GB/T 31092-2014藍(lán)寶石單晶晶錠

ICS29045

H83.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31092—2014

藍(lán)寶石單晶晶錠

Monocrystallinesapphireingot

2014-12-22發(fā)布2015-09-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T31092—2014

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

要求

4………………………1

檢驗(yàn)方法

5…………………3

檢驗(yàn)規(guī)則

6…………………4

標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存和質(zhì)量證明書

7、、、……………………5

訂貨單或合同內(nèi)容

8()……………………6

附錄規(guī)范性附錄總雜質(zhì)含量的測定方法

A()…………7

附錄規(guī)范性附錄位錯(cuò)密度測試方法

B()………………9

附錄規(guī)范性附錄雙晶搖擺曲線的半峰寬值的檢測方法

C()…………12

附錄規(guī)范性附錄局部光散射體氣泡包裹物及散射顆粒檢測方法

D()、、……………15

附錄規(guī)范性附錄鑲嵌孿晶的檢測方法

E()、…………18

附錄規(guī)范性附錄透光率檢測方法

F()…………………20

Ⅰ

GB/T31092—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會和全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位協(xié)鑫光電科技江蘇有限公司中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所常州億晶

:()、、

光電科技有限公司江蘇吉星新材料有限公司新疆紫晶光電技術(shù)有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉逸楓魏明德徐養(yǎng)毅杭寅吳劍波蔡金榮趙新儉

:、、、、、、。

Ⅲ

GB/T31092—2014

藍(lán)寶石單晶晶錠

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍(lán)寶石單晶晶錠的要求檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存和質(zhì)量證明書

、、、、、、

訂貨單或合同內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍(lán)寶石單晶晶錠產(chǎn)品可用于制造氮化鎵外延薄膜及其他用途的藍(lán)寶石單晶襯底材

,

料以下簡稱晶錠

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

硅晶體完整性化學(xué)擇優(yōu)腐蝕檢驗(yàn)方法

GB/T1554

半導(dǎo)體單晶晶向測定方法

GB/T1555

計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

GB/T2828.11:(AQL)

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

藍(lán)寶石sapphire

可以用來外延生長的有確定晶向的人工生長單晶氧化鋁材料

,。

32

.

藍(lán)寶石晶錠sapphireingot

依特定軸向生長的晶體通過機(jī)械加工后能滿足切片的藍(lán)寶石棒材

,。

33

.

總長度totallength

晶錠測量的實(shí)際幾何長度

。

34

.

有效長度effectivelength

晶錠實(shí)際長度中去除晶錠內(nèi)部缺陷后的幾何長度

,。

4要求

41化學(xué)組成

.

晶錠為高純的α其總雜質(zhì)含量應(yīng)小于

-Al2O3,