發(fā)電式傳感器及其應用

發(fā)電式傳感器及其應用第1頁/共75頁當沿著一定方向施加力變形時，內部產生極化現(xiàn)象，同時在它表面會產生符號相反的電荷；當外力去掉后，又重新恢復不帶電狀態(tài)當作用力方向改變后，電荷的極性也隨之改變；這種現(xiàn)象稱壓電效應。

一、變換原理:

壓電式傳感器是一種可逆型換能器，機械能電能。它的工作原理是基于某些物質的壓電效應。

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壓電效應是可逆的

在這些材料的極化方向施加電場，它們就在一定方向上產生機械變形或機械應力，當外電場撤去時，這些變形或應力也隨之消失，這種現(xiàn)象稱為“逆壓電效應”，或稱為“電致伸縮效應”。所以壓電元件可以將機械能——轉化成電能也可以將電能——轉化成機械能。

壓電元件機械能電能第3頁/共75頁壓電效應是可逆的，壓電傳感器是雙向傳感器。

二、壓電材料

具有壓電效應的物質(物體)稱為壓電材料(或壓電元件)。

常見的壓電材料可分為兩類：單晶體：石英晶體等多晶體：壓電陶瓷等石英晶體有天然石英和人工石英單晶體兩種。特點：石英晶體的相對介電常數(shù)較小，溫度穩(wěn)定性很好。機械強度很高。性能穩(wěn)定，沒有熱釋電效應（由于溫度變化導致電荷釋放），絕緣性能相當好。第4頁/共75頁天然石英晶體，其結構形狀為一個六角形晶柱，兩端為一對稱棱錐。在晶體學中，可以將其用三根互相垂直的軸表示?？v軸Z——光軸

通過六棱線而垂直于光軸的X軸——電軸

垂直于六棱柱體的棱面——機械軸

壓電陶瓷是人工制造的多晶壓電材料，它由無數(shù)細微的單晶組成。如鈦酸鋇壓電陶瓷、鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷，即PZT系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷（PMN)、鈮酸鹽系壓電陶瓷等。特點：穩(wěn)定性較石英晶體差，有明顯的熱釋電效應。壓電常數(shù)大，靈敏度高。制作工藝方便，耐濕、耐高溫等特點，用的較多。

第5頁/共75頁壓電晶片按特定方向切片人工合成水晶第6頁/共75頁

從石英晶體中切下一個平行六面體，并使其晶面分別平行于Z-Z、Y-Y、X-X軸線。若對其施力，則有幾種不同的效應。

縱向壓電效應——沿電軸(X軸)方向的作用力產生的橫向壓電效應——沿機械軸(Y軸)方向的作用力產生的切向效應——沿相對兩棱加力時沿光軸(Z軸)方向的作用力不產生壓電效應。壓電式傳感器主要是利用縱向壓電效應。

第7頁/共75頁三、壓電式傳感器及其等效電路

在壓電晶片的兩個工作面上進行金屬蒸鍍，形成金屬膜，構成兩個電極。當壓電晶片受到壓力F的作用時，分別在兩個極板上積聚數(shù)量相等而極性相反的電荷，形成電場。

實驗證明，壓電晶體片在某特定平面上產生的電荷量與作用外力成正比，即

q=DF

式中q——為電荷量；

F——作用力

D——壓電常數(shù)，與材質及切片的方向有關

注意：利用壓電式傳感器測量靜態(tài)或準靜態(tài)量值時，必須采取一定的措施，使電荷從壓電晶片上經測量電路的漏失減小到足夠小程度。而在動態(tài)力作用下，電荷可以得到不斷補充，可以供給測量電路一定的電流，故壓電傳感器適宜作動態(tài)測量。

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因此，壓電傳感器可以看作是一個電荷發(fā)生器，也可以看成是一個電容器。

壓電元件可以等效為一個電壓源和一個串聯(lián)電容表示的電壓等效電路，也等效成為一個電荷源和一個電容的電荷等效電路。第9頁/共75頁壓電元件的連接方法壓電晶片串聯(lián):電容量小、響應快、輸出電壓大，適用于測量以電壓作輸出的信號和頻率較高的信號。

--------適合前置電壓放大器

在實際應用中，由于單片的輸出電荷很小，常常將兩片或兩片以上的晶片連接在一起，以提高靈敏度。方法有兩種，即并聯(lián)和串聯(lián)。壓電晶片并聯(lián):電容量大、輸出電荷量大、時間常數(shù)也大，適用于測量緩變信號及電荷量輸出信號

--------適合前置電荷放大器第10頁/共75頁四、測量電路

壓電式傳感器輸出電信號很微弱，通常應把傳感器信號先輸入到高輸入阻抗的前置放大器中，經過阻抗變換后，方可輸入到后續(xù)顯示儀表中。

前置放大器的作用：將傳感器的高阻抗輸出變?yōu)榈妥杩馆敵?；放大傳感器輸出的微弱電信號?/p>

前置放大器電路的形式：用電阻反饋的電壓放大器其輸出電壓與輸入電壓(即傳感器的輸出)成正比；用電容做反饋的電荷放大器

其輸出電壓與輸入電荷成正比。由于電荷放大器電路的電纜長度變化的影響不大，幾乎可以忽略不計，故而電荷放大器應用日益廣泛。

第11頁/共75頁Ra：傳感器的漏電阻；Cc：連接電纜的分布電容；Ri：相連放大器的輸入電阻；Ci：相連放大器的輸入電容。

加速度計電纜阻抗變換、放大第12頁/共75頁四、特點及應用

體積小、重量輕、結構簡單、頻率范圍寬適于動態(tài)測量

多用于力、振動加速度、噪聲的測量第13頁/共75頁產品壓力變送器

加速度計力傳感器

第14頁/共75頁壓電式加速度傳感器第15頁/共75頁壓電式壓力傳感器第16頁/共75頁點火器晶體第17頁/共75頁超聲波傳感器振動式液位開關壓電加速度計

壓電元件產品第18頁/共75頁配重塊簡支梁懸臂梁激振器力錘調速電機加速度傳感器調壓器隔振器電荷放大器掃頻信號發(fā)生器第19頁/共75頁5.2光電傳感器

光電傳感器通常是指能敏感到由紫外線到紅外線光的光能量，并能將光能轉化成電信號的器件。其工作原理是基于一些物質的光電效應。

由于被光照射的物體材料不同，所產生的光電效應也不同，通常光照射到物體表面后產生的光電效應分為：外光電效應、內光電效應。

1、外光電效應及其光電器件

在光線作用下,物質內的電子逸出物體表面向外發(fā)射的現(xiàn)象,稱為外光電效應。第20頁/共75頁

光譜光波：波長為10—106nm的電磁波可見光：波長380—780nm

紫外線：波長10—380nm，波長300—380nm稱為近紫外線波長200—300nm稱為遠紫外線波長10—200nm稱為極遠紫外線，紅外線：波長780—106nm

波長3μm（即3000nm）以下的稱近紅外線波長超過3μm的紅外線稱為遠紅外線?？梢姽饨t外遠紅外極遠紫外0.010.11100.050.55波長/μm遠紫外近紫外第21頁/共75頁光電管的結構示意圖

光陽極光電陰極光窗

光電管有真空光電管和充氣光電管或稱電子光電管和離子光電管兩類。它們由一個陰極和一個陽極構成，并且密封在一只真空玻璃管內。陰極裝在玻璃管內壁上，其上涂有光電發(fā)射材料。陽極通常用金屬絲彎曲成矩形或圓形，置于玻璃管的中央。外光電效應器件

利用物質在光的照射下發(fā)射電子的外光電效應而制成的光電器件，一般都是真空的或充氣的光電器件，如光電管和光電倍增管。(1)光電管

第22頁/共75頁

當光線照射在光敏材料上時，如果光子的能量E大于電子的逸出功A（E＞A），會有電子逸出產生電子發(fā)射。電子被帶有正電的陽極吸引，在光電管內形成電子流，電流在回路電阻R上產生正比于電流大小的壓降。因此

用作光電陰極的金屬有堿金屬、汞、金、銀等，可適合不同波段的需要。

光電管靈敏度低、體積大、易破損。目前光電管主要用途：光電比色計等分析儀器、各種光學自動裝置。第23頁/共75頁光電管

第24頁/共75頁(2)光電倍增管

光照很弱時，光電管產生的電流很小，為提高靈敏度常使用光電倍增管。如核儀器中閃爍探測器都使用的是光電倍增管做光電轉換元件。

光電倍增管是利用二次電子釋放效應，高速電子撞擊固體表面，發(fā)出二次電子，將光電流在管內進行放大。第25頁/共75頁

當光照射到光陰極時，光陰極向真空中激發(fā)出光電子。這些光電子按聚焦極電場進入倍增系統(tǒng)，并通過進一步的二次發(fā)射得到倍增放大。然后把放大后的電子用陽極收集作為信號輸出。

因為采用了二次發(fā)射倍增系統(tǒng)，所以光電倍增管在探測紫外、可見和近紅外區(qū)的輻射能量的光電探測器中，具有極高的靈敏度和極低的噪聲。另外，光電倍增管還具有響應快速、成本低、陰極面積大等優(yōu)點。

廣泛應用于光子計數(shù)、極微弱光探測、化學發(fā)光、生物發(fā)光研究、極低能量射線探測、分光光度計、旋光儀、色度計、照度計、塵埃計、濁度計、光密度計、熱釋光量儀、輻射量熱計、掃描電鏡、生化分析儀等儀器設備中。第26頁/共75頁2、內光電效應及其光電器件

受光照物體(通常為半導體材料)電導率發(fā)生變化或產生光電動勢的效應稱為內光電效應。

內光電效應按其工作原理分為：光電導效應和光生伏特效應。

1)光電導效應

半導體材料受到光照時會產生電子-空穴對,使其導電性能增強,光線愈強，阻值愈低，這種光照后電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象,稱為光電導效應。基于這種效應的光電器件有光敏電阻、光敏二極管、光敏三極管。

①光敏電阻(光導管)：在黑暗的環(huán)境下,它的阻值很高,當受到光照并且光輻射能量足夠大時，使其導帶的電子和價帶的空穴增加,電阻率變小。光敏電阻常用的半導體材料有硫化鎘(CdS）和硒化鎘(CdSe)。第27頁/共75頁

光敏電阻在受到光的照射時，由于內光電效應使其導電性能增強，電阻RG值下降，所以流過負載電阻RL的電流及其兩端電壓也隨之變化。光線越強，電流越大。當光照停止時，光電效應消失，電阻恢復原值，因而可將光信號轉換為電信號。光敏電阻的光譜特性

使用不同材料制成的光敏電阻，有著不同的光譜特性。

對于不同波長的入射光，光敏電阻的相對靈敏度是不相同的。因此在選用光敏電阻時應當把元件和光源的種類結合起來考慮，才能獲得滿意的結果。

第28頁/共75頁光敏電阻的光電特性

在一定電壓作用下，光敏電阻的光電流I與照射光通量Φ的關系稱為光電特性。光敏電阻的光電特性具有非線性。

光敏電阻主要用于相機自動測光、室內光線控制、工業(yè)及光電控制、光控開關、光控燈以及電動玩具等。

因此不適宜做檢測元件，在自動控制中它常用做開關式光電傳感器。

第29頁/共75頁②光敏二極管和光敏三極管：光敏二極管光敏二極管又稱光電二極管，它與普通半導體二極管在結構上是類似的。

光敏二極管在電路中處于反向偏置，在沒有光照射時，反向電阻很大，反向電流很小，該反向電流稱之為暗電流。當光照射在PN結上，光子打在PN結附近，使PN結附近產生光生電子及光生空穴，因此使PN結的反向電流增大。第30頁/共75頁

光照特性

右圖是硅光敏二極管在小負載電阻下的光照特性。

光電流與照度成線性關系。所以適合檢測等方面的應用。

光譜特性

當入射波長＞900nm時，響應下降;當入射波長＜900nm時，響應也逐漸下降.硅光敏二極管光照特性第31頁/共75頁

光敏三極管光敏三極管的光譜特性

光敏三極管存在一個最佳靈敏度的峰值波長。當入射光的波長增加時，相對靈敏度要下降

光敏三極管是把光敏二極管產生的光電流進一步放大，它是具有更高靈敏度和響應速度的光敏傳感器。光敏三極管有PNP型和NPN型兩種。第32頁/共75頁

光敏三極管的光照特性

光敏三極管的輸出電流I和照度之間的關系。它們之間呈近似線性關系。當光照足夠大（幾千勒克斯）時，會出現(xiàn)飽和現(xiàn)象，從而使光敏三極管既可作線性轉換元件，也可作開關轉換元件。

光敏二極管、光敏三極管主要用于光電檢測、光電控制方面，如光電耦合器等。第33頁/共75頁

光電池是在光線照射下，直接能將光量轉變?yōu)殡妱觿莸墓怆娫?。實質上它就是電壓源。光電池的種類很多，有硒光電池、氧化亞銅光電池、硫化鎘光電池、鍺光電池、硅光電池、砷化鎵光電池等。硅光電池：

最廣泛，適合紅外波長硒光電池：適合可見光砷化鎵光電池：光譜響應與太陽光譜吻合，耐高溫，耐宇宙射線

光生伏特效應指半導體材料P-N結受到光照后產生一定方向的電動勢的效應。+++---PN光電池符號③光電池

第34頁/共75頁204060801000.40.60.81.01.20.2I/%12λ/μm光譜特性

光電池的光譜特性決定于材料。從曲線可看出，硒光電池在可見光譜范圍內有較高的靈敏度，峰值波長在540nm附近，適宜測可見光。硅光電池應用的范圍400nm—1100nm，峰值波長在850nm附近，因此硅光電池可以在很寬的范圍內應用。1——硒光電池2——硅光電池第35頁/共75頁L/klx

L/klx

5432100.10.20.30.40.5246810開路電壓Uoc

/V0.10.20.30.4

0.50.30.1012345Uoc/VIsc

/mAIsc/mA(a)硅光電池(b)硒光電池光照特性

開路電壓曲線：光生電動勢與照度之間的特性曲線，當照度為2000lx時趨向飽和。

短路電流曲線：光電流與照度之間的特性曲線開路電壓短路電流短路電流第36頁/共75頁

短路電流，指外接負載相對于光電池內阻而言是很小的。光電池在不同照度下，其內阻也不同，因而應選取適當?shù)耐饨迂撦d近似地滿足“短路”條件。下圖表示硒光電池在不同負載電阻時的光照特性。從圖中可以看出，負載電阻RL越小，光電流與強度的線性關系越好，且線性范圍越寬。02468100.10.20.30.40.5I/mAL/klx

50Ω100Ω1000Ω5000ΩRL=0

短路電流在很大范圍內與光強成線性關系。開路電壓隨光強變化是非線性的，并且當照度在2000lx時就趨于飽和了。因此把光電池作為測量元件時，應當作電流源的形式來使用，不宜用作電壓源。第37頁/共75頁3、光電傳感器的特點及應用

由于光電測量方法靈活多樣，可測參數(shù)眾多，又具有非接觸、高精度、高分辨率、高可靠性和響應快等優(yōu)點，加之激光光源、光柵、光學碼盤、CCD器件、光導纖維等的相繼出現(xiàn)和成功應用，使得光電傳感器在檢測和控制領域得到了廣泛的應用。

第38頁/共75頁指紋鎖門禁光電鼠標第39頁/共75頁料位自動控制電動扶梯自動啟停光電開關第40頁/共75頁光柵光纖光電管光敏電阻第41頁/共75頁

開孔圓盤旋轉一周，光敏元件輸出的電脈沖個數(shù)等于圓盤的開孔數(shù)。被測轉速

n=f/N式中n——轉速；

f——脈沖頻率；

N——圓盤開孔數(shù)。

脈沖式光電傳感器的作用方式是光電元件的輸出僅有兩種穩(wěn)定狀態(tài)，即“通”與“斷”的開關狀態(tài)。第42頁/共75頁220VC1路燈CJD-108V200μF200μFC2C3100μFR1R3R5R7R4R6R7R2470kΩ200kΩ10kΩ4.3kΩBG1280kΩ25kΩ57kΩ10kΩ路燈自動控制器BG2BG3BG42CRCJD-10第43頁/共75頁

霍爾式傳感器是磁敏元件傳感器，它是利用霍爾元件基于霍爾效應原理而將被測量轉換成電動勢輸出的一種傳感器。

一、磁電轉換元件------霍爾元件

金屬或半導體薄片置于磁場中，當有電流流過時，在垂直于電流和磁場的方向上將產生電動勢，這種物理現(xiàn)象稱為霍爾效應。

1、霍爾效應abcd5.3

霍爾傳感器第44頁/共75頁

當磁場垂直于薄片時，電子受到洛侖茲力的作用，向內側偏移，在半導體薄片c、d方向的端面之間建立起霍爾電勢?；魻栃菔镜?5頁/共75頁霍爾電勢VH與I、B的乘積成正比，而與d成反比。

—霍爾系數(shù)，由載流材料物理性質決定。μ—載流子遷移率,μ=v/E,即單位電場強度作用下載流子的平均速度。

金屬材料，電子μ很高但ρ很小，絕緣材料，ρ很高但μ很小。故為獲得較強霍爾效應，霍爾片全部采用半導體材料制成。q—電子電量ρ—材料電阻率第46頁/共75頁設KH=RH/d

KH—霍爾器件的乘積靈敏度。它與載流材料的物理性質和幾何尺寸有關，表示在單位磁感應強度和單位控制電流時霍爾電勢的大小。

若磁感應強度B的方向與霍爾器件的平面法線夾角為θ時，霍爾電勢應為：

VH＝KH

IB

VH＝KHIBcosθ

由上式可見，厚度d越小，霍爾靈敏度KH

越大，所以霍爾元件做的較薄，通常近似1微米。第47頁/共75頁2、霍爾元件

基于霍爾效應工作的半導體器件稱為霍爾元件，霍爾元件多采用N型半導體材料。目前最常用的霍爾元件材料有鍺(Ge)、硅(Si)、銻化銦(InSb)、砷化銦(InAs)等半導體材料。

薄膜霍爾元件厚度只有1μm左右。霍爾元件由霍爾片、四根引線和殼體組成。第48頁/共75頁控制電流I；霍爾電勢VH；控制電壓V；霍爾負載電阻R3；霍爾電流IH。

霍爾輸出端接負載R3,R3可是一般電阻或放大器的輸入電阻、或表頭內阻等。磁場B垂直通過霍爾器件,在磁場與控制電流作用下，由負載上獲得電壓。VHR3VBIEIH霍爾器件的基本電路R

實際使用時,器件輸入信號可以是I或B，或者IB,而輸出可以正比于I或B,或者正比于其乘積IB。第49頁/共75頁3、特點及應用實例

霍爾元件在靜止狀態(tài)下，具有感受磁場的獨特能力，結構簡單、體積小、無觸點、頻帶寬，動態(tài)性能好以及壽命長。第50頁/共75頁測轉速：第51頁/共75頁SN線性霍爾磁鐵

在被測轉速的轉軸上安裝一個齒盤，也可選取機械系統(tǒng)中的一個齒輪，將線性型霍爾器件及磁路系統(tǒng)靠近齒盤。齒盤的轉動使磁路的磁阻隨氣隙的改變而周期性地變化，霍爾器件輸出的微小脈沖信號經隔直、放大、整形后可以確定被測物的轉速?；魻栟D速表第52頁/共75頁n=60f4(r/min)軟鐵分流翼片

開關型霍爾IC

T霍爾式接近開關用于轉速測量演示第53頁/共75頁第54頁/共75頁鐵磁材料裂紋檢測

NS第55頁/共75頁霍爾效應鋼絲斷絲檢測裝置1—鋼絲繩2—霍爾元件3—永久磁鐵第56頁/共75頁汽車速度測量:第57頁/共75頁一、熱電效應

將兩種不同材料的導體A和B串接成一個閉合回路，當兩個接點溫度不同時，在回路中就會產生熱電勢，形成電流，此現(xiàn)象稱為熱電效應。熱電極測量端工作端熱端參考端自由端冷端

5.4熱電偶傳感器第58頁/共75頁回路總電勢：T0TeAB(T)eAB(T0)eA(T,T0)eB(T,T0)ABNAT、NAT0——導體A在結點溫度為T和T0時的電子密度；NBT、NBT0——導體B在結點溫度為T和T0時的電子密度；σA

、σB——導體A和B的湯姆遜系數(shù)。

接觸電動勢（不同導體）（主要）熱電勢溫差電動勢（同一導體）第59頁/共75頁

導體材料確定后，熱電勢的大小只與熱電偶兩端的溫度有關。如果使EAB(T0)=常數(shù)，則回路熱電勢EAB(T，T0)就只與溫度T有關，而且是T的單值函數(shù)，這就是利用熱電偶測溫的原理。

熱電偶回路熱電勢只與組成熱電偶的材料及兩端溫度有關；與熱電偶的長度、粗細無關。若電極材料確定，冷端溫度保持恒定，此時EAB(T,T0)=f(T)第60頁/共75頁

由一種均質導體組成的閉合回路，不論其導體是否存在溫度梯度，回路中沒有電流(即不產生電動勢)；反之，如果有電流流動，此材料則一定是非均質的，即熱電偶必須采用兩種不同材料作為電極。①均質導體定律②中間導體定律

一個由幾種不同導體材料連接成的閉合回路，只要它們彼此連接的接點溫度相同，則此回路各接點產生的熱電勢的代數(shù)和為零。

在熱電偶回路中接入第三種材料的導體，只要其兩端的溫度相等，該導體的接入就不會影響熱電偶回路的總熱電動勢。TT0V二、熱電偶測溫基本定律第61頁/共75頁③中間溫度定律

如果不同的兩種導體材料組成熱電偶回路,其接點溫度分別為T1、T2(如圖所示)時,則其熱電勢為EAB(T1,T2)；當接點溫度為T2、T3時，其熱電勢為EAB(T2,T3)；當接點溫度為T1、T3時，其熱電勢為EAB(T1,T3)，則BBAT2T1

T3

AAB

EAB（T1,T3）=EAB（T1,T2）+EAB（T2,T3）第62頁/共75頁④標準電極定律

如果已知熱電偶的兩個電極A、B分別與另一電極C組成的熱電偶的熱電勢為EAC(T,T0)和EBC(T,T0)，則在相同接點溫度(T,T0)下，由A、B電極組成的熱電偶的熱電勢EAB(T,T0)為

EAB(T,T0)=EAC(T,T0)-EBC(T,T0)C稱為標準電極由于鉑的物理、化學性質穩(wěn)定，熔點高、易提純，人們多采用鉑作為標準電極。

標準電極定律為熱電偶電極的選配提供了方便。第63頁/共75頁

標準化熱電偶指已大量生產和使用，工藝穩(wěn)定，性能符合專業(yè)標準或國家標準，具有統(tǒng)一分度表的熱電偶。

8種標準化熱電偶型號標志

材料

使用溫度℃S鉑銠10—鉑-50～1768R鉑銠13—鉑-50～1768B鉑銠30—鉑銠660～1820K鎳鉻—鎳硅-270～1372N鎳鉻硅—鎳硅-270～1300E鎳鉻—

銅鎳合金（康銅）-270～1000J鐵—銅鎳合金（康銅）-210～1200T銅—銅鎳合金（康銅）-270～400分度表：t0=0℃時，不同t時的熱電勢（mv級）表三、標準化熱電偶

按照工業(yè)標準，熱電偶可分為標準化熱電偶和非標準化熱電偶。第64頁/共75頁e(t,0℃)=e(t,t0)+e(t0,0℃)第65頁/共75頁第66頁/共75頁

冷端溫度補償方法冰點槽法計算修正法補正系數(shù)法零點遷移法冷端補償器法軟件處理法四、冷端處理及補償

熱電偶熱電勢的大小是熱端溫度和冷端的函數(shù)差，為保證輸出熱電勢是被測溫度的單值函數(shù)，必須使冷端溫度保持恒定；熱電偶分度表給出的熱電勢是以冷端溫度0℃為依據(jù)，否則會產生誤差。熱電極測量端參考端第67頁/共75頁

把熱電偶的參考端置于冰水混合物容器里，使T0=0℃。這種辦法僅限于科學實驗中使用。為了避免冰水導電引起兩個連接點短路，必須把連接點分別置于兩個玻璃試管里，浸入同一冰點槽，使相互絕緣。mVABA’B’TCC’儀表銅導線試管補償導線熱電偶冰點槽冰水溶液T0冰點槽法第68頁/共75頁

用普通室溫計算出參考端實際溫度TH，利用公式計算例：用銅-康銅熱電偶測某一溫度T，參考端在室溫環(huán)境TH中，測得熱電動勢EAB(T，TH)=1.999mV，又用室溫計測出TH=21℃,查此種熱電偶的分度表可知，EAB(21,0)=0.832mV，故得EAB(T，0)=EAB(T，21)+EAB(21，T0)=1.999+0.832=2.831(mV)

再次查分度表，與2.831mV對應的熱端溫度T=68℃。EAB(T,T0)=EAB(T,TH)+EAB(TH,T0)計算修正法第69頁/共75頁

把參考端實際溫度TH乘上系數(shù)k，加到由EAB(T