JJG 901-1995電子探針分析儀

中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程

JJG901—1995

電子探針分析儀

ElectronProbeMicroanalyzer

1995-10-19發(fā)布1996-03-01實施

國家技術監(jiān)督局發(fā)布

JJG901—1995

電子探針分析儀檢定規(guī)程??

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VerificationRegulationof??

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ElectronProbeMicroanalyzer

本檢定規(guī)程經(jīng)國家技術監(jiān)督局于年月日批準并自年

19951019,1996

月日起施行

0301。

歸口單位:上海市技術監(jiān)督局

起草單位:上海市測試技術研究所

本規(guī)程技術條文由起草單位負責解釋

JJG901—1995

本規(guī)程主要起草人:

張訓彪上海市測試技術研究所

()

JJG901—1995

目錄

一概述…………………

(1)

二技術要求……………

(1)

三檢定條件……………

(2)

四檢定項目和檢定方法………………

(2)

五檢定結果的處理和檢定周期………

(5)

附錄電子探針分析儀檢定記錄……………………

1(6)

附錄檢定證書背面格式……………

2(8)

JJG901—1995

電子探針分析儀檢定規(guī)程

本規(guī)程適用于新制造使用中和修理后的電子探針分析儀以下簡稱電子探針的

、()

檢定也適用于配有波譜儀具有元素分析功能的掃描電子顯微鏡的檢定

,。

一概述

電子探針主要用于測定固體樣品中微小區(qū)域內(nèi)原子序數(shù)從號硼至號鈾

5()92()

元素的種類和含量同時可以用于分析樣品表面的形貌其原理是用細聚焦一定能量

,。:

的電子束轟擊樣品樣品在電子的作用下產(chǎn)生射線二次電子等信息用波譜儀將

,X、。

射線按波長進行分散并測定特征射線的強度根據(jù)特征射線的波長確定元素

X,X。X

的種類根據(jù)特征射線的強度進行修正計算確定元素的含量用二次電子成像分

;X,。

析表面形貌

。

電子探針主要由電子光學系統(tǒng)射線色散系統(tǒng)信號接收放大和顯示系統(tǒng)計算

、X、、

機系統(tǒng)真空系統(tǒng)供電系統(tǒng)等部分組成

、、。

二技術要求

電子探針按其性能分為一級二級三級

、、。

外觀

1

標明儀器名稱型號制造單位出廠日期出廠編號等面板上的標記清晰部

、、、、;;

件裝配牢固導線連接可靠無影響計量性能的損傷操作自如運轉正常

;;;,。

放大倍數(shù)示值誤差

2

一級不超過二級不超過三級不超過

±5%;±10%;±20%。

二次電子像分辨力

3

一級不大于二級不大于三級不大于

10nm;20nm;50nm。

探針束流穩(wěn)定度

4

一級不大于-3二級不大于-3三級不大于-3

3×10;5×10;10×10。

束斑位置穩(wěn)定度

5

一級不大于二級不大于三級不大于

0.5μm;1μm;2μm。

樣品臺重復性

6

一級不超過二級不超過三級不超過

1μm;2μm;5μm。

射線強度重復性

7X

一級不大于二級不大于