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文檔簡介
電子顯微鏡及其附屬設備的結(jié)構、基本原理、
用途及其使用
方法第一部分
透射式電子顯微鏡1.透射式電子顯微鏡外形及其基本結(jié)構
組成：電子光學系統(tǒng)；高壓系統(tǒng)；數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)；電子控制系統(tǒng)；真空系統(tǒng)等五大部分。透射式電子真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)的組成：機械泵、擴散泵、離子泵、真空管道、循環(huán)水系統(tǒng)等電子槍鏡筒照相室DPIPRP數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)包括：CCD數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、PHOTO采集系統(tǒng)；高壓及其電源系統(tǒng)高壓箱、高壓電纜、高壓瓷瓶、電子束發(fā)射槍、電源等。2.透射電子顯微鏡的基本工作原理電子光學系統(tǒng)的工作原理LaB6燈絲在高電壓的作用下，產(chǎn)生一束高能電子束。經(jīng)過透鏡、物鏡、消像散等系統(tǒng)的調(diào)整，形成一束近似平行光的電子束，作用于試樣。電子束與試樣將發(fā)生各種各樣的作用。主要形成透過電子、彈性散射電子、非彈性散射電子
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