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文檔簡介
任課教師：劉章生概述薄膜與厚膜的區(qū)別工藝上，厚膜電路一般采用絲網(wǎng)印刷工藝，薄膜電路采用的是真空蒸發(fā)、磁控濺射等工藝；厚度上，厚膜電路的膜厚一般大于10μm，薄膜的膜厚小于10μm，大多處于小于1μm.概述薄膜技術(shù)在電子封裝中的應(yīng)用:（1）生成UBM(underbarriermetal)層（2）薄膜電阻薄膜技術(shù)1.薄膜技術(shù)2.薄膜材料3.薄膜表征1.薄膜技術(shù)1.1濺射Plasma++++++++++++++HighVoltage+ArAr++positive-negativeArTi/AuTargete-WaferAr+Ar+Ar+1.薄膜技術(shù)1.1濺射分類：直流濺射（DCsputteringdeposition）射頻濺射（RFsputteringdeposition）雙陰極濺射（dualcathodessputteringdeposition）三級濺射（triodesputteringdeposition）磁控濺射（magnetronsputteringdeposition）1.薄膜技術(shù)1.2蒸鍍將被蒸鍍物體加熱（電阻絲或電子束），利用其在高溫時所具有的飽和蒸汽壓來進行薄膜沉積.1.薄膜技術(shù)1.2蒸鍍降低蒸鍍溫度；增加原子平均自由程；去除污染物如氧和氮.真空度（<E6torr）要求嚴格1.薄膜技術(shù)1.2蒸鍍1.薄膜技術(shù)1.4.電鍍
電鍍工藝：是利用電解原理在基板表面上鍍覆一層金屬的過程。
2.薄膜材料2.1薄膜電阻Ni-Cr合金2.薄膜材料2.1薄膜電阻2.薄膜材料2.2阻擋層材料（1）氮化鈦(TiN)（2）鈦鎢合金(TiW)（3）Ta與TaN:主要作為銅制程阻擋層材料
來自銅的挑戰(zhàn)(a)低電阻率(銅約1.8μΩ-cm，鋁約3μΩ-cm)(b)與SiO2附著力不佳；(c)對SiO2及硅擴散速率快，易造成元件惡化；2.薄膜材料2.3導(dǎo)體材料鋁合金的尖峰現(xiàn)
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