GB/T 33523.603-2022產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第603部分：非接觸(相移干涉顯微)式儀器的標(biāo)稱特性

ICS1704020

CCSJ0.4.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T33523603—2022/ISO25178-6032013

.:

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范GPS

()

表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法

第603部分非接觸相移干涉顯微式

:()

儀器的標(biāo)稱特性

GeometricalroductsecificationsGPS—SurfacetextureAreal—

pp():

Part603Nominalcharacteristicsofnon-contacthase-shiftininterferometric

:(pg

microscoinstruments

py)

ISO25178-6032013IDT

(:,)

2022-12-30發(fā)布2023-04-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T33523603—2022/ISO25178-6032013

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

影響量的描述

4……………11

附錄資料性相移干涉顯微鏡的組件

A()(PSI)………14

附錄資料性相移干涉顯微鏡的工作原理

B()(PSI)…………………15

附錄資料性相移干涉顯微鏡的誤差和修正

C()(PSI)………………18

附錄資料性與矩陣模型的關(guān)系

D()GPS……………21

參考文獻(xiàn)

……………………22

Ⅰ

GB/T33523603—2022/ISO25178-6032013

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法的第部分

GB/T33523《(GPS)》603。GB/T33523

已經(jīng)發(fā)布了以下部分

:

第部分表面結(jié)構(gòu)的表示法

———1:;

第部分術(shù)語(yǔ)定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)

———2:、;

第部分規(guī)范操作集

———3:;

第部分表面結(jié)構(gòu)測(cè)量方法的分類

———6:;

第部分實(shí)物測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

———70:;

第部分軟件測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

———71:;

第部分文件格式

———72:XMLx3p;

第部分接觸觸針式儀器的標(biāo)稱特性

———601:();

第部分非接觸共聚焦色差探針式儀器的標(biāo)稱特性

———602:();

第部分非接觸相移干涉顯微式儀器的標(biāo)稱特性

———603:();

第部分非接觸相干掃描干涉式儀器的標(biāo)稱特性

———604:();

第部分非接觸點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦探針式儀器的標(biāo)稱特性

———605:();

第部分非接觸變焦式儀器的標(biāo)稱特性

———606:();

第部分接觸觸針式儀器的校準(zhǔn)與測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

———701:()。

本文件等同采用產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第部

ISO25178-603:2013《(GPS)603

分非接觸相移干涉顯微式儀器的標(biāo)稱特性

:()》。

本文件增加了規(guī)范性引用文件一章

“”。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC240)。

本文件起草單位清華大學(xué)山東大學(xué)深圳市中圖儀器股份有限公司哈爾濱工業(yè)大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)

:、、、、

力促進(jìn)中心有限公司中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院廣州計(jì)量檢測(cè)技術(shù)研究院中機(jī)研標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院北京

、、、()

有限公司

。

本文件主要起草人尉昊赟閆鵬馬俊杰劉儉施玉書代鯤鵬朱悅

:、、、、、、。

Ⅲ

GB/T33523603—2022/ISO25178-6032013

.:

引言

隨著國(guó)家產(chǎn)品質(zhì)量提升計(jì)劃的實(shí)施對(duì)產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造測(cè)量和檢驗(yàn)過程中使用的統(tǒng)一規(guī)范或原則

,、、

的需求越來越迫切原有產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范中表面結(jié)構(gòu)的表示方法及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)已不能滿足產(chǎn)品制造過

。

程中的表面質(zhì)量控制要求

。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法基于新一代產(chǎn)品幾何規(guī)范體

GB/T33523《(GPS)》GPS

系通過數(shù)字化測(cè)量技術(shù)軟件分析技術(shù)及計(jì)量評(píng)定等手段構(gòu)建一套全新的三維表面結(jié)構(gòu)測(cè)量與分析

,、,

的推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)在提出表面結(jié)構(gòu)表示法表面結(jié)構(gòu)參數(shù)及規(guī)范操作集的基礎(chǔ)上分析

。GB/T33523、,

了表面結(jié)構(gòu)測(cè)量的方法給出了使用的測(cè)量技術(shù)及儀器的標(biāo)稱特性特別是在涵蓋接觸

,。,GB/T33523

式測(cè)量?jī)x器的同時(shí)重點(diǎn)引入了在高精度測(cè)量應(yīng)用中具有重要價(jià)值但缺乏標(biāo)準(zhǔn)支撐的多種非接觸式測(cè)

,

量?jī)x器標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)范了實(shí)物測(cè)量和軟件測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)給出了軟件文件標(biāo)準(zhǔn)和表面結(jié)構(gòu)測(cè)量的計(jì)量特性

。,。

實(shí)現(xiàn)了從二維輪廓測(cè)量到三維表面結(jié)構(gòu)測(cè)量的跨越為產(chǎn)品幾何規(guī)范體系提供了計(jì)

GB/T33523,GPS

量測(cè)試支撐

。

擬由個(gè)部分構(gòu)成

GB/T3352314。

第部分表面結(jié)構(gòu)的表示法目的在于規(guī)定產(chǎn)品技術(shù)文件例如圖紙規(guī)范合同和報(bào)告中

———1:。(、、)

利用圖形符號(hào)表示區(qū)域表面結(jié)構(gòu)的規(guī)則

。

第部分術(shù)語(yǔ)定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)目的在于規(guī)定用區(qū)域法評(píng)定表面結(jié)構(gòu)的術(shù)語(yǔ)定義和

———2:、。、

參數(shù)

。

第部分規(guī)范操作集目的在于規(guī)定適用于區(qū)域法評(píng)定表面結(jié)構(gòu)尺度限定表面的完整規(guī)

———3:。()

范操作集

。

第部分表面結(jié)構(gòu)測(cè)量方法的分類目的在于規(guī)定主要用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量方法的分類體系

———6:。,

定義三類方法描述三類方法之間的關(guān)系并對(duì)具體方法做簡(jiǎn)要說明

,,。

第部分實(shí)物測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)目的在于規(guī)定用于定期驗(yàn)證和調(diào)整區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)測(cè)量?jī)x器的實(shí)

———70:。

物測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的特性

。

第部分軟件測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)目的在于規(guī)定用于測(cè)量?jī)x器軟件校驗(yàn)的型和型軟件測(cè)量標(biāo)

———71:。S1S2

準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)具的術(shù)語(yǔ)定義

()。

第部分文件格式目的在于規(guī)定用于存儲(chǔ)和交換形貌及輪廓數(shù)據(jù)的文件

———72:XMLx3p。XML

格式

x3p。

第部分接觸觸針式儀器的標(biāo)稱特性目的在于規(guī)定表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法接觸觸針式儀

———601:()。()

器的標(biāo)稱特性

。

第部分非接觸共聚焦色差探針式儀器的標(biāo)稱特性目的在于規(guī)定使用基于白光軸向

———602:()。

色散特性的共聚焦色差探針測(cè)量表面結(jié)構(gòu)的非接觸式儀器的設(shè)計(jì)與計(jì)量特性

。

第部分非接觸相移干涉顯微式儀器的標(biāo)稱特性目的在于規(guī)定相移干涉法輪廓

———603:()。(PSI)

和區(qū)域表面結(jié)構(gòu)測(cè)量顯微鏡的計(jì)量特性

。

第部分非接觸相干掃描干涉式儀器的標(biāo)稱特性目的在于規(guī)定用于表面高度三維映

———604:()。

射的相干掃描干涉測(cè)量系統(tǒng)的計(jì)量特性

(CSI)。

第部分非接觸點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦探針式儀器的標(biāo)稱特性目的在于規(guī)定使用點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦探

———605:()。

針測(cè)量表面結(jié)構(gòu)的非接觸式儀器的計(jì)量特性

。

第部分非接觸變焦式儀器的標(biāo)稱特性目的在于規(guī)定使用變焦傳感器測(cè)量表面

———606:()。(FV)

結(jié)構(gòu)的非接觸式儀器的設(shè)計(jì)與計(jì)量特性

。

Ⅳ

GB/T33523603—2022/ISO25178-6032013

.:

第部分接觸觸針式儀器的校準(zhǔn)與測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)目的在于規(guī)定區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)接觸觸

———701:()。(

針式儀器用作測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)物量具的特性殘余誤差的評(píng)定方法校準(zhǔn)驗(yàn)收和周期檢定的檢

),,、

測(cè)方法

。

Ⅴ

GB/T33523603—2022/ISO25178-6032013

.:

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范GPS

()

表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法

第603部分非接觸相移干涉顯微式

:()

儀器的標(biāo)稱特性

1范圍

本文件規(guī)定了相移干涉法輪廓和區(qū)域表面結(jié)構(gòu)測(cè)量顯微鏡的計(jì)量特性

(PSI)