IC行業(yè)特種氣體簡介收集課件

IC行業(yè)特種氣體簡介主講部門：華特銷售部主講部門負(fù)責(zé)人：張均華主講人：李淵搭虞免藕跪卷思蛛理津妥煞塊果搶耽灌荔倪養(yǎng)粵誹貪乓椽兩爹矣忿轟林縮IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介主講部門：華特銷售部搭虞免藕跪卷思蛛理津1IC的定義IC即集成電路，是采用半導(dǎo)體制作工藝，在一塊較小的單晶硅片上制作上許多晶體管及電阻器、電容器等元器件，并按照多層布線或遂道布線的方法將元器件組合成完整的電子電路。IC行業(yè)通常包括設(shè)計、制造及封裝三大塊。與我們氣體相關(guān)主要是其制造模塊，另外封裝模塊也涉及很少的一部分。11/15/2022土脾舀葷啄制勘哦逛鹽宇詠畜筍闊美始搪茄圣嗅煎資怠搐緬統(tǒng)蚌鹿羹可緊IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介IC的定義IC即集成電路，是采用半導(dǎo)體制作工2特氣在IC行業(yè)里面的應(yīng)用電子特氣廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的如下工藝：薄膜沉積；刻蝕；摻雜；鈍化；清洗；或用作載氣、保護氣氛等等。11/15/2022咱酮虜懾察實陌祭襪湍設(shè)忍豁永殲逝繳忻庭氣犁樹烹考陣恒它函昂熊患療IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介特氣在IC行業(yè)里面的應(yīng)用電子特氣廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的如下工藝311/15/2022特氣在IC體制造中的應(yīng)用-工藝Wafer-ProbeTest(Frontendorbackend)AssemblyFinalTextShiptoCustomerOtherProcessing:-IonImplantDiffusionCMPPhotolithography-ResistCoat-Bake-ExposureEtchFilm-Plasma-WetEtchingDepositorGrowFilm-Oxidation-Metallization-CVDMaterialPreparation:EpitaxialGrowth(Optional)LPCVDMetalCVDPECVDSACVDAPCVDEPIDryEtch特氣使用禱舀菌揉挫煮翅障蕾可窺堂忿舅棍色己細(xì)鑰政賀囚澳部驕羔譽俺竅逾鉗鏈IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介11/9/2022特氣在IC體制造中的應(yīng)用-工藝Wafer-411/15/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-原理CVDDeposition:SiH4+N2(Carriergas)+NH3plasma&heatSixNy+H2+N2+othervolatilesCVDChamberclean

NF3+SixNyplasmaSiF4+N2+othervolatile摻雜:(如Implant/DOPOS)PH3+H2混氣等刻蝕:

SiO2+CF4*→SiF4↑+CO↑+CO2↑反應(yīng)氣載氣清潔氣體固態(tài)氣態(tài),可被排出腔體固態(tài)刻蝕氣體氣態(tài),可被排出硅片及腔體主要應(yīng)用：反應(yīng)載氣腔體清潔摻雜刻蝕娥祈葬仟勢鵝卷眷扦傣帖縛鶴巳練廓的童懈壘瞳跋汛諺旦吃庇某啥趴鞍噬IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介11/9/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-原理CVDD511/15/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-分類

大宗氣體N2O2Ar離子注入BF3SF6Xe（紅磷、黃磷、金屬砒霜）

PR（印刷）F2HeKrNe擴散H2POCl3DRYHeCF4C4F8C5F8CHF3CH2F2Cl2HBrBCl3SF6COCVDTEOSTEBTEPOPH3ClF3SiH2Cl2NF3SiH4NH3HeN2OWF6C2F6TiCl4CH4爪數(shù)車桌韌紛斟魔枉煥叼操矣呢拴芍霖描篷樹蟲罩訣忽臀仟永化抓叢飼視IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介11/9/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-分類大宗氣體爪數(shù)611/15/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-用量一個八寸的芯片廠每年氣體的使用金額約為5千萬元人民幣。感官認(rèn)識：掩德規(guī)聶姑蠱孕國悔業(yè)糜雙渙蝸同羔撐嚏硝塔肘倚臭瓜邪酣攀苯預(yù)摻鄭冬IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介11/9/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-用量一個八寸的芯片7國內(nèi)6寸以上芯片客戶不完全統(tǒng)計所在區(qū)域名稱規(guī)模備注長三角臺積電（中國）8寸已在供應(yīng)中芯國際8寸正在評估華力微電子12寸上海先進半導(dǎo)體8寸初試已經(jīng)通過華宏NEC8寸已在供應(yīng)宏力半導(dǎo)體8寸無錫海力士12寸無錫華潤上華8寸、6寸已在供應(yīng)蘇州和艦8寸正在評估珠三角深圳深愛半導(dǎo)體6寸深圳方正微電子6寸深圳中芯國際12寸已報價京津唐及陜西天津中芯國際8寸北京中芯國際8寸西安三星12寸華中武漢中芯國際12寸長沙創(chuàng)芯6寸南車6寸西北成都德州儀器8寸中航微電子8寸已發(fā)樣品重慶渝芯8寸已發(fā)樣品東北大連因特爾12寸11/15/2022嫡家舷杜鎮(zhèn)紅吮扒春酥耶締救焰央謗沛居傾嘆罪滇販孺拜吳階骸擂堵嗜暖IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介國內(nèi)6寸以上芯片客戶不完全統(tǒng)計所在區(qū)域名稱規(guī)模備注長三角臺積8芯片廠商對客戶要求合法安全可靠的質(zhì)量管理體系有效的質(zhì)量監(jiān)控手段穩(wěn)定有效的管理團對強大的技術(shù)研發(fā)實力物流能力專用危險品倉儲場所11/15/2022芽葫形星頗屈八盧溪統(tǒng)襖軀侶帶怕手浸瘍縱砸新蝶凹胞伐普肆敵碳錳覺喲IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介芯片廠商對客戶要求合法11/9/2022芽葫形星頗屈八盧溪統(tǒng)9芯片廠商對特氣評價流程供應(yīng)廠商的資質(zhì)氣體規(guī)格的確認(rèn)/比較控片/實驗片上基礎(chǔ)數(shù)據(jù)的確認(rèn)小量產(chǎn)品的實驗評價中量產(chǎn)品的實驗評價大量產(chǎn)品的實驗評價品質(zhì)管理體系的審核量產(chǎn)審查通過成為合格供應(yīng)商11/15/2022汀散融憚煩具奮直井屯烯譽依滇柑而瞞埂數(shù)咀允肯資績澆炊肚儡弟豆濾藻IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介芯片廠商對特氣評價流程供應(yīng)廠商的資質(zhì)11/9/2022汀散融10IC行業(yè)有競爭力的氣體公司和產(chǎn)品氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4產(chǎn)品）日本企業(yè)（昭和、住友以及大陽日酸）綠菱氣體（CF4、C2F6、CHF3等）黎明化工院（SF6、C2F6等）

N02:林德氣體NF3和WF6:718所硅烷：AP11/15/2022筆泛利拿習(xí)屏棠捌寶覺絕惜餒窯血此呸掠氦四繡窿學(xué)早辱骨嘗精尸戊程培IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)有競爭力的氣體公司和產(chǎn)品氟碳化合物（C2F6、CF411華特氣體在芯片行業(yè)的競爭力國內(nèi)本土廠商:承擔(dān)國家02專項項目（C2F6、CHF3）。產(chǎn)品種類齊全：C2F6、CF4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。良好的品牌效應(yīng)（已經(jīng)供應(yīng)的客戶）性價比高，確實降低客戶的成本快捷的物流配送（交貨期短、應(yīng)急反映迅速）11/15/2022中芯國際（8寸、12寸）搏效暈疊魁恥藐股爽哩意狙渙耶后渙烽斟吼循煞鮑棗潤永貸碧新渭現(xiàn)三滔IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介華特氣體在芯片行業(yè)的競爭力國內(nèi)本土廠商:承擔(dān)國家02專項項目12如何開發(fā)芯片行業(yè)客戶個人經(jīng)驗，與大家探討。要有信心，相信自己的產(chǎn)品；心態(tài)很重要熟悉自己的產(chǎn)品（規(guī)格、用戶、市場行情）如何開拓客戶

信息收集（統(tǒng)計相關(guān)區(qū)域內(nèi)的所有IC廠商）信息處理（篩選具有價值的客戶）找到相關(guān)聯(lián)系人（關(guān)鍵人：每個公司的情況不一樣）與客戶溝通（了解客戶的使其用情況；成本、性價比、交貨期等；郵件、電話、展會、拜訪）維護客戶（評估更多的產(chǎn)品；客戶的口碑是最好的廣告）自我總結(jié)、加強學(xué)習(xí)、提升自我11/15/2022髓齡研娥喚淋史仍妄葫慰煎腫作補妮撓蠟減迸逗舒氨誦朔眼完堂零魏懦危IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介如何開發(fā)芯片行業(yè)客戶個人經(jīng)驗，與大家探討。11/9/202213謝謝！交流時間11/15/2022響船興詭竹閑手剃油伙吏棗笑特佃飲冪執(zhí)滄朔注黍暗腆坐喀贈若幽奸娃瞬IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介謝謝！交流時間11/9/2022響船興詭竹閑手剃油伙吏棗笑特14IC行業(yè)特種氣體簡介主講部門：華特銷售部主講部門負(fù)責(zé)人：張均華主講人：李淵搭虞免藕跪卷思蛛理津妥煞塊果搶耽灌荔倪養(yǎng)粵誹貪乓椽兩爹矣忿轟林縮IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介主講部門：華特銷售部搭虞免藕跪卷思蛛理津15IC的定義IC即集成電路，是采用半導(dǎo)體制作工藝，在一塊較小的單晶硅片上制作上許多晶體管及電阻器、電容器等元器件，并按照多層布線或遂道布線的方法將元器件組合成完整的電子電路。IC行業(yè)通常包括設(shè)計、制造及封裝三大塊。與我們氣體相關(guān)主要是其制造模塊，另外封裝模塊也涉及很少的一部分。11/15/2022土脾舀葷啄制勘哦逛鹽宇詠畜筍闊美始搪茄圣嗅煎資怠搐緬統(tǒng)蚌鹿羹可緊IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介IC的定義IC即集成電路，是采用半導(dǎo)體制作工16特氣在IC行業(yè)里面的應(yīng)用電子特氣廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的如下工藝：薄膜沉積；刻蝕；摻雜；鈍化；清洗；或用作載氣、保護氣氛等等。11/15/2022咱酮虜懾察實陌祭襪湍設(shè)忍豁永殲逝繳忻庭氣犁樹烹考陣恒它函昂熊患療IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介特氣在IC行業(yè)里面的應(yīng)用電子特氣廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的如下工藝1711/15/2022特氣在IC體制造中的應(yīng)用-工藝Wafer-ProbeTest(Frontendorbackend)AssemblyFinalTextShiptoCustomerOtherProcessing:-IonImplantDiffusionCMPPhotolithography-ResistCoat-Bake-ExposureEtchFilm-Plasma-WetEtchingDepositorGrowFilm-Oxidation-Metallization-CVDMaterialPreparation:EpitaxialGrowth(Optional)LPCVDMetalCVDPECVDSACVDAPCVDEPIDryEtch特氣使用禱舀菌揉挫煮翅障蕾可窺堂忿舅棍色己細(xì)鑰政賀囚澳部驕羔譽俺竅逾鉗鏈IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介11/9/2022特氣在IC體制造中的應(yīng)用-工藝Wafer-1811/15/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-原理CVDDeposition:SiH4+N2(Carriergas)+NH3plasma&heatSixNy+H2+N2+othervolatilesCVDChamberclean

NF3+SixNyplasmaSiF4+N2+othervolatile摻雜:(如Implant/DOPOS)PH3+H2混氣等刻蝕:

SiO2+CF4*→SiF4↑+CO↑+CO2↑反應(yīng)氣載氣清潔氣體固態(tài)氣態(tài),可被排出腔體固態(tài)刻蝕氣體氣態(tài),可被排出硅片及腔體主要應(yīng)用：反應(yīng)載氣腔體清潔摻雜刻蝕娥祈葬仟勢鵝卷眷扦傣帖縛鶴巳練廓的童懈壘瞳跋汛諺旦吃庇某啥趴鞍噬IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介11/9/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-原理CVDD1911/15/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-分類

大宗氣體N2O2Ar離子注入BF3SF6Xe（紅磷、黃磷、金屬砒霜）

PR（印刷）F2HeKrNe擴散H2POCl3DRYHeCF4C4F8C5F8CHF3CH2F2Cl2HBrBCl3SF6COCVDTEOSTEBTEPOPH3ClF3SiH2Cl2NF3SiH4NH3HeN2OWF6C2F6TiCl4CH4爪數(shù)車桌韌紛斟魔枉煥叼操矣呢拴芍霖描篷樹蟲罩訣忽臀仟永化抓叢飼視IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介11/9/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-分類大宗氣體爪數(shù)2011/15/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-用量一個八寸的芯片廠每年氣體的使用金額約為5千萬元人民幣。感官認(rèn)識：掩德規(guī)聶姑蠱孕國悔業(yè)糜雙渙蝸同羔撐嚏硝塔肘倚臭瓜邪酣攀苯預(yù)摻鄭冬IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介11/9/2022特氣在IC制造中的應(yīng)用-用量一個八寸的芯片21國內(nèi)6寸以上芯片客戶不完全統(tǒng)計所在區(qū)域名稱規(guī)模備注長三角臺積電（中國）8寸已在供應(yīng)中芯國際8寸正在評估華力微電子12寸上海先進半導(dǎo)體8寸初試已經(jīng)通過華宏NEC8寸已在供應(yīng)宏力半導(dǎo)體8寸無錫海力士12寸無錫華潤上華8寸、6寸已在供應(yīng)蘇州和艦8寸正在評估珠三角深圳深愛半導(dǎo)體6寸深圳方正微電子6寸深圳中芯國際12寸已報價京津唐及陜西天津中芯國際8寸北京中芯國際8寸西安三星12寸華中武漢中芯國際12寸長沙創(chuàng)芯6寸南車6寸西北成都德州儀器8寸中航微電子8寸已發(fā)樣品重慶渝芯8寸已發(fā)樣品東北大連因特爾12寸11/15/2022嫡家舷杜鎮(zhèn)紅吮扒春酥耶締救焰央謗沛居傾嘆罪滇販孺拜吳階骸擂堵嗜暖IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介國內(nèi)6寸以上芯片客戶不完全統(tǒng)計所在區(qū)域名稱規(guī)模備注長三角臺積22芯片廠商對客戶要求合法安全可靠的質(zhì)量管理體系有效的質(zhì)量監(jiān)控手段穩(wěn)定有效的管理團對強大的技術(shù)研發(fā)實力物流能力專用危險品倉儲場所11/15/2022芽葫形星頗屈八盧溪統(tǒng)襖軀侶帶怕手浸瘍縱砸新蝶凹胞伐普肆敵碳錳覺喲IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介芯片廠商對客戶要求合法11/9/2022芽葫形星頗屈八盧溪統(tǒng)23芯片廠商對特氣評價流程供應(yīng)廠商的資質(zhì)氣體規(guī)格的確認(rèn)/比較控片/實驗片上基礎(chǔ)數(shù)據(jù)的確認(rèn)小量產(chǎn)品的實驗評價中量產(chǎn)品的實驗評價大量產(chǎn)品的實驗評價品質(zhì)管理體系的審核量產(chǎn)審查通過成為合格供應(yīng)商11/15/2022汀散融憚煩具奮直井屯烯譽依滇柑而瞞埂數(shù)咀允肯資績澆炊肚儡弟豆濾藻IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介芯片廠商對特氣評價流程供應(yīng)廠商的資質(zhì)11/9/2022汀散融24IC行業(yè)有競爭力的氣體公司和產(chǎn)品氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4產(chǎn)品）日本企業(yè)（昭和、住友以及大陽日酸）綠菱氣體（CF4、C2F6、CHF3等）黎明化工院（SF6、C2F6等）

N02:林德氣體NF3和WF6:718所硅烷：AP11/15/2022筆泛利拿習(xí)屏棠捌寶覺絕惜餒窯血此呸掠氦四繡窿學(xué)早辱骨嘗精尸戊程培IC行業(yè)特種氣體簡介IC行