標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 31093-2014 藍(lán)寶石晶錠應(yīng)力測試方法》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范藍(lán)寶石晶錠內(nèi)部應(yīng)力的測量過程。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)描述了采用X射線衍射法測定藍(lán)寶石單晶中殘余應(yīng)力的方法，適用于評估通過不同工藝生長或加工后的藍(lán)寶石晶體內(nèi)部是否存在及存在多少應(yīng)力狀態(tài)。

標(biāo)準(zhǔn)首先界定了適用范圍，并對相關(guān)術(shù)語進(jìn)行了定義，比如“殘余應(yīng)力”指的是材料在沒有外加載荷的情況下內(nèi)部存在的應(yīng)力；而“X射線衍射法”則是指利用X射線與物質(zhì)相互作用時(shí)發(fā)生的散射現(xiàn)象來分析樣品結(jié)構(gòu)的技術(shù)。接著，文件列舉了執(zhí)行本測試所需的各種設(shè)備及其技術(shù)要求，包括X射線衍射儀、樣品架等，并強(qiáng)調(diào)了實(shí)驗(yàn)環(huán)境條件的重要性。

對于樣品準(zhǔn)備部分，《GB/T 31093-2014》給出了具體的指導(dǎo)原則，如選擇合適尺寸和形狀的樣品以確保能夠準(zhǔn)確反映整個(gè)藍(lán)寶石晶錠的應(yīng)力分布情況。此外，還規(guī)定了如何正確地固定樣品以及設(shè)置適當(dāng)?shù)臏y量參數(shù)，例如掃描角度范圍、步長大小等，這些都是為了保證數(shù)據(jù)采集的有效性和可靠性。

在數(shù)據(jù)處理方面，該標(biāo)準(zhǔn)提供了一套完整的計(jì)算流程，從原始XRD譜圖獲取到最終應(yīng)力值的確定都做了明確指示。其中包括使用特定軟件進(jìn)行峰位識別、擬合曲線繪制等步驟，并給出了基于彈性理論計(jì)算應(yīng)力的具體公式。同時(shí)，《GB/T 31093-2014》也提醒使用者注意誤差來源，建議通過多次重復(fù)實(shí)驗(yàn)來提高結(jié)果準(zhǔn)確性。

最后，標(biāo)準(zhǔn)還包含了報(bào)告編寫指南，指出了一份完整測試報(bào)告應(yīng)該包含哪些內(nèi)容，比如實(shí)驗(yàn)日期、儀器型號、樣品信息、測試條件、原始數(shù)據(jù)記錄、處理過程說明以及最終得出的結(jié)論等。這有助于確保每次測試結(jié)果都能被清晰記錄并便于后續(xù)查閱或比較。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2014-12-22 頒布
  • 2015-09-01 實(shí)施
?正版授權(quán)
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文檔簡介

ICS7704010

H22..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31093—2014

藍(lán)寶石晶錠應(yīng)力測試方法

Testmethodforstressofmonocrystallinesapphireingot

2014-12-22發(fā)布2015-09-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

藍(lán)寶石晶錠應(yīng)力測試方法

GB/T31093—2014

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20152

*

書號

:155066·1-50902

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T31093—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會和全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位協(xié)鑫光電科技江蘇有限公司中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所北京合能

:()、、

陽光新能源技術(shù)有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉逸楓魏明德徐養(yǎng)毅杭寅肖宗杰

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31093—2014

藍(lán)寶石晶錠應(yīng)力測試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍(lán)寶石單晶晶錠的應(yīng)力測試方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于經(jīng)過加工后直徑為的向藍(lán)寶石晶錠的應(yīng)力測試其他尺寸藍(lán)

50.8mm~200mmc,

寶石晶錠以下簡稱晶錠的應(yīng)力測試可參照使用

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

4方法提要

藍(lán)寶石為單軸晶體軸為光軸使用典型的會聚平面偏振光干涉試驗(yàn)裝置晶體的光軸與切面垂

,c。,

直并且和儀器的光軸平行在會聚光的情況下會產(chǎn)生干涉形成錐光圖錐光圖由黑十字和同心圓狀

,,,,。

的干涉色圈組成干涉色圈以黑十字交點(diǎn)為中心光軸出露點(diǎn)成同心環(huán)狀干涉色圈的多少取決于晶

,(),,,

體的雙折射率的大小及厚度

。

當(dāng)晶體局部規(guī)則的結(jié)構(gòu)被破壞產(chǎn)生的應(yīng)力使得該位置上的光軸方向發(fā)生改變光束通過此位置

,,

時(shí)所得到的錐光圖中的黑十字變形因此可以通過觀察晶體各個(gè)位置的錐光圖來檢測晶體的應(yīng)力

,,。

5干擾因素

51晶錠內(nèi)部有氣泡包裹物等會影響應(yīng)力的判斷

.、。

52晶錠加工過程中引起的內(nèi)部裂紋會影響應(yīng)力的判斷

.。

6試驗(yàn)設(shè)備

應(yīng)力儀其典型光路如圖所示儀器的光學(xué)系統(tǒng)由光源發(fā)出的光速通過隔熱片聚光

,1。(1)(2)、

鏡反射鏡和起偏鏡變?yōu)槠矫嬲耒R在通過發(fā)散鏡臺面玻璃后投射到被測試樣上最

(3)、(4)(5),

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