火焰?zhèn)鞑チ饣虿粷M足上述“不行燃物質(zhì)”定義之物質(zhì)。易燃氣體(Flammable gas101.3KPa20下，可以和空氣形成可被點燃的混合物的氣體。自燃物質(zhì)(Pyrophoric material)：54.4以下在空氣中可以自燃的化學(xué)品。易燃液體(Flammable liquid37.8 100F之液體。游離

4、輻射(Ionizingradiation)：、X 射線，中子，高速離子，高速質(zhì)子等全部在人體器官內(nèi)可產(chǎn)生離子之粒子或射線。非游離輻射(Non-ionizingradiation100nm外線、紫外線及可見光等。質(zhì)量平衡(Mass balance)：輸入與輸出的質(zhì)量流率定性(或定量)平衡。災(zāi)禍(Mishap)：對人體造成死亡、損害、職業(yè)病或?qū)υO(shè)備、財產(chǎn)、環(huán)境造成損失的未估量的或一系列的大事(events)。職業(yè)曝露濃度極限(Occupational exposure limits,OELs8PEL, TLVPEL。生殖毒害品(Reproductive toxicant)：已證明或疑心對胚胎產(chǎn)生畸

5、形危急，或?qū)ε咛グl(fā)育及人體生殖功能有明顯負面影響的化學(xué)物質(zhì)。風(fēng)險(Risk)：以危害嚴(yán)峻性和危害機率表示發(fā)生災(zāi)難的可能性。速度壓力(Velocity pressure, VP)：使空氣速度從零到要求的速度所需要的壓力值。VP空氣流的動能成正比。失效也是安全的(Fail Safe)：一種設(shè)計，當(dāng)系統(tǒng)中任何組件失效時，不行造成危急的升級。比方：一個具有失效也是安全設(shè)計的溫度把握儀，假設(shè)失效，會馬上停頓制程，但同時還可以指示實際溫度值。危害性制程物料(Hazardous Production Material,HPM)：一種固體、流體或氣體，其危急程NFPA 70434，直接用于爭辯、試驗室或生產(chǎn)制

6、程者，且其最終產(chǎn)品不具任何危害性。無線電頻率(Radio Frequency, RF3KHz300GHz300MHz300GHz連鎖(Interlocks)：硬件連鎖 一種由電氣機械組件電纜線或光連結(jié),已經(jīng)程序設(shè)定好的機械把握電路當(dāng)電路被切斷時最終的把握部份無法操作軟件連鎖 計算器把握程序。在其支配之下，裝置可或不許被人操作任何涉及不同程度的安全，軟件安全連鎖需要硬件安全連鎖 作支持。(Material Safety Data Sheets, MSDS29CFR 1910.1200(OSHA20)之規(guī)定制作的。安全理念 (SAFETY PHILOSOPHY)在設(shè)備生命周期安裝、操作、保養(yǎng)及廢棄

7、處置中，對其可能發(fā)生的潛在安全及衛(wèi)生危害進展消退，或通過防護措施來削減這種危害。破壞性后果。必需考慮符合工業(yè)、建筑、電氣、消防標(biāo)準(zhǔn)及政府法規(guī)之需要。設(shè)備設(shè)計時應(yīng)當(dāng)符合標(biāo)準(zhǔn)要求、工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、本標(biāo)準(zhǔn)以及良好的工程和制造標(biāo)準(zhǔn)。任何可預(yù)見的失效或操作錯誤而導(dǎo)致人員危害曝露、廠務(wù)設(shè)施危害曝露或社區(qū)危害曝露危害， 以及導(dǎo)致死亡、重大損害或重大設(shè)備損失的現(xiàn)象都是確定不允許的。設(shè)備必需有“失效也安全”(FAIL-SAFE)或“故障容許度”(FAULT-TOLERANT)之設(shè)計。設(shè)備組件及配件都應(yīng)當(dāng)符合設(shè)備制造商供給的等級級別或標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。設(shè)備設(shè)計初期，為鑒別和評估潛在危害，應(yīng)當(dāng)進展危害分析。當(dāng)設(shè)計成熟后，危害分析

8、結(jié)果應(yīng)當(dāng)更。危害分析應(yīng)當(dāng)考量：設(shè)備制程或應(yīng)用、各個制程的危害、可能的失效模式、災(zāi)難發(fā)生的可能性以及嚴(yán)峻性、危害曝露人員的專業(yè)水平和曝露頻率、操作和保養(yǎng)的頻率與簡潔性、關(guān)鍵安全部件把握危害的各種方法的選擇挨次如下：設(shè)計時將之消退危害使用安全設(shè)施進展防護-工程把握供給安全警告設(shè)施-工程把握供給危害警告標(biāo)簽-治理把握訓(xùn)練-治理把握其他治理把握以上全部方法的組合此準(zhǔn)則只是半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計時的最低考量。一般準(zhǔn)則 (GENERAL PROVISIONS)設(shè)備應(yīng)符合一般安全標(biāo)準(zhǔn)，此準(zhǔn)則只是設(shè)備之選購標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。次標(biāo)準(zhǔn)只是供給應(yīng)用戶選購符合SEMI S2地政府辦理許可證。設(shè)備供給商應(yīng)當(dāng)供給應(yīng)用戶指定的代表來準(zhǔn)時更

9、有關(guān)設(shè)備最覺察之危害因子或安全防護措施升級方案。設(shè)備操作、維護使用的工具及附件必需由設(shè)備供給商供給應(yīng)用戶或者明確其規(guī)格。評估過程(EVALUATION PROCESS)評估方應(yīng)當(dāng)依據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)對設(shè)備進展評估并寫出書面 報告。內(nèi)容包括手冊9.6 局部和具體設(shè)計局部1027。只有當(dāng)使用到附錄時，附錄才算作報告的一局部。對于每個局部，評估報告皆應(yīng)表達以下工程并供給原理： 符合證據(jù)：設(shè)備符合本局部標(biāo)準(zhǔn)證據(jù)不符合證據(jù)：設(shè)備不符合本局部標(biāo)準(zhǔn)證據(jù)不適用：本局部不適用于此設(shè)備證據(jù)證明無重大安全危急的風(fēng)險評估結(jié)果可以作為設(shè)備滿足標(biāo)準(zhǔn)的一種證據(jù)。評估報告還應(yīng)包括其他信息：制造商、設(shè)備序列號、設(shè)備評估日期、設(shè)備構(gòu)造、關(guān)

10、鍵圖示以及評估方對設(shè)備合格的表達。供給應(yīng)評估方的信息：一般信息：安全設(shè)施功能、危害分析、人因工程、關(guān)鍵安全部件清單、火災(zāi)危急評估、測試結(jié)果、設(shè)計規(guī)格等。工業(yè)衛(wèi)生信息：排氣、化學(xué)品名目及危害分析、游離輻射、非游離輻射、激光危害、噪音。Note: 以上工程在本標(biāo)準(zhǔn)中為工業(yè)衛(wèi)生范疇。環(huán)境信息：能源節(jié)約能量、水、DI water、壓縮氣體、化學(xué)品及包裝、設(shè)備及組件的重使用考量、能源重使用、化學(xué)品選擇方法和標(biāo)準(zhǔn)、廢水或氣體揮發(fā)性把握、廢水廢氣廢渣及副產(chǎn)品把握。Note: 以上工程在本標(biāo)準(zhǔn)中為環(huán)境范疇。供給應(yīng)使用者的文件(DOCUMENTS PROVIDED TO USER)設(shè)備供給商(Supplier)

11、應(yīng)當(dāng)供給以下書面文件給使用者：符合本標(biāo)準(zhǔn)的評估報告不符合本準(zhǔn)則之全部事項，但需要說明改善打算或不符合事項之正值理由地震保護信息環(huán)境有關(guān)信息：包括能耗、質(zhì)量平衡、廢水廢氣處理等工業(yè)衛(wèi)生信息手冊。內(nèi)容應(yīng)當(dāng)符合SEMI S13活線作業(yè)(Type 4 task)的具體書面指南，包括問題解決(Troubleshooting)能量隔離指導(dǎo)Logout/TagoutEMO設(shè)備維護使用的危急物質(zhì)潤滑油、清洗劑、冷凍液 設(shè)備維護后產(chǎn)生的固體廢棄物，或處理受到嚴(yán)格把握的物質(zhì)清單含汞廢物、電池、受污染部件、PM 廢棄物維持安全設(shè)施工程把握設(shè)施正常運行的維護程序推舉使用的防污染和機臺退役廢棄處理方法應(yīng)當(dāng)依據(jù)SEMI

12、S12 的標(biāo)準(zhǔn)供給，內(nèi)容包括：組件和材質(zhì)識別，假設(shè)組件可以回收或重使用，則需要供給充分證據(jù)可能被危急物質(zhì)污染的部件具有潛在污染環(huán)境的維護程序：程序應(yīng)當(dāng)識別可能有危害物質(zhì)散發(fā)的程序步驟和散發(fā)之揮發(fā)物性質(zhì)； 識別危害物特性以及如何削減危害物的影響。消防文件：消防總結(jié)報告火災(zāi)危急轉(zhuǎn)移方法機臺火災(zāi)探測系統(tǒng)的運行、維護與測試機臺消防系統(tǒng)的運行、維護與測試合格的設(shè)計商與安裝商供給的文件任何用于測試機臺火災(zāi)探測系統(tǒng)或消防系統(tǒng)的儀器清單危急性警告標(biāo)志在危害沒有通過原始設(shè)計或安全保護裝置完全消退的地方，全部危害皆應(yīng)貼上警示標(biāo)簽，如高壓電、化學(xué)品、高溫、低溫、輻射以及可能產(chǎn)生氣械損害處皆應(yīng)明顯的標(biāo)示出來。危害標(biāo)示

13、設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)依據(jù)SEMIS1標(biāo)準(zhǔn)，并在所處環(huán)境下保持長期耐用。 但有些國家對輻射以及化學(xué) 品危害警示標(biāo)簽有法規(guī)規(guī)定，這時必需承受本國法規(guī)規(guī)定。安全連鎖裝置 (SAFETY INTERLOCK SYSTEMS)全的狀態(tài)，同時作業(yè)員也可得知危急信息。全部設(shè)備應(yīng)當(dāng)使用失效也安全(FAIL-SAFE)的安全連鎖裝置,以防范在操作設(shè)備時發(fā)生之危害。設(shè)備使用有害化學(xué)品、雷射、UV 紫外線及輻射等，必需在危急點裝設(shè)安全連鎖,以防止人員暴露。全部使用有害氣體之機臺均應(yīng)安裝氣體偵測系統(tǒng),假設(shè)偵測到暴露危急可以馬上自動關(guān)閉該機臺氣體供給,使設(shè)備機臺處于安全狀況。維護手冊應(yīng)當(dāng)供給當(dāng)安全連鎖裝置失效后應(yīng)當(dāng)實行的治理把握

14、措施。將安全連鎖恢復(fù)啟動時，不應(yīng)當(dāng)會同時將設(shè)備起動或?qū)⑷魏慰梢苿拥脑O(shè)施動作。計算機硬件假設(shè)失效應(yīng)自動將設(shè)備置于安全備用方式。任何狀況下時軟體的安全連鎖作用必需備有硬件的安全連鎖裝置。安全連鎖裝置最好承受電機械式(Electomechanical)設(shè)施。但是也可承受固態(tài)設(shè)施(Solid-state device)或組件，只要考量了過電壓、低電壓、電力中斷等情形。緊急停機 (EMERGENCY SHUTDOWN)設(shè)備之EMO，其作動時可使設(shè)備置于安全的關(guān)機狀態(tài)，不使系統(tǒng)上的危害增加。全部的EMO 按鈕應(yīng)有清楚的標(biāo)示，易于接近，且要求人員與EMO 按鈕不應(yīng)超過公尺。EMOUPSEMOEMOFAIL-

15、SAFEEMO24VEMO之設(shè)計應(yīng)確保其不使用時不行以使主電源跳開EMOEMO時不應(yīng)同時使設(shè)備電源恢復(fù)。EMO電氣安全 (ELECTRICAL DESIGN)帶電工作(Electrical work)：以下為電工的五種形式：TYPE 1 設(shè)備全部停電TYPE 2 設(shè)備在供電中，活線加蓋或絕緣TYPE 3 設(shè)備供電中，活線暴露，有可能接觸活線發(fā)生意外，而暴露電壓小于30 Volts rms，42.2 Volts peak，60 Volts dc,240 Volt-ampsTYPE4 設(shè)備供電中，活線暴露，有可能接觸發(fā)生意外，而暴露電壓大于30 Voltsrms，42.2 Volts peak，6

16、0 Volts dc,240 Volt-ampsRF41、234應(yīng)特別寫在保養(yǎng)手冊中。供貨商必需在設(shè)備操作及保養(yǎng)手冊中列出第3電氣設(shè)計：設(shè)備應(yīng)當(dāng)滿足適當(dāng)?shù)膰H、地區(qū)、國家或工業(yè)產(chǎn)品安全要求。30Vrms42.2Vpeak 之區(qū)域，設(shè)備制造商應(yīng)供給不導(dǎo)電及/或接地觸電阻隔板(GROUNDEDCONDUCTIVEPHYSICAL BARIERS). 阻隔板所隱蔽的潛在危害必需明顯的標(biāo)示出，危害標(biāo)示如SEMI S1-90，ANSIZ 535，或同等的規(guī)定.備保護蓋外表任何一點到接地端子間量測電流均不得超過3.5mA. 在機械內(nèi)之設(shè)備接地線任何量測體及端子在電流率上應(yīng)兼容，且要適合NEC電氣保護箱應(yīng)依

17、國際電氣制造協(xié)會(NEMA)之標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)造或同等標(biāo)準(zhǔn)值.(NEC 110-9 及110-10)，使用者至少要求以下事項：全部208/120V208/120V 的進入端子10，000 rms480/277V14，000 RMS全部設(shè)備應(yīng)供給銘牌，至少標(biāo)明鄰近電力來源的連接器，容器，制造商名，型號，設(shè)備號碼及電氣資料(電流，電壓，頻率，相系，相號及線號，具體資料，參考NEC670-3 及 NFPA 79， 2-7章所述)。使用UPS30V AC/DC500 VOLT AMPERE.(參考NFPA 110A)。當(dāng)緊急關(guān)閉電源(EMO)執(zhí)行時，或主設(shè)備開關(guān)翻開時，UPS 之輸出應(yīng)除去;EMO 線路或主設(shè)備

18、電斷路器應(yīng)為硬件根底“失效也安全“線路. UPS 應(yīng)由國際認證明驗室認可或列出. UPS在接線端板上注明“UPS 輸出“。消防安全(FIRE PROTECTION)設(shè)備盡可能使用不行燃材質(zhì)，假設(shè)制程化學(xué)品不允許，則必需使用與化學(xué)品兼容之材質(zhì)。制程化學(xué)品要盡量考慮使用不行燃之化學(xué)品。由制程化學(xué)品或材質(zhì)產(chǎn)生的火災(zāi)危急性可以使用工程把握(Engineering Control)的方法。如防止不相容化學(xué)品混合、制程溫度盡量不要超過液體閃點、不行燃物質(zhì)將可燃材質(zhì)與高溫源隔離、安裝滅火系統(tǒng)等?？赡軐?dǎo)致高火災(zāi)危急的設(shè)備電源或化學(xué)品必需與火警探測器和滅火系統(tǒng)連鎖，以免火警探測器及滅火系統(tǒng)失效時，電源啟動或化學(xué)

19、品供給。滅火系統(tǒng)安裝應(yīng)當(dāng)依據(jù)NFPA12,13,2023標(biāo)準(zhǔn)假設(shè)滅火劑對人體有害噴放時間應(yīng)當(dāng) delay使人員有足夠時間撤離現(xiàn)場。機臺處于任何狀況下滅火系統(tǒng)階應(yīng)處于有效狀態(tài)。滅火系統(tǒng)管路安裝要求：防腐蝕、系統(tǒng)組件不應(yīng)聚攏水分、修理簡潔及承受要求工作壓力。警告及安全工作行為：供給商應(yīng)當(dāng)將警告標(biāo)示及安全工作標(biāo)準(zhǔn)寫在系統(tǒng)說明書中。滅火系統(tǒng)維護及測試：設(shè)備供給商應(yīng)供給具體的維護及測試程序，測試包括每個部件的正常受到機臺維護的影響，如被移動位置、探測頭被損壞等現(xiàn)象。環(huán)境：供給商應(yīng)供給滅火劑對環(huán)境或機臺方面影響的指導(dǎo)或資料?；瘜W(xué)物質(zhì)加熱槽(HEATED CHEMICAL BATHS)SEMI S3接地或G

20、FCI電源條件切斷(Power interrupt)手動重設(shè)置功能自動溫度把握器液位感測器過溫失效也安全設(shè)計正確材質(zhì)(不行燃、相容)排氣失效連鎖過流保護人體工學(xué)(ERGONOMICS AND HUMAN FACTORS)人體工學(xué)設(shè)計應(yīng)當(dāng)考量設(shè)備升級等狀況下人體工學(xué)驗證標(biāo)準(zhǔn)：SEMI S8。應(yīng)當(dāng)使用Supplier Ergonomic Success Criteria (SESC)來記錄人體工學(xué)評估結(jié)果。危急能量隔離(HAZARDOUS ENERGY ISOLATION)HPM 供給切斷、圍堵HPM、危急輻射切斷或圍堵、電容剩余電量釋放、停頓危急移動零件、加熱器的切斷以及氣動管路的泄壓。為防止與

21、危急能量源接觸，能量隔離應(yīng)當(dāng)是可以被鎖定的。意外損害。對于具有多種供給源之設(shè)備，建議全部能量隔離設(shè)施在安放在同一個地方。機臺維護前，危急能量源，如高壓系統(tǒng)、儲存的能量，可以被隔離或降低止零的水平。機械設(shè)計安全(MECHANICAL DESIGN)機械穩(wěn)定性：全部設(shè)備、組件及零件等必需有耐運輸、安裝、操作條件等穩(wěn)定性能。運行穩(wěn)定性：機臺不同部件應(yīng)當(dāng)具備抵抗設(shè)計壓力的力氣，對物體墜落等危急應(yīng)當(dāng)有相應(yīng)防護措施。機械危急評估：應(yīng)當(dāng)考慮疲乏、老化、腐蝕及磨損等對機械領(lǐng)部件的影響。輸送液體或氣體化學(xué)品的軟硬管階應(yīng)可承受可預(yù)見的內(nèi)外壓力。運動部件：運動部件應(yīng)當(dāng)設(shè)計成不行以造成任何危急行為，假設(shè)危急設(shè)計不行避

22、開，則確定需要相應(yīng)的保護設(shè)施。運動部件危急性保護措施選擇：應(yīng)當(dāng)考量以下因素，危急被防護、危急導(dǎo)致?lián)p害的發(fā)生可能性及嚴(yán)峻性、保護設(shè)施被移動的頻率。保護設(shè)施：應(yīng)當(dāng)能削減危急使人員接觸機械危急至一個可以承受的水平，同時不會帶來其他的危急。溫度保護：過溫設(shè)備外表需有保護設(shè)施。地震保護(SEISMIC PROTECTION)地震保護設(shè)計準(zhǔn)則目的：使設(shè)備制造商正確設(shè)計設(shè)備內(nèi)部構(gòu)造及組件以抗地震，以及讓設(shè)備供給商供給應(yīng)用戶有關(guān)設(shè)備安全保護的資料信息。設(shè)計時應(yīng)考量零部件當(dāng)?shù)卣饡r失效，從而可能導(dǎo)致危急性升級，所以應(yīng)當(dāng)具有相應(yīng)的防護措施。設(shè)計負荷：設(shè)備、附屬設(shè)備以及全部用于固定設(shè)備的設(shè)施在設(shè)計時階應(yīng)考量：使用HP

23、M 的設(shè)94%設(shè)備重量的水平壓力，不使用HPM63%壓力通過設(shè)備重心，水平壓力應(yīng)當(dāng)在X 軸和Y。計算設(shè)備翻轉(zhuǎn)力的時候，應(yīng)當(dāng)最大考量85%的設(shè)備重量。設(shè)備供給商應(yīng)當(dāng)供給如下資料：設(shè)備圖、支持設(shè)施、接頭及固定的位置，腳的類型及承受重固定的尺寸、固定用的零部件及防地震固定點階應(yīng)明確標(biāo)出。自動運動機械(AUTOMATED MATERIAL HANDLERS)自動運動機械包括：晶圓處理機械、工業(yè)機器人以及無人運輸車(Unmanned transportvehicles, TVs)?？剂咳藛T防護時，自動運動機械產(chǎn)生之危急應(yīng)當(dāng)作為考量因素。如尺寸、容量、速度、工作空間范圍等。工業(yè)機器人：應(yīng)滿足ANSI/RI

24、A R15.06, ISO10218, EN775是“可承受的”。無人運輸車(UTVs) : 有地板運輸車及空間運輸車兩種。應(yīng)當(dāng)安裝有防接觸感應(yīng)裝置，以免和人員或其他物體不經(jīng)意接觸。應(yīng)當(dāng)與制程設(shè)備、自動裝載碼頭、Stocker、傳送帶以及自動倉庫連 鎖。假設(shè)過載，設(shè)備應(yīng)當(dāng)可以探測到并指示當(dāng)時狀況，同時全部裝載設(shè)施馬上停頓，系統(tǒng)不行自動重設(shè)置或啟動。環(huán)境因素(ENVIRONMENTAL CONSIDERATIONS)本標(biāo)準(zhǔn)建議：環(huán)境影響應(yīng)當(dāng)與安全、衛(wèi)生、法規(guī)要求等平衡考慮，用戶有責(zé)任供給有關(guān)環(huán)境給設(shè)備供給商。設(shè)備生命周期從設(shè)計到退役或廢棄處理階應(yīng)考量以下因素：能源節(jié)約：水循環(huán)再利用，化學(xué)品、能量

25、及水的盡量少消耗，零件維護使少消耗資源如清洗液，化學(xué)品的循環(huán)再利用，包裝材料體積削減或使用可屢次使用的包裝?；瘜W(xué)品選擇：化學(xué)品選擇應(yīng)考慮效果、環(huán)境影響、體積、毒性、副產(chǎn)品、處理以及循環(huán)使用等。設(shè)備維護、制程應(yīng)當(dāng)考量不使用臭氧消耗物質(zhì)(ODSCFC, HCFCPFCCF4,C2F6,NF3,C3F8,SF6,CHF3。泄露預(yù)防：化學(xué)品供給，儲存，以及廢棄物處理應(yīng)具有以下最低考量：二次承漏應(yīng)當(dāng)至少裝110%的可能泄漏的化學(xué)品。承漏設(shè)備中適當(dāng)位置點應(yīng)當(dāng)具有Leak sensor可以便利得知承漏設(shè)備中的液體位置，并可以很簡潔移除泄漏的液體。設(shè)備內(nèi)部應(yīng)具有液位Hi 警非手動閥的位置切斷化學(xué)品供給。Par

26、tition等來隔離不兼容之化學(xué)品。超過制程或安全要求的為降低廢水濃度的稀釋是不允許的。設(shè)備材質(zhì)應(yīng)當(dāng)可回收再利用。排氣 (EXHAUST VENTILATION)排氣設(shè)備目的是防止人體對化學(xué)品的曝露。應(yīng)用于：作為最初把握方式：意即把握的第一選擇如不考慮使用個人防護具PPE 等，用于在正常操作條件下，由化學(xué)品集中等造成的危急因素。Hood, Enclosure等)，如機臺間歇的維護行為等。作為其次道把握方式：用于某一處消滅氣體或揮發(fā)性化學(xué)液體泄漏，而其他方法均無效的狀況下。設(shè)備排氣參數(shù)以及相關(guān)測試：輸送管速率、體積流率Q、捕獲速率當(dāng)enclosure 外空氣中存在小顆粒有必要Hood 空氣進入損

27、失因子Fh 或K, 空氣進入相關(guān)系數(shù)Ce, Hood之靜壓SPh, 連接處輸送管的直徑以及Hood連鎖設(shè)計：全部使用HPM 機臺的排氣設(shè)備階應(yīng)當(dāng)使用排氣連鎖，最好使用流量或靜壓感應(yīng)開關(guān)。當(dāng)壓力小于設(shè)定值，在操作員的可視及可聽范圍內(nèi)有聲光警報，同時機臺自動處于安全的Stand-by系統(tǒng)應(yīng)當(dāng)可以和中控室連動，本標(biāo)準(zhǔn)建議Non-HPM 化學(xué)品之排氣只和本機臺的聲光指示器連動。排氣連鎖以及警報應(yīng)可手動重設(shè)置，并可以識別本身的失效狀態(tài)。設(shè)備及設(shè)備組件應(yīng)當(dāng)使用優(yōu)良的排氣設(shè)施，以保證捕獲盡量多的化學(xué)品和優(yōu)化排氣效能?；瘜W(xué)品安全(CHEMICALS)設(shè)備制造商應(yīng)當(dāng)供給機臺使用全部的化學(xué)品和可能產(chǎn)生的化學(xué)品名目

28、。假設(shè)屬于HPM，異味化學(xué)品(Odor threshold1 ppm)或刺激性化學(xué)品的應(yīng)當(dāng)識別出來。危害分析：作為化學(xué)品危害性最起碼的生疏以及對化學(xué)品危害把握到可承受的水平，需要進展危害分析，包括：不兼容化學(xué)品之間可能混合日常操作中化學(xué)品的可能揮發(fā)設(shè)備維護中化學(xué)品的可能揮發(fā)零件或泵等的可能失效化學(xué)品危害把握措施優(yōu)先挨次治理把握制訂標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序,貼警示標(biāo)簽，個人防護具。工程把握：應(yīng)當(dāng)考慮壓力要求、材質(zhì)兼容性、設(shè)備維護、化學(xué)品防漏以及排氣設(shè)備要求。1%的OEL 值。25%的OEL設(shè)備失效時：工作環(huán)境中化學(xué)品的揮發(fā)應(yīng)當(dāng)降低最小，標(biāo)準(zhǔn)為在最差的狀況下，小于25%的OEL最嚴(yán)峻之設(shè)備真實失效狀況：工作環(huán)

29、境中化學(xué)品的揮發(fā)應(yīng)當(dāng)降低最小，標(biāo)準(zhǔn)為在最差的狀況25%的OEL25LEL使用危急氣體的設(shè)備應(yīng)當(dāng)具有持續(xù)的氣體泄漏采樣點安裝說明書中認可和探測器。并且設(shè)備應(yīng)當(dāng)可以承受外部監(jiān)視儀器的信號并關(guān)閉氣體供給。全部化學(xué)品罩的適當(dāng)位置階應(yīng)有危急警告標(biāo)簽。游離輻射安全 (IONIZING RADIATION)正常操作時：人員承受游離輻射強度為每小時小于0.2 毫雷姆。設(shè)備維護時：人員承受游離輻射強度為每小時小于1 毫雷姆。接觸放射性污染包括吸入或食入放射性物質(zhì)：其危害及把握應(yīng)當(dāng)在設(shè)備維護手冊中明確。全世界對放射性物質(zhì)把握嚴(yán)格，處理、使用、運輸都需要有許可證。輻射危害性機臺也嚴(yán)格受把握，進口、出口、安裝、維護都

30、有嚴(yán)格規(guī)定以及要求有許可證。設(shè)備制造商應(yīng)當(dāng)在用戶文件中提可以供用戶輻射方面幫助的安全人員聯(lián)絡(luò) 。輻射工程把握方法：如屏蔽、連鎖等應(yīng)當(dāng)為防護輻射最起碼的措施。設(shè)備氣體供給管或排氣 安全連鎖，以使人員維護設(shè)備時輻射強度不行超過每小時小于0.2治理把握：如距離、時間、標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序、警告提示等，設(shè)備供給商應(yīng)當(dāng)供給治理把握的詳盡資料。設(shè)備制造商應(yīng)當(dāng)對機臺正常運行或維護時進展輻射危急評估，以證明機臺符合本標(biāo)準(zhǔn)。機臺 安裝運行正常后，應(yīng)當(dāng)使用認可的方法執(zhí)行輻射實地測量，包括測量方法、機臺運行參數(shù)、使用儀器、校正數(shù)據(jù)、輻射源、測量結(jié)果及爭辯等內(nèi)容。依據(jù)測量結(jié)果，假設(shè)需要補充治理把握，則需供給輻射源、輻射強度以

31、及建議使用的把握手段等信息。非游離輻射安全 (NON-IONIZING RADIATION AND FIELD)25.1.非游離輻射包括：靜電磁場(0Hz)、次無線電靜電磁場(3Hz)、無線電(3kHz300GHz)、紅外700nm 1mm)、可見光(400nm700nm)、紫外線(180nm400nm).全部潛在的非游離輻射對人員造成的損害要近可能的把握在最低水平。機臺正常運行時， 人員受非游離輻射強度應(yīng)低于“操作員可承受極限”(Operator Accessible Limit)。機臺操作及維護手冊中應(yīng)當(dāng)說明潛在的非游離輻射源，并列舉適當(dāng)參數(shù)，包括頻率、波長、電量、持續(xù)發(fā)生的 測試用途的UV/IR機臺設(shè)計時，應(yīng)當(dāng)考量在正