真空機器人通信協(xié)議手冊

真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊 真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊直驅(qū)真空機器人通信協(xié)議手冊松機器人自動化股份概要個分類。手冊中說明白通信協(xié)議的具體格式。通信接口物理接口RS232方式通信參數(shù)19200bps校驗：無8通信命令3.13.1通信格式四類通信命令0x0D字符通信命令+0x0d結(jié)尾通信命令匯總GOTOHALTHLLOHOMELFTSTMOVEPICKPLACERESETRELEASEXFER

3.2通信命令匯總ActionCommand從一個特定位置運動到另一個位置Background模式下，該命令使機器人停頓全部的運動測試通信是否正常對機器人狀態(tài)進(jìn)展檢測軸被指定，每次移動一個軸向使機器人從一個特定的工位和槽位取出晶片執(zhí)行對機器人程序的軟件復(fù)位釋放對機器人的伺服掌握使機器人把晶片從一個工位傳輸?shù)搅硪粋€工位OperationalInterlockCommandMAP IO的映射真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊REMOVEIORQINTLCKRQIOMAPRQIOSTATERQSTNOPTIONSETINTLCKSETSTNOPTIONSTORESTNOPTIONRQBGRQCPTRRQCOMMRQIOECHORQLOADRQLOADMODERQPOSABSRQPOSDSTRQROBOTAPPLICRQRTRCT2RQRVSNRQSTNRQVERSIONRQWHOSETIOECHOSETLOADSETLOADMODESETRTRCT2SETSTNSTOREIOECHOSTORELOADMODESTORERTRCT2STORESTN

刪除一個了已經(jīng)映射了的IO配置IO映射查詢?nèi)枯斎胼敵鯥O的狀態(tài)查詢工位的參數(shù)設(shè)置設(shè)置工位參數(shù)存儲工位參數(shù)RequestCommands查看后臺任務(wù)狀態(tài)顯示當(dāng)前位置數(shù)據(jù)查詢通訊參數(shù)顯示串口通訊回顯參數(shù)查詢裝載顯示類型查詢機器人序列號software查詢版本SetCommands設(shè)置工位參數(shù)StoreCommands存儲機器人取放的二次縮回值存儲工位配置參數(shù)通信命令格式GOTO功能：從一個特定位置運動到另一個位置格式：GOTONstation[R(EX|RE)][Z(UP|DN)][SLOTnum[[ARM]arm]參數(shù)：station1-30，“N”字段不行省略。軸方向動作，RX為伸展，EX為收縮。Z(UP|DN):指定手臂在垂直方向動作，UP為上升，DN為下降。SLOTnum:存放晶圓的槽位。ARM默認(rèn)備注：R、Z、SLOT三個可選參數(shù)至少指定一個，否則報錯。舉例：GOTON1ZDOWNSLOT1ARMBGOTON2REXZDOWNSLOT1ARMBHALT格式：HALTHALTHLLO格式：HLLO應(yīng)答：HelloHOME格式：HOME[ALL][R][T][Z]參數(shù)：ALL:指定全部軸的參考位置R:指定在R軸方向的參考位置Z:指定在Z軸方向的參考位置舉例：HOMEALLHOMERHOMETHOMEZLFTST格式：LFTST舉例：LFTSTMOVE 真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊 真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊個軸向。格式：MOVE[R|T|Z][ABS|REL]value[[ARM]arm]參數(shù)：R|T|Z:指定要移動的軸向，至少指定一個軸。ABS|REL:指定目標(biāo)值是確定還是相對值，至少指定一種模式。value：在相對模式中，指定距離值；在確定模式中，指定的是特定點。ARMarm：AB手臂，“ARM”不行省略。A手臂。舉例：MOVETREL100ARMBPICK格式：PICKstation[SLOTslot[[ARM]arm]參數(shù)：station:指定的工位號，范圍為1-30。SLOTslot:指定從哪個槽位中取。ARMarm:AB手臂。備注：假設(shè)未指定工位號，系統(tǒng)報錯，槽位號不指定默認(rèn)為1，手臂不指定默認(rèn)為A手臂。舉例：PICK2SLOT2ARMAPLACE格式：PLACEstation[SLOTslot[[ARM]arm]參數(shù)：station:指定的工位號，范圍為1-30。SLOTslot:指定從哪個槽位中取。ARMarm:AB手臂。備注：假設(shè)未指定工位號，系統(tǒng)報錯，槽位號不指定默認(rèn)為1，手臂不指定默認(rèn)為A手臂。舉例：PLACE2SLOT2ARMBRESET格式：RESET舉例：RESETRELEASE格式：RELEASERELEASEXFER格式：XFER[[ARM]armstation-astation-b參數(shù)：ARMarm:指定A手臂或B手臂，默認(rèn)為A手臂，當(dāng)用B手臂時必需制定?！癆RM”字段不行省略。station-a:做取出動作的工位，范圍1-30。1-30。舉例：XFERARMA17MAP功能：指定一個從名字到物理IO的映射。格式：MAP[name][WAF_SEN|SBIT_SVLV_SEN|EX_ENABLE|RETRACT_PIN][HI|LOW]TO[DIGITAL_IN|DIGITAL_OUT]io_num]參數(shù)：name:指定一個特定的名字，最大為20個字符。type:指定IO的類型，可選參數(shù)為WAF_SEN、SBIT_SVLV_SEN、EX_ENABLE、RETRACT_PIN之一。characteristic:指定IO的狀態(tài)，可選參數(shù)為HI或LOW。io_name:指定IO設(shè)備的物理特性，數(shù)字輸入或數(shù)字輸出，可選參數(shù)為DIGITAL_IN或DIGITAL_OUTio_num:指定實際要映射的物理IO地址，用十進(jìn)制指定，系統(tǒng)不識別“0x”開頭的字符。舉例：MAPSTN_2_WAFRETRACT_PINHITODIGITAL_IN1MAPSTN_1_WAFWAF_SENHITODIGITAL_IN2MAPSTN_3_WAFWAF_SENHITODIGITAL_IN3REMOVEIO格式：REMOVEIOio_name參數(shù)：io_name:最大20個字符，為使用MAP命令時所指定的MAP名字。ThenameassignedtophysicalI/OusingtheMAPcommand.舉例：REMOVEIOSTN_3_WAF真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊RQINTLCKInterlock的狀態(tài)格式：RQINTLCK[ALL][WAF_SEN|TZ]舉例：RQINTLCKWAF_SEN備注：[ALL][WAF_SEN|TZ]至少存在一個參數(shù)，否則報錯。應(yīng)答：statemodestate:Y=晶片傳感器使能N=晶片傳感器制止mode：ON=機器人在Z軸運動之前執(zhí)行T軸運動OFF=機器人同時執(zhí)行T軸和Z軸運動舉例：RQINTLCKWAF_SENRQIOMAPIO映射格式：RQIOMAP[ALL|name]ALLIO映射名字舉例：RQIOMAPSTN_1_WAFIOMAPSTN_1_WAFWAF_SENHIGHDIGITAL_IN1RQIOSTATE格式：RQIOSTATE[io_name]參數(shù)：io_name，IO映射名字。舉例：RQIOSTATESTN_1_WAFSTATESTN_1_WAFWAF_SENNOT_BLOCKEDRQSTNOPTION功能：查詢工位的參數(shù)設(shè)置格式：RQSTNstation[[ARM]arm]OPTION[WAF_SEN(EX|RE)|SBIT_SVLV_SEN|EX_ENABLE|RETRACT_PIN]WAF_SEN(EX|RE)SBIT_SVLV_SENEX_ENABLERETRACT_PIN四選一應(yīng)答：STNstationOPTIONsensornamestatestation：工位號sensor：傳感器類型，四種之一。name：傳感器所指定名字，假設(shè)沒有，返NONE。State：BLOCKED=晶圓遮擋傳感器CLEAR=傳感器未被遮擋舉例：RQSTN1ARMAOPTIONWAF_SENEXSETINTLCKInterlock的狀態(tài)格式：SETINTLCK[WAF_SEN(Y|N)[TZON|OFF)]Y=晶片傳感器使能N=晶片傳感器制止ON=機器人在Z軸運動之前先執(zhí)行T軸運動OFF=機器人同時執(zhí)行T軸和Z軸運動舉例：SETINTLCKWAF_SENNSETSTNOPTION功能：設(shè)置工位參數(shù)格式：SETSTNstation[[ARM]armOPTION[WAF_SENEXname|REname|SBIT_SVLV_SENname|RETRACT_PINname|EX_ENABLEname]參數(shù)：EXname|REname):指定在當(dāng)前工位下的晶圓傳感器名字SBIT_SVLV_SENname：指定在當(dāng)前工位下槽位值感器名字RETRACT_PINname：指定在當(dāng)前工位下Retract傳感器名字EX_ENABLEname：指定在當(dāng)前工位下Extend傳感器名字舉例：SETSTN4AOPTIONWAF_SENEXSTN_4_WAFR_SENSTORESTNOPTION功能：存儲工位參數(shù)格式：STORESTNstation[[ARM]armOPTION[ALL|SBIT_SVLV_SEN|RETRACT_PIN|[WAF_SEN(RE|EX)]|EX_ENABLE]參數(shù)：station:工位號，范圍1-30。ARMarm:AB手臂舉例：STORESTN4ARMAOPTIONALLSTORESTN4ARMAOPTIONWAF_SENEXSTN_4_WAFR_SENRQBG格式：RQBG應(yīng)答：BGstatuserror參數(shù)：status:N–無活動的后臺任務(wù)Y–有活動的后臺任務(wù)error:當(dāng)前的錯誤嗎，無錯誤碼則顯示“0000”。舉例：RQBGBGN2204RQCPTR格式：RQCPTRsensor 真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊舉例：RQCPTR1CPTRT1000000T2000000Z000018RQCOMM功能：查詢通訊參數(shù)格式：RQCOMM[([M/B|FLOW|LF|ECHO|CHECKSUM|DREP|ERRORLEVEL|BAUDRATE)]應(yīng)答：COMMmodeflowlinefeedechochksumdata_reperrorlevelbaudrate參數(shù)：ALL:報告全部選項mode:報告通訊模式MON監(jiān)控模式PKT數(shù)據(jù)包模式(_RDY)flow:報告命令執(zhí)行類型SEQ序列模式BKG后臺模式BKG+后臺加強模式報告linefeed狀態(tài)ON使能OFF制止echo:報告回顯設(shè)置ON回顯使能OFF回顯制止checksum:報告校驗設(shè)置ON使能OFF制止數(shù)據(jù)報告標(biāo)志，兼容VT5AUT自動模式REQ懇求應(yīng)答模式errorlevel:錯誤顯示等級1-5自動模式baudrate:波特率.舉例：RQCOMMM/BCOMMMONERRORLEVELBAUDRATE暫不支持查詢RQIOECHO格式：RQIOECHO應(yīng)答：InMonitorMode:ECHOSTATUS[Y|N]真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊InPacketMode:IO[Y|N]參數(shù)：status:Y指定回顯選項開N指定回顯選項關(guān)MonitorMode:監(jiān)控模式PacketMode:數(shù)據(jù)包模式舉例：RQIOECHOECHOSTATUSNRQLOAD功能：查詢指定手臂裝載狀態(tài)格式：RQLOAD[[ARM]arm]應(yīng)答：LOADarm]status參數(shù)：arm:指定手臂A或Bstatus:供給特定手臂的裝載狀態(tài)ON=末端手指有裝載OFF=末端手指無裝載?=UNKNOWN手臂無法檢測是否有裝載舉例：RQLOADARMALOADAONRQLOADMODE格式：RQLOADMODE參數(shù)：type: 裝載模式類型BI=兩種狀態(tài)，ON或OFFTRI=三種狀態(tài)，ON、OFF或？舉例：RQLOADMODERQPOSABS格式：RQPOSABS[[ARM]arm][R][T][Z]或RQPOSABS[[ARM]arm]ALL 真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊參數(shù)：ALL:指定全部軸的參考位置R:指定在R軸方向的參考位置Z:指定在Z軸方向的參考位置應(yīng)答：POSABS[r-location][t-location][z-location]或POSABSr-locationt-locationz-location舉例：RQPOSABSAALLPOSABSR0.000T0.000Z0.010RQPOSDST格式：RQPOSDST[[ARM]arm][R][T][Z]或RQPOSDST[[ARM]arm]ALL參數(shù)：ALL:指定全部軸的參考位置R:指定在R軸方向的參考位置Z:指定在Z軸方向的參考位置應(yīng)答：POSDST[[ARM]arm][r-destination][t-destination][z-destination]或POSDST[[ARM]arm]r-destinationt-destinationz-destination舉例：RQPOSDSTALLPOSDST17500318100721032RQROBOTAPPLIC功能：查詢機器人序列號格式：RQROBOTAPPLIC應(yīng)答：SIASUN-GRC-4.2-4RQRTRCT2格式：RQRTRCT2應(yīng)答：value二次縮回值offset的舉例：真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊RQRTRCT20.000RQRVSN功能：查詢軟件版本號software格式：RQRVSNSIASUN-GRC-4.2-4RQSTN功能：查詢工位配置參數(shù)格式：RQSTNstation[[ARM]arm([R][T][Z][LOWER][NSLOTS][PITCH])或RQSTNstation[[ARM]arm]ALL參數(shù)：ALL:查詢R,T,Z,LOWER,NSLOTS,和PITCHstation:工位號ARMarm:手臂A或Blower:運輸手取片的升降距離n-slots:槽位號pitch:槽位之間的高度舉例：RQSTN5ARMAALLSTN0001A06750001800000325000050000001000000RQVERSION功能：查詢版本格式：RQVERSIONSIASUN-GRC-4.2-4RQWHOfirmware格式：RQWHOSIASUN-GRC-4.2-4SETIOECHO格式：SETIOECHOstatusstatus:Y指定回顯選項開N指定回顯選項關(guān)舉例：SETIOECHOYSETLOAD功能：設(shè)置指定手臂裝載狀態(tài)格式：SETLOAD[[ARM]arm]status參數(shù)：arm:指定手臂A或Bstatus:供給特定手臂的裝載狀態(tài)ON=末端手指有裝載OFF=末端手指無裝載舉例：SETLOADARMAONSETLOADMODE功能：設(shè)置裝載模式顯示類型格式：SETLOADMODE[BI|TRI]參數(shù)：BI=兩種狀態(tài)，ON或OFFTRI=三種狀態(tài)，ON、OFF或？舉例：SETLOADMODETRISETRTRCT2格式：SETRTRCT2value應(yīng)答：value二次縮回值PICKPLACEoffset的狀況SETSTN功能：設(shè)置工位參數(shù)格式：SETSTNstation[[ARM]arm]([Rr-loc][Tt-loc][Zbto][LOWERlower][NSLOTSslots][PITCHpitch])或SETSTNstation[[ARM]arm]ALLr-loct-locbtolowerslotspitch參數(shù)：ALL:指定r-loc,t-loc,bto,lower,slots,和pitchstation:工位號arm:手臂A或Bt-locT軸方向旋轉(zhuǎn)參數(shù)bto:Z軸方向升降參數(shù)lower:取片的升降距離slot:槽位號pitch:槽位之間的距離SETSTN4AALL468432700020020010ALL，其他參數(shù)不用設(shè)置。STOREIOECHO格式：STOREIOECHOSTORELOADMODE格式：STORELOADMODESTORERTRCT2格式：STORERTRCT2PICKPLACEoffset的狀況STORESTN格式：STORESTNstation[[ARM]arm][R][T][Z][LOWER][NSLOTS][PITCH]orSTORESTNstation[[ARM]arm]ALL參數(shù)：ALL:指定r-loc,t-loc,bto,lower,slots,和pitchstation:工位號arm:手臂A或BR:R軸方向伸縮參數(shù)T:T軸方向旋轉(zhuǎn)參數(shù)Z:Z軸方向升降參數(shù)LOWER:取片的升降距離參數(shù)NSLOTS:槽位號參數(shù)PITCH:槽位之間的距離參數(shù)舉例：STORESTN5ARMAALLSTORESTN4ARMARTZLOWERNSLOTSPITCHALL，其他參數(shù)不用設(shè)置。 真空直驅(qū)機器人串口通信協(xié)議手冊通信錯誤提示51005101510251035104510551065107510851095110511151125113