PECVD日常報警說明

PECVD日常報警說明管式PECVD日常報警說明Processrecipehasterminatedwitherrorstate----AlarmACK----(1)tostore(2)tostoreenableunload(3)Restartrecipe.說明：進行中的工藝以錯誤的狀態(tài)結(jié)束----警報確認----（1）儲存（2）儲存并卸下（3）重新開始工藝。(1)用錯工藝號，手動結(jié)束工藝，重新開始新的其它工藝時進行選擇。(2)多數(shù)情況下選擇此項。；(3)工藝中斷需要重新進行時選擇，選擇前應查看鍍膜情況。1管式PECVD日常報警說明Boatalreadyintube----select:[process=0unload=1].說明：石墨舟已經(jīng)在管內(nèi)----選擇[運行工藝=0取出卸下=1]。當管內(nèi)有石墨舟時，異常排除后手動運行工藝時會出現(xiàn)這樣的提示，查看鍍膜情況后在做選擇。2管式PECVD日常報警說明Losthoming,checkposition.說明：失去引導，檢查位置。此報警會自動解除，只需要檢查一下槳是否在原點的位置即可。3管式PECVD日常報警說明HFGenoutof1st(2nd)tolerance.說明：高頻發(fā)生器超過第一（二）個位置，如果在鍍膜中退出，如已經(jīng)沉積到氮化硅，檢查鍍膜時間后，選擇手動工藝輸入剩余時間。通常出現(xiàn)這樣的報警有三種情況：(1)石墨舟的電極孔放反。(2)石墨電極內(nèi)有硅片倒落或者小碎片卡在兩片電極的中間。(3)爐內(nèi)的碎片太多，石墨電極底部接觸到碎片形成兩片電極之間的短路。4管式PECVD日常報警說明Recipeabort2----processabort!TOcontinue:enterAB.說明：工藝推出----運行終止。繼續(xù)輸入AB。對工藝異常確認輸入AB后，會出現(xiàn)第（一）個報警5管式PECVD日常報警說明Vacuumtubeoutof1st(2nd)tolerance.說明：石英管內(nèi)的真空度超過第一（二）個限值。系統(tǒng)會對石英管內(nèi)的真空度三秒鐘檢查一次，由于某種原因?qū)е鲁檎婵毡谎訒r，在特定的時間內(nèi)無法達到真空設(shè)定值的要求，系統(tǒng)會出現(xiàn)這樣的報警，檢查一下狀態(tài)欄中的壓力值和真空泵的工作是否正常，如正常過幾分鐘后報警會自動解除；如果此報警連同第（八）個報警一起出現(xiàn)的話，聯(lián)系工序長和領(lǐng)班。6管式PECVD日常報警說明Boatsensorofgrabhaschangedwithoutpermission.說明：機械手上的傳感器被非允許移動。機械手喜愛上下移動時不會前后移動，若這時前后的位置發(fā)生變化，機械臂將會被鎖定，出現(xiàn)報警。此警報需要通知工序長或領(lǐng)班。7管式PECVD日常報警說明Collectivealertpumpst.1說明：真空泵報警。一般情況下是由于真空泵的負壓太大，導致報警。如復位無效的話通知工序長或領(lǐng)班。8管式PECVD日常報警說明GasN2(SiH4、NH3)outof1st(2nd)tolerance.說明：特氣氮氣（硅烷、氨氣）超過第一（二）個限值。出現(xiàn)這種報警的原因是多面的：高頻放電失敗、管內(nèi)的壓力不正?；蛘哂捎谀撤N原因系統(tǒng)被鎖定（冷卻水報警），都會出現(xiàn)這樣的報警，出現(xiàn)超過第一個限值報警，只是警告；超過第二個限值報警出現(xiàn)后工藝會自動停止，此時報警消失，出現(xiàn)第五個報警信息9管式PECVD日常報警說明Warming:checkSiH4distribution.說明：警告,檢查硅烷的流量。檢查硅烷的流量是否于設(shè)定值吻合，如果不是退出并重新運行工藝10管式PECVD日常報警說明Recipecouldn’tdestarted.pleasecheckprotocolforreason.。說明：工藝不能被運行，請檢查原因。原因：此管已有一個工藝在運行；此管沒有你要選的工藝文件；狀態(tài)不正確11管式PECVD日常報警說明Thereisalreadyanactiverecipe×××formlocallisting.說明：已經(jīng)有×××工藝在此管的工藝列表中。十一、十二倆個報警有時會一起出現(xiàn)，終止任何一個報警都會解除。12管式PECVD日常報警說明TubereadyinundefinedpleaseensurethattheCESARloadingmachineisat“0”positionandsoftlanderis“UP”.說明：管子的狀態(tài)無法被確認，請確保CESAR接收到槳在“0”和“UP”的位置。檢查槳是否在上位和原點的位置，如果是的，在空槳的情況下運行homing工藝；如果不是，手動移動槳到上位和原點。13管式PECVD日常報警說明Boatcollision.說明：舟被撞擊。Handling對話框中將舟移動到安全的位置；若是在上下舟，檢查一下小車和儲存架的位置是否于舟的位置匹配。14管式PECVD日常報警說明Theboatsensorhasdetectednoboatinthegrabalthoughaboatshouldbeinthegrab.pleasecheckboatingrabsensorandtryagain.說明：雖然有一個舟在機械臂上，但傳感器測不到，請檢查一下舟是否接觸到傳感器后再試一次。機械臂上的傳感器沒有感應到舟，將舟放到正確的位置即可。15管式PECVD日常報警說明Grabsensorundefined.Nomovementpossible!Checkboatposition.說明：傳感器不明確，無法移動，檢查舟的位置。機械臂不在正確的位置，無法移動，若機械臂沒有被鎖定在Handling的界面中將機械臂移至正確的位置。16管式PECVD日常報警說明Boatposition(speed)outof1st(2nd)tolerance.說明：舟的位置（速度）超過第一（二）限值。通常會發(fā)生在退舟失敗后，手動使槳復位。17管式PECVD日常報警說明Boatfailure.說明：退舟失敗。檢查舟在槳上的位置，如果正確手動將槳復位；如果不正確，戴上高溫手套把舟拉到正確的位置后手動復位。18管式PECVD日常報警說明Waterflowgassidest.1.說明：TGA（gasside）