GB/T 16596-1996確定晶片坐標(biāo)系規(guī)范

ICS29.045H21中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16596—1996確定晶片坐標(biāo)系規(guī)范Speciticationforestablishingawafercoordinatesystem1996-11-04發(fā)布1997-04-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16596-1996本標(biāo)準(zhǔn)等效采用半導(dǎo)體設(shè)備和材料國際組織SEMIM20—92《確定品片坐標(biāo)系規(guī)范》結(jié)合我國的實(shí)際情況制定的，用于唯一確定晶片上任意一點(diǎn)位置的極坐標(biāo)或直角坐標(biāo)的品片坐標(biāo)系。本標(biāo)準(zhǔn)可以用確切的術(shù)語描述GB/T12964中晶片上某一點(diǎn)的位置，配備有關(guān)設(shè)備，可以識別晶片特征和定位晶片。與本標(biāo)準(zhǔn)配套的標(biāo)準(zhǔn)有GB/T16595—1996《品片通用網(wǎng)格規(guī)范》。本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)總公司提出。本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)總公司標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量研究所歸口。本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)總公司標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量研究所負(fù)責(zé)起草.本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：吳福立。本標(biāo)準(zhǔn)1996年11月首次發(fā)布。

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)確定晶片坐標(biāo)系規(guī)范GB/r16596-1996Specificationforestablishingawafercoordinatesystem花圍1.1本規(guī)范規(guī)定了利用晶片中心作為極坐標(biāo)（-8-<)或直角坐標(biāo)（-y-)的原點(diǎn)，可用于確定晶片上任意一點(diǎn)位置的晶片坐標(biāo)系。1.2對于非構(gòu)圖晶片，可直接使用本晶片坐標(biāo)系或與矩形陣列或極坐標(biāo)重疊陣列一起使用本晶片坐標(biāo)1.3本晶片坐標(biāo)系也可用于確定另一坐標(biāo)系的原點(diǎn)或其他基準(zhǔn)點(diǎn)的位置，而這另一坐標(biāo)系則常表示或記錄在構(gòu)圖或非構(gòu)圖晶片上的局部區(qū)域、芯片或圖形陣列的位置特征。這樣，該陣列坐標(biāo)系可定位晶片的實(shí)際幾何圖形。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本規(guī)范中引用而構(gòu)成為本規(guī)范的條文。本規(guī)范出版時(shí)，所示版本均為有效，所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂，使用本規(guī)范的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。2.1我國標(biāo)準(zhǔn)GB/T12964-1996硅單晶拋光片GB/T16595-1996晶片通用網(wǎng)格規(guī)范2.2SEMI標(biāo)準(zhǔn)SEMIE5-92設(shè)備通信規(guī)范2,報(bào)文內(nèi)容（SECSII)SEMIM1一94硅單晶拋光片規(guī)范SEMIM12-92品片正面系列字母數(shù)字標(biāo)志規(guī)范SEMIM13-88硅片字母數(shù)字標(biāo)志規(guī)范3確定晶片坐標(biāo)系程序3.1確定晶片中心3.1.1晶片正面向上。3.1.2對本規(guī)范來說，假定晶片的圓周是最小圓包圍著，而忽略參考面和所有其他邊緣的不規(guī)則區(qū)域.該圓的圓心為晶片中心。3.2確定右旋的直角坐標(biāo)系3.2.1坐標(biāo)系的原點(diǎn)位于品片的幾何中心。3.2.2坐標(biāo)系的y軸在正面的直徑上。該直徑平分主基準(zhǔn)面(參考面或缺口)3.2.3坐標(biāo)系的軸在正面的直徑上