YS/T 987-2014氯硅烷中碳雜質(zhì)的測定方法甲基二氯氫硅的測定

ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T987—2014

氯硅烷中碳雜質(zhì)的測定方法

甲基二氯氫硅的測定

Testmethodformeasuringcarboncontainingcompoundinchlorosilane—

Determinationofmethyldichlorosilane

2014-10-14發(fā)布2015-04-01實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T987—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司

:。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位樂山樂電天威硅業(yè)科技有限責(zé)任公司東方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料有限公

:、

司陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司洛陽中硅高科技有限公司南京中鍺科技股份有限公司新特能源股

、、、、

份有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人敖細(xì)平王波黃代文梁洪劉暢姚淑荊凡楊艷芬銀波黃彬

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T987—2014

氯硅烷中碳雜質(zhì)的測定方法

甲基二氯氫硅的測定

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氯硅烷中碳雜質(zhì)的測定方法主要包括三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測定和四氯化硅

,

中甲基二氯氫硅的測定

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測定和四氯化硅中甲基二氯氫硅的測定三氯氫硅四

。、

氯化硅中甲基二氯氫硅的檢測范圍均為

0.00001%~1.00%。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

高純氦

GB/T4844.3

3方法原理

本標(biāo)準(zhǔn)采用二氯乙烷作為內(nèi)標(biāo)物利用氣相色譜質(zhì)譜儀測定三氯氫硅和四氯化硅

1,2-,-(GC-MS)

中甲基二氯氫硅的含量氣相色譜質(zhì)譜儀通過極性毛細(xì)管色譜柱將三氯氫硅或四氯化硅的主體和碳

。-

雜質(zhì)分開確定其保留時(shí)間利用吹掃裝置將氣相色譜分離后的三氯氫硅或四氯化硅主體排出將碳雜

,。,

質(zhì)導(dǎo)入質(zhì)譜儀進(jìn)行分析用氣相色譜質(zhì)譜儀的定性模式對(duì)樣品三氯氫硅和四氯化硅中碳雜質(zhì)進(jìn)行全

。-

掃描分析僅發(fā)現(xiàn)有甲基二氯氫硅離子峰的存在因此本標(biāo)準(zhǔn)主要對(duì)三氯氫硅或四氯化硅中的甲基二氯

,,

氫硅進(jìn)行分析

。

4試劑和材料

除非另有說明分析時(shí)均使用符合國家標(biāo)準(zhǔn)的試劑或材料

,。

41高純氦氣應(yīng)符合的規(guī)定

.,GB/T4844.3。

42甲基二氯氫硅色譜純

.,。

43二氯乙烷色譜純

.1,2-,。

44正辛烷色譜純

.,。

45三氯氫硅光譜純

.,。

46四氯化硅光譜純

.,。

5儀器與設(shè)備

51氣相色譜質(zhì)譜儀

.-

在儀器最佳工作條件下凡是能達(dá)到下列指標(biāo)者均可使用