酸性循環(huán)再生蝕刻液測試計劃書

1、深圳市xx科技有限公司 SHENZHEN xx TECHNOLOGY CO.,LTD 第11頁 共11頁酸性蝕刻循環(huán)再生液 試車計劃書2021.02.21 xx科技有限公司運行服務部目 錄一、試車計劃進度表二、試車前設(shè)備狀況了解 三、試車內(nèi)容藥水的初期儲備 再生循環(huán)設(shè)備試水與設(shè)備檢查和保養(yǎng)藥水的初期再生蝕刻機循環(huán)系統(tǒng)性能測試及槽液調(diào)整藥水的在線試用6、相關(guān)測試a、蝕刻均勻性測試b、蝕刻點測試c、蝕刻速率測試d、蝕刻因子測試e、蝕刻液穩(wěn)定性測試 四、量產(chǎn)和相關(guān)參數(shù)的確定 五、未盡事宜的討論 六、建議事項 七、試車報告主要項目試車計劃進度表序號工作 項目工 作 內(nèi) 容工作日期時間安排備 注1.試車

2、前狀況了解1.酸性蝕刻設(shè)備狀況及與我公司藥水的匹配性.2.顯影設(shè)備狀況.3.去膜設(shè)備狀況.4.品質(zhì)產(chǎn)量要求5.蝕刻物料儲,運狀況.相關(guān)物料特性.6.溝通渠道.3/17十二小時1.向客戶了解相關(guān)設(shè)備和相關(guān)制程能力資料.2.主要了解蝕刻設(shè)備性能特別是可顯著影響蝕刻品質(zhì),速度的參數(shù).3.如有設(shè)備改動,需另計時間.2試水儲存槽及管路用水作實驗(看其是否有泄漏)3/18- 3/21約六十六小時1.檢查,清洗,建浴由潔馳工程師指導,客戶實施.且與客戶工程師共同確認.清洗是否徹底.2.備好足量子液且其成份與所需成份接近.機臺檢查及清槽1.檢查機臺.2.蝕刻機臺清洗3再生子液導入使用將再生子液通過控制系統(tǒng)添加

3、入蝕銅槽內(nèi),跟進相關(guān)品質(zhì)狀況4蝕刻機循環(huán)系統(tǒng)性能測試及槽液調(diào)整1.測定機臺循環(huán)系統(tǒng)循環(huán)周期.2.將槽液調(diào)整至需求值.3/22六小時1.蝕刻機循環(huán)系統(tǒng)性能測試,請客戶工程師和我公司工程師共同確認.2.所設(shè)參數(shù)應最大程度滿足客戶品質(zhì),速度要求且能安全生產(chǎn),確保品質(zhì)穩(wěn)定.5蝕刻機臺壓力調(diào)整與蝕刻性能測試1.機臺上、下蝕刻均勻性測試2.蝕刻點測試3.蝕刻速率測試與確定.4.蝕刻因子測定. 3/22六小時請客戶工程師和潔馳工程師共同完成並確認.6試產(chǎn)跟進生產(chǎn)品質(zhì)確定最佳生產(chǎn)參數(shù)排除相關(guān)隱患3/22- 3/28約一百五十小時需選擇線路疏鬆、線寬大之料號試產(chǎn)7試車報告填寫記錄試車過程.提供生產(chǎn),維護相關(guān)參數(shù)

4、及參數(shù)依據(jù).主要內(nèi)容見表七3/29-3/30約三十小時1試車報告應如實反應試車狀況2.試車報告反應品質(zhì)與速度是否達到客戶要求.試車前設(shè)備狀況了解酸性蝕刻段設(shè)備狀況了解蝕刻槽體1.蝕刻槽槽體材質(zhì)及抽風狀況;2.槽長及有效槽長(包括水洗段);3.蝕刻槽槽體積,最低液位和溢流液位高度4.冷卻系統(tǒng)和加熱器材質(zhì)蝕刻槽循環(huán)系統(tǒng)1.槽液循環(huán)管路分佈,溢流口位置.2.蝕刻和水洗循環(huán).循環(huán)泵浦功率.最大流量.3.槽液過濾系統(tǒng)類型及可濾微粒直徑(或過濾器目數(shù)).蝕刻槽添加系統(tǒng)1.感應槽內(nèi)感應器位置及槽液流動狀況.2.添加泵浦添加方式及流量范圍是否有防虹吸裝置.3.蝕刻槽內(nèi)藥水添加點位置.4.緩衝槽.貯存槽大小及管

5、道配置.5.再生控制系統(tǒng)類型.蝕刻槽噴灑系統(tǒng)1.噴灑管道直徑.噴管直徑及排列方式.噴嘴類型.2.噴灑泵浦和循環(huán)泵浦功率.最大流量.3.水洗滾輪類型直徑.4.搖擺類型及方向其他最大傳動速度.顯影設(shè)備狀況了解1.槽長及有效槽長.(包括水洗段)2.顯影和水洗循環(huán).噴灑管道直徑.噴管直徑用及排列方式.噴嘴流量類型.3.了解顯影和水洗噴灑泵浦和循環(huán)泵浦最大流量.功率.4.顯影和水洗滾輪類型直徑,5.過濾系統(tǒng)類型及可濾微粒直徑(或過濾器目數(shù)).6.最大傳動速度去膜設(shè)備狀況了解內(nèi)容1.槽長及有效槽長.(包括水洗段.烘干段)2.去膜和水洗循環(huán).噴灑管道直徑.噴管直徑用及排列方式.噴嘴流量.類型.3.去膜和水洗

6、噴灑泵浦和循環(huán)泵浦最大流量.功率.3.槽液過濾系統(tǒng)類型及可濾微粒直徑(或過濾器目數(shù))4.最大傳動速度物料狀況了解內(nèi)容1.基板.干膜.油墨.顯影液.剝膜液類型及供應商2.蝕刻物料儲運方式.做板要求了解內(nèi)容1.蝕銅厚度及最小線寬,線距要求2.蝕刻因子要求(線路補償)3.做板板厚要求4.產(chǎn)能及成本要求了解有效溝通渠道了解客戶組織結(jié)構(gòu)與客戶溝通的部門及人員三、試車計劃內(nèi)容： 1、藥水的初期儲備將蝕刻廢液接入再生系統(tǒng)暫存缸進行再生，更改相應的管道，將再生后的子液接到自動添加缸，進行藥水的儲備（1015T）.2、再生循環(huán)設(shè)備試水與設(shè)備檢查和保養(yǎng)2.1.設(shè)備檢查：檢查槽體及管道之密封性;檢查傳輸系統(tǒng)之正常性

7、;檢查冷卻管之密封性;檢查加熱系統(tǒng)之正常性;檢查再生控制器之添加管道分布之合理性及管道密封性:檢查噴嘴是否堵塞: 用清水注滿槽體並啟動噴灑泵浦,調(diào)節(jié)噴壓大小,以方便觀察噴嘴有無堵塞,有則分別作好標記,關(guān)閉泵浦御下堵塞之噴嘴暢通之,然後再次復檢噴嘴有無堵塞.2.2.蝕刻用藥水儲槽及管道試水：用市水代替蝕刻藥水,檢驗儲存槽、管道和再生設(shè)備之密封性能.2.3.機臺的清洗：a. 清水循環(huán)30min后排掉;b. 用5%的NaOH水溶液循環(huán)1h后,繼續(xù)浸泡12h排掉;c. 用5%HCl的溶液循環(huán)1h后,繼續(xù)浸泡12h排掉;d. 用清水注滿槽體循環(huán)噴灑30min后排掉;e. 將準備好的母液注入設(shè)備內(nèi). 3、

8、藥水的初期再生將儲備的藥水經(jīng)再生系統(tǒng)進行處理，并按再生子液控制參數(shù)進行調(diào)藥；在此期間客戶需提供電源。蝕刻機循環(huán)系統(tǒng)性能測試及槽液調(diào)整4.1.將酸度設(shè)定為某一值,例如3.0N,當酸度低於3.0N時添加泵浦啟動,當酸度升至3.04N時泵浦停止工作,記錄添加時間,並記錄泵浦從啟動至酸度開始上升時的時間,及泵浦啟動后至酸度升至最高並穩(wěn)定的時間,並記錄酸度最高值,重復以上測試3次.測試條件:約4秒走1PNL板子(約2ft2,殘銅率 %)HCL(酸度)添加流量次數(shù)123平均123平均泵開始添加顯示值（mol/L）泵停止添加顯示值（mol/L）酸度測定最高值（mol/L）泵啟動到數(shù)值開始變化的時間（sec）

9、HCL添加時間（sec）泵啟動到最大數(shù)值時的時間（sec）備注:添加口開啟角度 循環(huán)系統(tǒng)性能良好要求:a.從HCL開始添加到酸度開始上升時間小於60sec;b.從HCL開始添加到酸度上升到最高值並穩(wěn)定即HCL完全混合均勻所需時間小於240sec.結(jié)果：循環(huán)系統(tǒng)均勻性能與添加口開啟度有直接影響,要求添加口第一個(以工藝流程為序) ,第二個開啟度 ,第三個開啟度 ,第四個 .4.2.添加流量的設(shè)定: HCl添加流量設(shè)定為總流量的 %,為（ ）L/min;手動控制設(shè)定時間為 min;再生子液添加流量設(shè)定為總流量的 %,為（ ）L/min;手動控制設(shè)定時間為 min H2O添加流量為控制球閥開啟角度4

10、5.4.3.槽液成份調(diào)整：規(guī)格最適值範圍Sp.Gr.H+：(mol/L)Cu:(g/L)氧化劑：(cap/ORP)Temp:()a.比重: 若SG較低,溶解銅提升;若SG較高, 則加水調(diào)整。b.酸度: 若酸度較低, 則直接加HCL調(diào)整; 酸度偏高,則加水或加NaOH調(diào)整。c.ORP/CAP: 低則直接加再生子液或氯氣提升,高則用蝕銅方式調(diào)整。d.參數(shù)確定后請維持不變.5、藥水在線試用項目客戶要求范圍潔馳控制范圍/藥水制程能力實際狀況比重子液1.10.05母液1.251.35ORP值子液600-650母液450-550氯離子子液240g/l母液240g/l銅離子子液3050g/l母液110160

11、溫度母液4555子液3045蝕刻因子3最小線徑、線距要求3/3mil最大產(chǎn)能100噸/月藥水處理量6、相關(guān)測試（藥水穩(wěn)定后進行，相關(guān)測試板由貴司提前準備）61、蝕刻均勻性測試A、準備20”*24” 2/2測試板若干,B、蝕刻前以CMI量測銅厚,每面量測20點記錄,并在每面上做記號C、以1OZ速度進行蝕刻，蝕刻后再以CMI量測20點銅厚記錄D、計算:蝕刻前后量測數(shù)據(jù)計算平均蝕銅厚(X)，U%1-蝕刻量（Max-Min）/（2*X）*100%E、外層蝕刻共有兩段,需分別測試每段均勻性,再測整個蝕刻段之均勻性F、若有未達標,則進行分析(可能原因:噴嘴,噴壓,角度,藥液等)和調(diào)整G、測試要求:上噴90

12、%,下噴95%;H、測試條件線別CU2+ (g/L)Cl- (g/L)ORPS.G溫度速度蝕刻 上噴蝕刻 下噴I、測試結(jié)果上噴蝕刻前厚度下噴蝕刻前厚度上噴蝕刻后厚度下噴蝕刻后厚度上噴蝕刻量下噴蝕刻量上噴平均蝕刻量下噴平均蝕刻量上噴平均最大值下噴平均最大值上噴平均最小值下噴平均最小值上噴均勻性下噴均勻性6.2、蝕刻點測試a 準備20”*24” 39mil 1/1測試板保留1.1mil銅厚待用b 打開蝕刻段傳動,噴灑,搖擺板子以長邊進入蝕刻段,連續(xù)放入,板子緊密相連,當?shù)谝黄遄忧把爻鑫g刻段時關(guān)閉噴灑,待走完水洗後將板子取出并按放板之順序依序排列在蝕刻段邊c 依測試板蝕刻程度于開始有蝕刻不淨處做記

13、號,以米尺量測未蝕淨點到入口處第一排噴嘴之距離,量測蝕刻段有效長,相除即為蝕刻點d 蝕刻點在7075%未達標時進行分析,對速度、噴壓進行調(diào)整63、蝕刻速率測試A、測試方法：取5塊10cm10cm的2oz底銅制板以3m/min速度通過蝕刻線，運用失重法測量蝕刻前后的銅重量變化量B、測試要求：蝕刻速率2mil/min c、計算方法:（m為失重量，為銅密度，S為試板面積，L為蝕刻段長度）D、測試結(jié)果;蝕刻前重量(g)蝕刻后重量(g)失重量蝕刻線運行速度(m/min)蝕刻段有效長度(m)蝕刻速率(mil/min)平均蝕刻速率(mil/min)123456.4、蝕刻因子測試A、取H/H測試板以正常生產(chǎn)條

14、件走PTH,一次銅,外層干膜&二次銅;B、做切片,量測線路上下線寬,厚度,計算蝕刻因子每片做5個點,上噴、下噴都需量測；計算公式：E=2h/(a-b)C、若有未達標,則進行分析(可能原因:噴嘴,噴壓,角度,藥液等)和調(diào)整D、測試要求:蝕刻因子2.5;112345CuCuhab E、測試結(jié)果組號噴壓abhE標準線寬備注1上噴Speed：下噴2上噴Speed： 下噴3上噴Speed：下噴65、蝕刻液穩(wěn)定性測試記錄生產(chǎn)過程藥水的穩(wěn)定性，并進行SPC分析，CPK值控制在1.33日期序號酸度(mol/L)比重Cu2+(g/L)溫度()備注顯示值化驗值顯示值化驗值四、量產(chǎn)和相關(guān)參數(shù)的確定五、未盡事宜的討論建議事項:控制器日常保養(yǎng),感應器每月清洗和三個月校正一次.再生子液添加流量控制.特別注意一定不能與鹽酸直接接觸,以免產(chǎn)生氯氣;生產(chǎn)過程中及時更換損耗的銅棒.避免因銅棒接