JJF 1100-2003平面等厚干涉儀校準規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術規(guī)范

JJF1100—2003

平面等厚干涉儀校準規(guī)范

CalibrationSpecificationforFlatEqual

ThicknessInterferometers

2003-05-12發(fā)布2003-11-12實施

國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

JJF1100—2003

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平面等厚干涉儀校準規(guī)范??????????????

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CalibrationSecificationfor代替JJG336—1983?

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FlatEqualThicknessInterferometers

本規(guī)范經國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局于年月日批準并自

20030512,

年月日起施行

20031112。

歸口單位:全國幾何量工程參量計量技術委員會

負責起草單位:中國測試技術研究院

本規(guī)范由歸口單位負責解釋

JJF1100—2003

本規(guī)范主要起草人:

冉慶中國測試技術研究院

()

陳永康中國測試技術研究院

()

參加起草人:

李建民中國測試技術研究院

()

曹箭中國測試技術研究院

()

JJF1100—2003

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計量特性………………

4(1)

干涉條紋間距測量的重復性………

4.1(1)

測微目鏡的示值誤差………………

4.2(1)

物鏡系統(tǒng)引起的條紋彎曲量………

4.3(1)

儀器的示值誤差……………………

4.4(2)

校準條件………………

5(3)

環(huán)境條件……………

5.1(3)

校準用標準器及相應設備…………

5.2(4)

校準項目和校準方法…………………

6(4)

干涉條紋間距測量的重復性………

6.1(4)

測微目鏡的示值誤差………………

6.2(4)

物鏡系統(tǒng)引起的條紋彎曲量………

6.3(4)

儀器的示值誤差……………………

6.4(5)

校準結果表達…………

7(5)

復校時間間隔…………

8(5)

附錄校準證書內容…………………

A(6)

附錄平面等厚干涉儀示值誤差的測量不確定度分析………………

B(7)

JJF1100—2003

平面等厚干涉儀校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于平面等厚干涉儀的校準不適用于只能估讀干涉條紋彎曲量的同類干

,

涉裝置的校準

。

2引用文獻

通用計量術語及定義

JJF1001—1998

測量不確定度評定與表示

JJF1059—1999

平晶檢定規(guī)程

JJG28—2000

平面平晶

JB/T7401—1994

使用本規(guī)范時應注意使用上述引用文獻的現行有效版本

,。

3概述

平面等厚干涉儀以下簡稱儀器是采用等厚光波干涉原理用于測量物體表面平

(),

面度的光學計量儀器根據儀器示值誤差可分為一級和二級按其結構分為用鈉光做光

,。

源不帶標準平面平晶和用激光做光源帶標準平面平晶的兩種平面等厚干涉儀其外

、、。

形結構與光學原理分別見圖圖和圖圖

1、23、4。

圖不帶標準平晶的外形結構圖

1

4計量特性

干涉條紋間距測量的重復性

4.1

重復性不超過

0.020mm。

測微目鏡的示值誤差

4.2

在任意內不超過在全程不超過

1mm