鍍膜基礎(chǔ)知識(shí)講義課件

光學(xué)鍍膜基礎(chǔ)知識(shí)理論基礎(chǔ)各類(lèi)膜系硬體系統(tǒng)品質(zhì)維護(hù)一.光學(xué)薄膜理論基礎(chǔ)光學(xué)薄膜基本上是藉由干涉作用而達(dá)到效果的。是在學(xué)元件上或獨(dú)立的基板上鍍上一層或多層的介電質(zhì)膜或金屬膜或介電質(zhì)膜與金屬膜組成的膜堆來(lái)改變光波傳導(dǎo)的特性。因此波在薄膜中行進(jìn)才會(huì)發(fā)生透射、反射、吸收、散射、相位偏移等變化。光波經(jīng)過(guò)薄膜後在光譜上會(huì)起變化，因此這些變化會(huì)使得學(xué)薄膜至少具有下列功能：1.反射的提高或穿透的降低2.反射的降低或穿透的提高3.雙色、偏極光的分光作用4.光譜帶通或截止等濾光作用5.輻射器之光通量調(diào)變6.光電資訊的儲(chǔ)存及輸入鍍膜目的:反射率的提高或透射率的降低反射率的降低或透射率的提高分光作用：中性分光、變色分光、偏極光分光光譜帶通、帶止及長(zhǎng)波通或短波通之濾光作用相位改變液晶顯示功能之影顯色光顯示、色光反射、偽鈔及有價(jià)證券之防止光波的引導(dǎo)、光開(kāi)關(guān)及積體光路

一.光學(xué)薄膜理論基礎(chǔ)單層減反射膜二.各種膜係介紹AR-CoatingIR膜IR膜高反膜離子源助鍍鍍膜機(jī)類(lèi)型鍍膜機(jī)構(gòu)造五大系統(tǒng)排氣系統(tǒng)控制系統(tǒng)蒸鍍系統(tǒng)監(jiān)控系統(tǒng)輔助系統(tǒng)泵浦及真空計(jì)圖RPMPDP真空計(jì)控制系統(tǒng)工作原理通過(guò)自動(dòng)化程式來(lái)控製所有泵浦和閥門(mén)的正常運(yùn)轉(zhuǎn),從而確保鍍膜機(jī)的效率的品質(zhì)鍍膜機(jī)控制柜主要通過(guò)PLC控制電路自動(dòng)完成蒸鍍系統(tǒng)工作原理鍍膜藥材在真空中,通過(guò)電子槍發(fā)出的電子束或鎢片的電流使其熔解而蒸發(fā)后,而沉積在基底(鏡片)的表面蒸鍍圖片電子槍蒸鍍裝置鎢片蒸鍍裝置蒸鍍所用藥材MGF2H4TiO2Ti3O5AL2O3SIO2金屬AL,Ag,Cr……NB2O5Ta2O5監(jiān)控控制系統(tǒng)示意圖

LP1300EBA透過(guò)式光學(xué)監(jiān)控LP900EBA石英膜厚監(jiān)控石英膜厚儀膜厚系統(tǒng)控制界面1蒸鍍中畫(huà)面!監(jiān)控系統(tǒng)控制界面2蒸鍍完成畫(huà)面,全部通過(guò)自動(dòng)化程式控制!輔助系統(tǒng)工作原理1.提升機(jī)臺(tái)的抽氣性能

2.便於人員操作

3.提高機(jī)臺(tái)的精度

4.分析異常產(chǎn)生的原因輔助設(shè)備圖片冰水機(jī)POLYCOLD叉車(chē)?yán)鋮s水鍍膜三要素1.真空度(3.0*10-5torr)

2.抽氣時(shí)間(45min)

3.溫度(300℃)

當(dāng)以上三個(gè)條件同時(shí)滿足時(shí),自動(dòng)化程式會(huì)自動(dòng)運(yùn)行…保養(yǎng)的目的讓鍍膜機(jī)能長(zhǎng)時(shí)間地正常運(yùn)轉(zhuǎn)降低故障時(shí)間提高機(jī)臺(tái)精度,穩(wěn)定品質(zhì)加快抽氣速度,提升機(jī)臺(tái)利用率日常保養(yǎng)項(xiàng)目及周期電子槍(坩鍋)部位的吸塵---1次/傘離子槍部位的清潔---1次/傘遮板的清潔---3次/班燈絲的更換---1次/班綠紙的更換---2次/班機(jī)臺(tái)外表的擦拭---2次/班定期保養(yǎng)項(xiàng)目及周期泵浦和管路的保養(yǎng)---1次/年油類(lèi)的更換(或添加)---1次/年密封環(huán)的更換---1次/年加熱絲的噴砂處理---1次/年