化學(xué)氣相沉積法的原理_第1頁(yè)
化學(xué)氣相沉積法的原理_第2頁(yè)
化學(xué)氣相沉積法的原理_第3頁(yè)
化學(xué)氣相沉積法的原理_第4頁(yè)
化學(xué)氣相沉積法的原理_第5頁(yè)
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人工寶石及寶石優(yōu)化處理教育部職業(yè)教育寶玉石鑒定與加工專業(yè)教學(xué)資源庫(kù)GemsandJadeIdentificationandProcessingTeachingResourceLibrary化學(xué)氣相沉積法的原理化學(xué)氣相沉積法的原理CVD的機(jī)理是復(fù)雜的，那是由于反應(yīng)氣體中不同化學(xué)物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)和向基片的析出是同時(shí)發(fā)生的緣故?；具^(guò)程:通過(guò)賦予原料氣體以不同的能量使其產(chǎn)生各種化學(xué)反應(yīng)，在基片上析出非揮發(fā)性的反應(yīng)產(chǎn)物。化學(xué)氣相沉積法的原理圖3.14表示從TiCI4+CH4+H2的混合氣體析出TiC過(guò)程的模式圖。如圖所示，在CVD中的析出過(guò)程可以理解如下:化學(xué)氣相沉積法的原理圖片來(lái)源-----百度文庫(kù)化學(xué)氣相沉積法的原理①原料氣體向基片表面擴(kuò)散;②原料氣體吸附到基片;③吸附在基片上的化學(xué)物質(zhì)的表面反應(yīng);④析出顆粒在表面的擴(kuò)散;⑤產(chǎn)物從氣相分離;⑥從產(chǎn)物析出區(qū)向塊狀固體的擴(kuò)散。CVD的化學(xué)反應(yīng)必須發(fā)生在基體材料和氣相間的擴(kuò)散層中。謝謝觀看！

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