• 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2016-04-25 頒布
  • 2016-11-01 實施
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GB/T 32642-2016平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測量方法_第1頁
GB/T 32642-2016平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測量方法_第2頁
GB/T 32642-2016平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測量方法_第3頁
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文檔簡介

ICS31-030

L90

中華人民共和國國家標準

GB/T32642—2016

平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的

測量方法

Flatpaneldisplaysglasssubstratesurfaceroughnessmeasurementmethod

2016-04-25發(fā)布2016-11-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32642—2016

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會與全國工業(yè)玻璃和特種玻璃標

(SAC/TC203)

準化技術(shù)委員會共同歸口

(SAC/TC447)。

本標準主要起草單位彩虹集團公司中國電子技術(shù)標準化研究院

:、。

本標準主要起草人黃寧歌王香裴會川李霜楊萬來張春鵬

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T32642—2016

平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的

測量方法

1范圍

本標準規(guī)定了使用觸針式表面粗糙度測量儀測量平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測量方法

。

本標準適用于平板顯示器用基板玻璃表面粗糙度的測量

。

2術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

21

.

觸針式表面粗糙度測量儀stylussurfaceroughnessmeasuringinstrument

探針在被測面的一部分上沿輪廓滑行放大地記錄下表面的不平整性并指明放大曲線的振幅是表

,

面粗糙度數(shù)值范圍的儀器

。

22

.

截止長波長longwavelengthcut-off

λ

L

排除自然因素當示蹤輪廓曲線通過消除波紋因素影響的高通波長濾波器后振幅衰減率成為

,,

時的波長

75%。

23

.

真實剖面曲線圖realprofile

目標物體表面與垂直于該表面的一個平面的交叉線參見圖

(1)。

圖1剖面曲線

24

.

截止短波長shortwavelengthcut-off

λ

S

示蹤剖面曲線通過濾除粗糙度因素影響的低通波長濾波器后其波幅衰減率成為標準值時的

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