GB/T 15861-2012離子束蝕刻機通用規(guī)范

ICS31-550

L97

中華人民共和國國家標準

GB/T15861—2012

代替

GB/T15861—1995

離子束蝕刻機通用規(guī)范

Generalspecificationofionbeametchingsystem

2012-11-05發(fā)布2013-02-15實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T15861—2012

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替離子束蝕刻機通用技術條件

GB/T15861—1995《》。

本標準與相比主要變化如下

GB/T15861—1995:

由代替由代替

———GBn193—1983GB/T13384—1992,SJ2573—1985SJ/T10674—1995;

環(huán)境溫度調整為見

———20℃±10℃[5.1a)];

束能量范圍調整為可調見

———0~2000eV,(5.4.1);

表中束流密度2調整為22調整為2見表

———10.5mA/cm≥0.3mA/cm,1mA/cm0.8mA/cm(1);

增加束能量為時束流密度2見表

2000eV≥1mA/cm(1);

有效束徑規(guī)格增加了?和?兩種去掉了?見

———50100,60(5.4.4);

中和方式增加了電子源中和器見

———“”(5.4);

對束流密度檢測方法進行了更清楚的表述見

———(6.4.2);

膜厚均勻性為的蝕刻樣片改為膜厚均勻性優(yōu)于厚度制備了掩膜圖案的

———“±5%”“±2%、2μm、

蝕刻樣片見

”(6.4.10);

檢驗規(guī)則去掉例行檢驗項見

———(7);

增加包裝前檢查的條款見

———(8.2.1)。

本標準由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出

。

本標準由中國電子技術標準化研究所歸口

。

本標準起草單位中國電子科技集團公司第四十八研究所

:。

本標準主要起草人陳特超周大良

:、。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T15861—1995。

Ⅰ

GB/T15861—2012

離子束蝕刻機通用規(guī)范

1范圍

本標準規(guī)定了離子束蝕刻機的術語產(chǎn)品分類技術要求試驗方法檢驗規(guī)則以及包裝運輸

、、、、、、

貯存

。

本標準適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機其他專用離子束蝕刻機亦可參照執(zhí)行

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運圖示標志

GB/T191

包裝運輸包裝件基本試驗第部分正弦定頻振動試驗方法

GB/T4857.7—20057:

設備可靠性試驗恒定失效率假設下的失效率與平均無故障時間的驗證試

GB/T5080.7—1986

驗方案

運輸包裝收發(fā)貨標志

GB/T6388—1986

機電產(chǎn)品包裝通用技術條件

GB/T13384—1992

電子工業(yè)專用設備通用規(guī)范

SJ/T142

金屬鍍層和化學處理層質量檢驗技術要求

SJ/T1276

涂料涂覆通用技術條件

SJ/T10674

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

束能量beamenergy

表征離子束中離子的動能

。

注單位為電子伏特

:(eV)。

32

.

束流密度beamcurrentdensity

離子束某一指定截面上單位面積所通過的電流強度

。

33

.

有效束徑effectivebeamdiameter

打到靶上的束流密度均勻性在要求值不低于以內(nèi)的束直徑范圍

(±5%)