防靜電標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

版本版本更改內(nèi)容生效日期A/02010-7-15部門會(huì)簽狀態(tài)部門會(huì)簽狀態(tài)編制/審核/批準(zhǔn)/會(huì)簽記錄：部門會(huì)簽狀態(tài)部門會(huì)簽狀態(tài)分發(fā)單位：■檢測中心文件控制印章目的：為公司產(chǎn)品在設(shè)計(jì)、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)提供明確可靠的ESD技術(shù)支持，從整體上提高公司靜電防護(hù)和控制水平，提高客戶的滿意度。適用范圍采用客戶要求。職責(zé)各部門主管負(fù)責(zé)本部門工作區(qū)域、生產(chǎn)制造過程中的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。和記錄以及所有相關(guān)記錄的保存，監(jiān)督公司的防靜電措施要求和標(biāo)準(zhǔn)的執(zhí)行狀況。工程技術(shù)部負(fù)責(zé)制定公司的防靜電措施要求和標(biāo)準(zhǔn)。目錄：靜電敏感區(qū)域的界定。靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范。靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范。靜電敏感區(qū)域的防靜電操作方法規(guī)范。靜電防護(hù)作業(yè)管理指導(dǎo)。附錄A ESD相關(guān)術(shù)語。附錄B 常用的防靜電標(biāo)志。附錄C 部分靜電敏感器件的靜電敏感電壓。附錄D 引用的標(biāo)準(zhǔn)及參考文獻(xiàn)。附錄E 相關(guān)記錄。附錄F 版本修訂歷史記錄。靜電敏感區(qū)域的界定：靜電敏感區(qū)域確定：ESD敏感器件的生產(chǎn)區(qū)域 生產(chǎn)線等。ESD敏感器件的前加工區(qū)域 前加工房。ESD敏感器件的貯存區(qū)域 庫房和在線庫。ESD敏感器件的返修區(qū)域 返修區(qū)及返修工位。ESD敏感器件的老化區(qū)域 老化房。公司的靜電敏感器件：MOSMOSFETTTLAMP如PROMEPROMSRAMDRAMFLASHCPU微處理器及各種BGA各種二極管、三極管、各種半導(dǎo)體開關(guān)元件。各種厚膜和薄膜電阻，鉭電解電容。SAW—聲表面波器件。石英、晶振體器件。以上元器件組裝的PCBA靜電敏感區(qū)域的標(biāo)識：靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限應(yīng)該用黃黑相間的斜條紋來標(biāo)線條寬度為5~10CM這兩種斜條 紋是專用來標(biāo)識靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限不可作為其它標(biāo)識用。GJB1649的規(guī)定。如圖A:顯且不易受到磨損的地方。如圖B:經(jīng)過防靜電液處理的物品和場所也應(yīng)有防靜電標(biāo)志。如圖C:圖C靜電敏感區(qū)域警示標(biāo)志黃黑相間的斜條

圖A 防靜電標(biāo)志 圖BESSDESSD設(shè)備的外部端口標(biāo)志應(yīng)符合GJB16495.8.3整機(jī)包裝標(biāo)志應(yīng)符合GJB16495.10交付文件標(biāo)志應(yīng)符合GJB16495.9.1靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范原則:抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生安全、迅速、有效的消除已產(chǎn)生的靜電荷100V。防靜電區(qū)域應(yīng)標(biāo)明區(qū)域界限并在明顯處懸掛警示標(biāo)志。表一類別工作臺表面地板工作鞋、帽、鞋操作工具及設(shè)備防靜電工程環(huán)境的要求：

電荷源塑料及普通地板革、拋光打蠟?zāi)镜匕?、普通乙烯樹脂普通滌綸、合成纖維及尼龍面料、塑料及普通膠第鞋普通塑料盒、架、瓶、盤用品及紙制品、普通泡沫及一般電動(dòng)工具、壓縮機(jī)、噴射設(shè)備、蒸發(fā)設(shè)備等15304575低值。采取的改善措施應(yīng)予以記錄。每月的溫濕度儀記錄的測試結(jié)果由測試部歸類保存。為有效地使人體靜電能通過地板盡快泄漏到大地，除操作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外,其先決條Ω)表二地坪材料名稱泄漏電阻地坪材料名稱泄漏電阻石104~109瀝青1011~1013混凝土105~1010聚氯乙烯(貼面)1012~1015一般涂刷地面109~1012導(dǎo)電性水磨石105~107橡膠109~1013導(dǎo)電性橡膠104~108木、木膠合板1010~1013導(dǎo)電性聚氯乙烯107~1011當(dāng)采用地板下布線方式可鋪設(shè)防靜電活動(dòng)地板表面電阻及系統(tǒng)電阻均為1×105Ω ~1×109Ω。當(dāng)采用架空布線方式,應(yīng)采用靜電耗散材料做為鋪墊材料。鋪設(shè)后地板上表面電阻及任一點(diǎn)與地間的系統(tǒng)電阻值均為1×105Ω ~1×109Ω。如果靜電敏感區(qū)域內(nèi)的地板是普通地,則應(yīng)在普通地板上鋪設(shè)防靜電地墊并要有效接地鋪設(shè)后地上表面電阻及任一點(diǎn)與地之間的系統(tǒng)電阻值也為1×105Ω ~1×109Ω。禁止直接使用木質(zhì)地板或鋪設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板革。檢查對象：防靜電地板。4)檢查標(biāo)準(zhǔn)：0.10Kv,5X104Ω ~109Ω和1×105Ω口~1×1010Ω口。檢查儀器：靜電壓表，萬用表和兆歐表。30%時(shí)，應(yīng)增加測量泄漏電阻的次數(shù)當(dāng)電阻比較大時(shí)可撒少量的水。當(dāng)?shù)匕迳细街薪^緣性的油膜、樹脂、橡膠和臟污時(shí)，應(yīng)根據(jù)情況定期清除。清防靜電地板時(shí)不得使用絕緣性的地板臘。 下:線上，不得與防雷地線共用。100mm26mm線采用截面積應(yīng)不小于1.25mm2的敷朔導(dǎo)線，并以黃綠色為宜。

，設(shè)備和工作臺的接地防靜電設(shè)備的連接端子應(yīng)確保接觸可靠，易裝拆，允許使用各種夾式連接器，如鱷魚夾，插頭座等。接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護(hù)接地電阻應(yīng)小于4Ω。接觸密度要高，接觸要緊。埋設(shè)地線的注意事項(xiàng)：接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，引線不要過長。要采用耐腐蝕的接地體金屬。要保持接地體附近土質(zhì)的質(zhì)量，并不斷采取措施防止接地電阻變大。防靜電地線要與工作地線分開埋設(shè)。防靜電地線必須是永久性的。①從專門埋設(shè)的地線接地體引出的接地線，單獨(dú)敷設(shè)到生產(chǎn)線的防靜電作業(yè)崗位單獨(dú)敷設(shè)的接地導(dǎo)線3mm25mm4~6(mm2程上稱為“一點(diǎn)引出電阻隔離4Ω。接地線的定期檢查：檢查對象：所有的接地線及接地端口。檢查儀器：萬用表和接地電阻測試儀。檢查頻率：①接地性能應(yīng)每周檢查一次。②ESD桌墊、ESD地墊、周轉(zhuǎn)車、周轉(zhuǎn)架和防靜電環(huán)等設(shè)施的防靜電連接線應(yīng)每月檢查一次。③每個(gè)通用接地點(diǎn)對地的接地性能每6個(gè)月檢查一次。檢查標(biāo)準(zhǔn)：①每周檢查的標(biāo)準(zhǔn)：小于4歐。②每月檢查的標(biāo)準(zhǔn)~1.1×106Ω。③64接地線的定期維護(hù)：對于檢查不過關(guān)的接地線必須采取措施及時(shí)解決。確保接地線有效接地。對于生銹的或接觸不好的接地線要及時(shí)更換。對于松動(dòng)的接地線要重新連接。按接地線相關(guān)規(guī)定進(jìn)行維護(hù)。靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范人員都應(yīng)接受防靜電知識培訓(xùn),這既是對每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。所有新員工在接受入廠培訓(xùn)時(shí)，必須接受ESD知識的培訓(xùn)。課程包括至少2小時(shí)的理論知識培訓(xùn)和簡要講解本規(guī)范內(nèi)容。培訓(xùn)結(jié)束后，由人力資源部組織ESD所有在職工人和ESDPE2ESD知識再培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括介紹ESD的新技術(shù)，新規(guī)范等。在靜電敏感區(qū)域內(nèi)工作的生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸(包括靜電感應(yīng))的作業(yè)人員,必須接受ESD不合格者不得安排在有防靜電要求的崗位工作。工藝人員必須接受并通過ESDESDESSDESDESSD識,嚴(yán)格遵守物料或產(chǎn)品在采購和運(yùn)輸過程中靜電防護(hù)的規(guī)范。倉儲,轉(zhuǎn)運(yùn)人員必須接受ESD基本知識培訓(xùn),懂得在儲存和轉(zhuǎn)運(yùn)過程中防護(hù)ESSD放操作要求。ESD專業(yè)知識培訓(xùn),熟練掌握ESSD的檢測知識和防靜電器件的檢測方法,嚴(yán)格按設(shè)計(jì)技術(shù)文件要求和工藝規(guī)程進(jìn)行檢驗(yàn)和試驗(yàn)。設(shè)備部負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線的人員,應(yīng)接受較為專業(yè)的ESD知識培訓(xùn),熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求,掌握地樁、地線、及其它防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。生產(chǎn)管理人員應(yīng)了解ESD開展對生產(chǎn)員工的靜電防護(hù)日常教育。計(jì)量部門也應(yīng)了解ESD基本知識,尤其是關(guān)于防靜電儀器的校驗(yàn)知識,要定期調(diào)校防靜電檢測器材保證其安全、有效。人體靜電防護(hù)系統(tǒng)：防靜電工作服：等。防靜電工作服主要用來泄放人體高絕緣性能的服裝所產(chǎn)生的靜電或減少人體靜電產(chǎn)生。技術(shù)指標(biāo)帶電量耐洗滌時(shí)間

A級＜0.6μC/≥33.0h

B級＜0.6μ C/≥16.5h

實(shí)驗(yàn)方法按GB12014-89附錄A按GB12014-89附錄B所選用面料的主要性能參數(shù)如下所示:等級指標(biāo) A B C D項(xiàng)目表面電荷密度(μC/㎡)表面電阻(Ω)靜電半衰期(S)摩擦靜電壓(V)

≤1.0≤105≤0.1≤100

≤3.0≤107≤0.5≤250

≤5.0≤109≤1.6≤400

≤7.0≤1011≤4.0≤600①應(yīng)根據(jù)所制造或操作的ESSD②工作服。③子產(chǎn)品裝聯(lián)車間或?qū)嶒?yàn)室，作業(yè)人員必須穿連體衣，同時(shí)還需戴上口罩、手套。④防靜電衣必須在更衣室更換,不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣。⑤禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關(guān)的金屬物品或裝飾品。⑥不能把非防靜電衣的衣領(lǐng)翻出蓋住防靜電衣的衣領(lǐng)防靜電衣的拉鏈拉滿后,須將上下兩顆扣子均扣裝飾物品露出防靜電衣外。⑦防靜電大褂衣和夾克衣,應(yīng)保持清潔,工作服的洗滌應(yīng)盡量采用簡易方法進(jìn)行,要避免受到較強(qiáng)的機(jī)械和化學(xué)操作的洗滌。⑧防靜電工作服應(yīng)在首次穿用前作防靜電性能檢測,只有測試合格方可投入使用，穿用一定時(shí)期后應(yīng)對其防靜電性能進(jìn)行復(fù)測,防靜電大褂衣和夾克衣每半年應(yīng)做一次防靜電特性復(fù)測,對于檢測不過關(guān)的防靜電大褂衣和夾克衣應(yīng)停止使用,更換新的。⑨ESD5％22磨擦防靜電衣的同一部位4～5秒，然后用靜電場表測試被磨擦部位的靜電電壓，數(shù)值小于等于0.1kv4106-109ohm0.1面電阻率這兩個(gè)指標(biāo)。①檢測指標(biāo)：表面電阻率和摩擦靜電壓。②檢測標(biāo)準(zhǔn)：1*1061*109Ω/0.1Kv。確佩戴，帽沿朝前頭發(fā)不能露出防靜電帽外后腦部分的短細(xì)的頭發(fā)不能超過防靜電衣領(lǐng)外。①將轉(zhuǎn)換開關(guān)拔到左邊“FOOT”檔,雙腳站在白色不銹鋼腳板區(qū)域,如下圖一。按住“PRESSTEST”鍵,此時(shí),左邊(LEFT)指示即為左腳穿上鞋后的對地電阻,右邊(RIGHT)指示為右腳穿上鞋后圖一圖二②新的。③檢測指標(biāo)：體積電阻率和摩擦靜電壓。④檢測標(biāo)準(zhǔn)：0.5*105—1*108Ω 和0.10kv。⑤檢測儀器：體積電阻率—兆歐表,摩擦靜電壓—靜電電壓表。防靜電鞋的使用要求：① 為使人體有效接地、防止人體和鞋本身帶電，并保證操作者因意外接觸高電壓時(shí)不與防靜電衣配套使用，同時(shí)防靜電鞋底應(yīng)具有使人體與大地構(gòu)成回路的材料和結(jié)構(gòu)。② 膠片或其它涂料。防靜電手套或指套：MOS管等敏感器件的裝配工位，操作員工應(yīng)戴上防靜電手套或指套，防靜電手套或指套兼具防腐蝕的功能。在不便使用有繩防靜電腕帶的崗位，如流動(dòng)操作崗位，須使用防靜電手套。定期更換破，舊和臟的防靜電手套和指套。防靜電手套或指套的防靜電特性檢查請參照防靜電服的部分檢查方法。防靜電腕帶：由松緊圈和接地組件構(gòu)成。松緊圈的要求是體積電阻率≤100Ωcm者在觸及線電壓時(shí)流過人體的電流不大于5mA，100V。因?yàn)樗梢詫?shí)時(shí)監(jiān)控防靜電腕帶與人體皮膚是否實(shí)時(shí)導(dǎo)通，從而保證人體皮膚靜電能及時(shí)釋放掉。各分廠將靜電環(huán)測試儀放在廠房入口處，員工每天上班進(jìn)入車間時(shí)自行測試及做記錄，各分廠指定責(zé)任人監(jiān)督、檢查測試結(jié)果并在測試表的檢查人項(xiàng)目欄簽名確認(rèn)。品質(zhì)部QA在相應(yīng)分廠完成，倉庫及IQC① 員工進(jìn)入車間前應(yīng)首先佩戴好靜電環(huán)，然后將靜電環(huán)上的鍔魚夾夾住靜電測試儀的測試端，用手按下測試儀上的PUSHONOKLED亮)如靜LOLEDHILED”反之，畫“② 如有測試不良的靜電環(huán)，值班責(zé)任人必須對此靜電環(huán)重新確認(rèn)如經(jīng)過確認(rèn)后再合格測試部保存。③ 各線領(lǐng)班和生產(chǎn)主任應(yīng)確保本線員工在需要的崗位都正確佩戴好靜電環(huán)，不能松測一次，抽查人數(shù)為每條生產(chǎn)線總?cè)藬?shù)的10％，抽測結(jié)果記入靜電環(huán)抽查記錄中。進(jìn)入靜電敏感區(qū)域應(yīng)將防靜電環(huán)連接好，與皮膚完全接觸，保證防靜電環(huán)正常有效的工作。防靜電線的有效長度是2.5可折斷防靜電線，不可沖洗防靜電環(huán)，拔插時(shí)不可通過拉防靜電線來完成，不可在防靜電環(huán)金屬片上加水等，要注意正確使用和妥善保護(hù)好防靜電環(huán)。再拿靜電敏感器件ESSD,先放下靜電敏感器件ESSD，中要注意此順序，要養(yǎng)成這種習(xí)慣。防靜電環(huán)的防靜電連接線的檢查請參照7.3.6臨時(shí)或外來人員的防靜電管理：觸含有靜電敏感器件的在制品或成品。區(qū)域的有關(guān)規(guī)定。靜電敏感區(qū)域的防靜電操作規(guī)范所有的ESSD進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的所有電子元器件都應(yīng)視為ESSD貯存和運(yùn)輸ESSD拒絕接受未包裝在防靜電容器里的ESSD。所有用非ESD靜電中轉(zhuǎn)工具將其轉(zhuǎn)到靜電敏感區(qū)域。不允許在靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理非ESD的材料，不允許在非靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理未包裝的ESSD，不允許非ESD的材料與ESSD混放。進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜電環(huán)，腕帶必須與皮膚有良好接觸并將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng)中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或ESD地墊保持良好接觸，防靜電帽也必須按規(guī)定戴好。重要工位上應(yīng)配備腕帶監(jiān)控器，以隨時(shí)監(jiān)控腕帶是否處于正常狀態(tài)。不得隨意拆除和改變ESSDESSDESSD。ESSD，應(yīng)持其外殼兩端，嚴(yán)禁人手觸及其引腳或接線片，特別是空懸的輸入端。ESSD器件的引腳或接線片，特別是空懸的輸入端不可放在金屬桌面上，容易引起導(dǎo)通，短路等ESD事件，從損壞ESSD器件。ESSD時(shí)，尤其是MOSESSD得使用塑料刷。不具備防靜電功能的必備工具和用具，應(yīng)放在防靜電桌墊上，并應(yīng)置于離子風(fēng)機(jī)的作用范圍內(nèi)。操作時(shí)應(yīng)盡量減少對ESSD組裝電子設(shè)備時(shí)，如果需要使用電動(dòng)批，應(yīng)使用有接地線的低壓直流電動(dòng)批。在手工焊接時(shí)，應(yīng)采用防靜電低壓恒溫烙鐵。對GJB1649IESSD源插頭后進(jìn)行。禁止重復(fù)使用ESSDESSD原包裝標(biāo)識為靜電敏感的元件其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。ESSDESSD器件進(jìn)行二次包裝時(shí)可以在非ESD禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝ESSD在任何場合均不允許未采取防靜電措施的人員接觸ESSD靜電措施。運(yùn)輸ESSD產(chǎn)生的靜電。新布置的生產(chǎn)線或工位等都應(yīng)進(jìn)行ESDESD后，方可給生產(chǎn)線使用。新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電工具等都應(yīng)進(jìn)行ESD部分應(yīng)使用防靜電材料(體積電阻<109Ω),對非防靜電材料(表面電阻>1012Ω)應(yīng)采用靜電中和或涂抹防臺構(gòu)成圖:防靜電腕帶

1M歐

防靜電托盤/盒等

電離器1M歐1M歐

臺式工具/儀器防靜電椅

建筑地面

大地 公共接地點(diǎn)

防靜電地墊 防靜電臺墊其中各組成部分的主要技術(shù)要求如下:工作臺墊和地墊均應(yīng)采用防靜電材料。防靜電臺墊和地墊上任意一點(diǎn)的系統(tǒng)電阻和表面電阻均為：1X105Ω ~1X109Ω100V1S。防靜電腕帶的泄漏電阻為1X106Ω ~1X108Ω，靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于0.1S。100V。在元器件上及其它物體上的電荷積累。要求電離器對靜電電壓的消除能力大于250V/S。增濕器：當(dāng)相對濕度較低時(shí)，可恰當(dāng)?shù)氖褂迷鰸衿?，通過恒定的潮濕氣流,防止靜電荷積。但此方法不適于非密封電子元器件。操作時(shí)要注意因濕度增加而導(dǎo)致的有害影響。接地系統(tǒng)：包括限流電阻和連接端子，應(yīng)連接可靠，并具有一定的載流能力。限流電阻阻值的選擇1MΩ4Ω其地線可以作為防靜電地線。另外，工作臺面、地墊、其它ESD保護(hù)設(shè)施均應(yīng)通過限流電阻接至公共地線，腕帶應(yīng)通過工作臺頂面接地點(diǎn)與地線連接。工作臺不能相互串聯(lián)接地，而應(yīng)分別接地。工作臺的電氣要求:靜電源靜電電位泄放至100V以下的時(shí)間小于1S109ohm5mA,為此防靜電操作系統(tǒng)的的電阻下限為106ohm緣體上的靜電采用電離器中和加以消除。按照工作臺面的大小選擇所需的防靜電臺墊的尺寸。使用異丙基酒精清洗防靜電臺墊上表面和各組成構(gòu)件。將經(jīng)過以上準(zhǔn)備好的防靜電臺墊平整的鋪于工作臺面上。按操作人員的作業(yè)范圍、確定鋪放臺墊的面積。將工作臺置于防靜電地墊上。2mm21MΩ電阻后連接到地線配置系統(tǒng)上。1MΩ+\-10防靜電工作臺墊和地墊上任意一點(diǎn)與地線配置系統(tǒng)間的電阻為1X106~1X109Ω。接地電纜應(yīng)采用中間無接頭、且具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度。多臺防靜電工作臺的接地線不能相互串接。防靜電工作臺上的測試儀器、穩(wěn)壓電源、電動(dòng)工具、和電離器等所有外部零件表面、屏蔽面均應(yīng)接地對地線配置系統(tǒng)電阻值不大于2Ω壓電源盡可能遠(yuǎn)離工作臺。設(shè)備的金屬外殼能夠自動(dòng)接地且接地腳要首先接地，斷電時(shí)接地腳最后斷開。手工工具的絕緣把，應(yīng)定期用抗靜電劑處理，使其電阻值為1X106~1X108Ω。防靜電工作臺在日常使用中，必須確保正常接地狀態(tài)。應(yīng)放入防靜電文件袋中。250~500V0~1000MΩ的電阻值。和椅子靠背等。使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電臺墊和地墊。對所有建筑地板使用防靜電溶液進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。以上條款必須定期進(jìn)行監(jiān)測。使用接地電阻測試儀每半年檢測一次地線配置系統(tǒng)電阻值，必要時(shí)，在每批此產(chǎn)品投產(chǎn)前檢測一次。落地設(shè)備的防靜電技術(shù)要求:落地設(shè)備如SMT、波峰焊機(jī)、FTICT1.25mm2的敷塑導(dǎo)線，接地線顏色以黃綠色線為宜。4Ω。106~109Ω間),并通過導(dǎo)線或?qū)w與線體連自動(dòng)線體上按作業(yè)崗位需要，設(shè)置接地點(diǎn)，以便操作者能隨時(shí)連接防靜電腕帶。即在放置臺式設(shè)備的工作臺面上鋪設(shè)防靜電臺墊，并將臺墊有效接地。烙鐵等手持工具非電力線外殼部分應(yīng)實(shí)行硬接地防靜電烙鐵的絕緣電阻為1X107~1X108Ω24V低壓供電。防靜電真空吸錫器的泄漏電阻為1X105Ω。<0.5VAC,。檢查標(biāo)分別<0.5VAC,。檢查標(biāo)分別<0.1Kv,。 圖DD：工裝的防靜電技術(shù)要求：摩擦、碰撞等作用而產(chǎn)生、積累起很強(qiáng)的靜電諸如此類在工程中常用的丁基橡膠、ABS塑料、塑料、滌綸等材料都屬工裝慎用材料，對這些材料必須進(jìn)行防靜電處理或用防靜電材料取代。>11Ω則應(yīng)該采用靜電中和或涂抹防靜電涂液涂層等其他防護(hù)措施。防靜液噴涂作業(yè)要求：EPA(ESDPROTECTEDAREA)區(qū)域內(nèi)的個(gè)別夾具、工裝、工具等制作材料為非ESD替代也無法拿出EPA由生產(chǎn)部各工段指派專人對非ESD30ESD100VEPA內(nèi)的非ESD噴完防靜電液后,操作者與確認(rèn)人按附表5的格式進(jìn)行簽名此表格有效日期為一年，一年后撕毀并貼上新的表格進(jìn)行記錄。靜電敏感區(qū)域的防靜電器材規(guī)范：防靜電器材的技術(shù)要求：配置部位

元元 元

零單老轉(zhuǎn)整

整維外 包器器器計(jì)部板化運(yùn)機(jī)機(jī)修場裝件件件工件調(diào)機(jī)裝調(diào)維發(fā)配置項(xiàng)目暫檢庫藝裝測房配測修運(yùn)存驗(yàn)房實(shí)配防靜電器驗(yàn)材名稱室靜電元件存放架★★★★★★☆靜電標(biāo)示標(biāo)簽★★★★★★☆☆☆☆離子風(fēng)靜電消除器☆☆☆☆☆防靜電臺墊★★☆★☆★★☆★★☆★★☆★☆☆☆★★☆☆☆★☆防靜電地墊☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆防靜電工作鞋★★★☆★★★★★☆★☆★防靜電工作服★★★★★★★★★★★☆★工作手套★★★★★★★★★★★★★防靜電盒(袋)★★★★★★★☆★★★防靜電泡沫墊★★★☆★★★★★★★★☆★防靜電周轉(zhuǎn)箱★★★☆☆☆☆☆☆☆防靜電周轉(zhuǎn)車★★★☆★★★★★★抗靜電劑☆☆☆☆☆★☆防靜電文件袋防靜電維修包(箱)★★★★★★★★★★☆☆注:表中打★者表示必須配置項(xiàng)目，打☆者表示需要時(shí)配置項(xiàng)目或局部區(qū)域配置項(xiàng)目。項(xiàng)目防靜電器材表面電阻值單位:Ω體積電阻值單位:Ω電阻值摩擦電壓單位:V地墊工作臺墊工作臺面工作臺面對腕帶插孔電阻1X105—1X1091X106—1X1091X106—1X1091X105—1X1081X105—1X1081X105—1X108＜100＜100＜100工作椅面對腳輪電阻工作椅面與靠背電阻1X106—1X1081X106—1X1081X104—1X108＜100工作服﹑工作帽﹑手套工作鞋底0.5X105—108＜100＜100工位器具及物流傳遞工具包裝袋(盒)防靜電泡沫墊物流車臺面對車輪系統(tǒng)電阻1X103—1X1081X106—1X10101X106—1X10101X103—1X1071X105—1X1091X106—1X109＜100＜100＜100腕帶連接電纜電阻腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0.9-1.1M1M—10M0.5X105—1X108防靜電器材及其使用維護(hù)要求：防靜電臺墊：在操作ESSDESSD的端子、器具、儀表、人體等都處于同一電位，并通過適當(dāng)接地使靜電得以迅速泄放。一般的安裝方法是，在臺墊上裝設(shè)接地端子，用以連接腕帶，同時(shí)墊子通過適當(dāng)電阻接入接地母線。防靜電地墊地墊用于工作崗位不是位于防靜電地面上的情況。防靜電地墊可用防靜電橡膠制作，多使用地墊時(shí)必須附有保護(hù)電阻，以防止人體意外觸電。我們公司目前使用的防靜電墊，每6個(gè)月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)測試儀器是兆歐表或表面電阻表。工作椅：為全面控制人體靜電，操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能。不得使用普通人造革面或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防靜電椅。如果椅腿是非金屬材料或有絕緣套腳時(shí)，應(yīng)將防靜電椅面接地。我們公司目前使用的是導(dǎo)電型的防靜電椅，每6個(gè)月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)，測試儀器是兆歐表。防靜電包裝袋：在靜電敏感器件和印制板的包裝和儲存中，為避免物料與高絕緣包裝袋的摩擦而產(chǎn)ESD6個(gè)月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo),測試儀器是兆歐表。于傳遞和儲存ESSD允許使用金屬和普通塑料容器。必要時(shí)，存放部件用的周轉(zhuǎn)箱應(yīng)接地。我們公司目前使用的是耗散6防靜電周轉(zhuǎn)車：轉(zhuǎn)運(yùn)、暫存ESSDESSD6標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)，測試儀器是兆歐表。來防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累250V/s。消除絕緣材料表面的靜電荷應(yīng)使用離子靜電消除器。①300mm--900mm220VAC順時(shí)針旋轉(zhuǎn)風(fēng)速旋扭，此時(shí)紅色電源指示燈亮表示已啟動(dòng)離子風(fēng)扇,可根據(jù)實(shí)際需要調(diào)節(jié)風(fēng)速大小，當(dāng)將風(fēng)速旋扭調(diào)到'High'位時(shí)表示已達(dá)到最大風(fēng)速另外也可通過固定支架上指旋固定螺絲調(diào)整風(fēng)扇的傾斜角度。在使用過后應(yīng)將風(fēng)扇旋扭調(diào)置Off②維護(hù)保養(yǎng):前一定要先拔掉電源線，由測試部技工負(fù)責(zé)。③檢查指標(biāo):離子平衡電壓和靜電耗散時(shí)間。④檢查儀器:靜電消除器檢測儀(TREK156K)。⑤檢查頻率:每月一次。⑥檢查標(biāo)準(zhǔn):離子平衡電壓為+/-50V靜電耗散時(shí)間為10S(從1000V耗散到50V的時(shí)間)⑦靜電消除器檢測儀(TREK156K)圖例:其它 靜電消除器檢測儀①防靜電清洗液:在使用時(shí)，應(yīng)先與揮發(fā)性溶劑或水調(diào)配成0.1~0.250℃下干燥。②防靜電毛刷。地面對地極母線電阻5X104—1X109墻壁＜400窗簾＜400地墊1X105—1X1091X105—1X108＜100工作臺墊1X106—1X1091X105—1X108＜100工作臺面1X106—1X109＜100工作臺面對腕帶插孔電阻1X105—1X108工作臺面對地系統(tǒng)電阻1X106—1X108工作椅面對腳輪電阻1X106—1X108椅面與靠背電阻1X104—1X108＜100工作服、工作帽、手套＜100工作鞋底工位器具及物流傳遞工具1X103—1X1090.5*105—1X1081X103—1X108＜100＜100包裝袋(盒)1X106—1X10101X105—1X109＜100物流車臺面對車輪系統(tǒng)電阻1X106—1X109腕帶內(nèi)表面對電纜扣電阻＜20K腕帶連接電纜電阻0.9M—1.1M佩帶腕帶時(shí)的系統(tǒng)電阻1M~10M腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0.5*105—1X108人體綜合電阻1X106—1X108③防靜電海棉。④防靜電涂料。⑤防靜電鑷子⑥防靜電膠帶常用的檢測方法一般要求：SJ/T10533SJ/T。15℃~30℃,752.5級,均應(yīng)在計(jì)量檢定有效期內(nèi)。允許使用符合測試要求的類似儀表。測試技術(shù)指標(biāo)摩擦起電電壓測試：項(xiàng)目防靜電器材防靜電地極接地電阻地面

表面電阻值單位:Ω1X105—1X1010

體積電阻值單位:Ω

電阻值單位:Ω＜4

摩擦電壓單位:V＜100使用非接觸式靜電電壓表測量。地面：①按圖2所示,劃分測試網(wǎng)格。②按圖3所示,隨機(jī)選定測試點(diǎn)。圖3選定測試點(diǎn)③GB2828-874.8般檢查水平II,④以合格質(zhì)量水平(AQL)為6.5,決定抽樣樣本大小字碼,查表得出Ac、Re。按圖4所示,測試地面表面電阻。⑤(AQL10,決定抽樣樣本大小字碼,查表得出AcRe5面對地極母線電阻。極g地墊①按6a②按圖6b所示,測試體積電阻。工作臺①隨機(jī)選定測試點(diǎn),每個(gè)工作臺不得少于3點(diǎn)。②6a工③8工作椅：①隨機(jī)選定測試點(diǎn),每把工作椅不得少于5點(diǎn)。②按圖9所示測試椅面對腳輪的電阻。③按圖10所示,測試椅面與靠背間電阻。11128)8)物流車：按圖13所示,測試車臺面對車輪系統(tǒng)電阻。13測試車臺面對車輪系統(tǒng)電阻腕帶：②按圖15所示測試連接電纜系統(tǒng)電阻.①14所示測試腕帶內(nèi)表面對電纜扣電阻。②按圖15所示測試連接電纜系統(tǒng)電阻.③按圖16、17所示用腕帶測試儀或人體綜合電阻測試儀腕帶測試檔測試佩戴腕帶時(shí)系統(tǒng)電阻：人體綜合電阻：18電阻測試儀轉(zhuǎn)換開關(guān)撥到人體綜合電阻測試檔進(jìn)行測試人體綜合電阻。靜電防護(hù)作業(yè)管理指導(dǎo)防靜電臺墊、防靜電地墊、防靜電地板、防靜電工作臺、接地系統(tǒng)﹑防靜電工衣、防靜電鞋套、防/防靜電包裝袋、防靜電泡沫墊、防靜電劑、防靜電海綿、防靜電鑷子、防靜電毛刷、腕帶測試儀、表面電阻測試儀、靜電壓測試儀等。項(xiàng)目組根據(jù)產(chǎn)品的靜電敏感等級和客戶的要求,提出對生產(chǎn)場所溫度、濕度、防靜電設(shè)施的要求,由ESD工程師和設(shè)備部采取適當(dāng)措施予以保障。ESD程序。ESD產(chǎn)品的生產(chǎn)制造﹑(ESSD)產(chǎn)品，采用防靜電工具如防靜電烙鐵、(ESSD)產(chǎn)品等。帶防靜電指套、進(jìn)行離子風(fēng)浴等一種或多種防靜電措施接觸ESSD產(chǎn)品的其他人員也應(yīng)根據(jù)具體情況選擇上述一種或多種防靜電措施。減少和消除靜電荷：設(shè)備部門負(fù)責(zé)防靜電設(shè)施的正確的接地。測試部的ESD﹑抽測和測試。生產(chǎn)部門負(fù)責(zé)日常的自檢。防靜電委員會(huì)定期的抽查和評審。研發(fā)部門應(yīng)提高產(chǎn)品自身的抗靜電能力,對于ESSD計(jì),如在必要時(shí)對敏感部件和敏感器件采用靜電屏蔽措施等。有效,測試部的ESD生產(chǎn)部門嚴(yán)格按相關(guān)的ESD測試部ESD測試部ESD測試部ESD組﹑PE操作程序。ESD電作業(yè)場所、工作區(qū)作出靜電敏感的特別標(biāo)識對關(guān)鍵控制部位必要時(shí)應(yīng)設(shè)靜電電壓超限報(bào)警裝置,以提醒員工做適當(dāng)?shù)奶幚怼SSD,IQCIQC測試部ESDA:ESD本部分規(guī)定了本規(guī)范中所使用到的各類ESD電學(xué)、靜電學(xué)基本概念靜電 ElectrostaticStaticElectricity靜電場 ElectrostaticField荷施以作用力。且不隨時(shí)間而改變。靜電位ElectrostaticPotential靜電感應(yīng)ElectrostaticInduction在靜電場響下引起物體上電荷重新分布的現(xiàn)象。電阻率Resistivity表征材料導(dǎo)電性能的物理量。其侄數(shù)為電導(dǎo)率。靜電起電、靜電積聚和靜電消散(靜電)起電(Electrostatic)Electrification使電介質(zhì)或絕緣導(dǎo)體產(chǎn)生靜電荷的過程。摩擦起電 Triboelectrification用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號電荷的過程。沖流起流動(dòng)起) StreamingElectrification液體類物質(zhì)與固體類物質(zhì)接觸,在接觸界面形成整體為電中性的偶電層。當(dāng)此兩物質(zhì)作相對 運(yùn)時(shí),由于偶電層被分,電中性受到破壞而出現(xiàn)的帶電過程。剝離起電 StrippingElectrification剝離兩個(gè)緊密結(jié)合的物體時(shí)引起電荷分離而使兩物體分別帶電的過程。噴射起電 Electrification固體粉體液體和氣體類物質(zhì)從小截面噴嘴高速噴射由于微粒與噴嘴和空氣發(fā)生迅速磨 擦使噴嘴和噴射物分別帶電的過程。吸附起電 AttachedElectrification人體由于吸附場所中的帶電微粒而使之產(chǎn)生靜電的過程。沉降起電 SedimentationElectrification偶電層發(fā)生電荷分離而產(chǎn)生靜電的過程。濺潑起電 SplashElectrificationSprayElectrification而產(chǎn)生靜電的過程。感應(yīng)起電 InducedElectrification破裂起電 CrackElectrification固體或粉體類物體破裂時(shí)發(fā)生電荷分離,由于正負(fù)電荷平衡受到破壞而產(chǎn)生靜電的過程。碰撞起電 CollisionElectrification粉體類物體由于粒子與粒子或粒子與固體之間發(fā)生碰撞,形成快速的接觸和分離而產(chǎn)生靜電的過程。滴下起電 DroppingElectrification靜電的過程。極化起電PolarizedElectrification在外電場作用下,由于介質(zhì)極化而使其內(nèi)部及界要上出現(xiàn)束縛電荷的過程。靜電起電序列 Electrostatic(Electrification)Series靜電積聚 ElectrostaticAccumulation荷的積累過程。靜電消散 ElectrostaticDissipation帶電體上的電荷由于靜電中和,和靜電泄漏,靜電放電而使之部分或全部消失的現(xiàn)象。靜電中和 ElectrostaticNeutralization現(xiàn)象。靜電泄放 ElectrostaticLeakage將靜電荷安全傳導(dǎo)到大地。器件敏感度ElectrostaticSusceptivity元器件所能承受的靜電放電電壓值。靜電敏感器件ElectrostaticSensitivityDevice(ESSD)靜電敏感器件是指對ESD(ElectrostaticESD的承受能力可以用靜電放電敏感度表示，它是指器件所能承受而不至于遭受損壞的最大靜電放電電壓，基本單位是伏(V)。靜電放電敏感元器件1000VI1000V4000V（荷）馳豫(緩和)RelaxationTime(ofDischarge)帶電體上的電荷(或電位)消散(或下降)至其初始值的1/e時(shí)所需要的時(shí)間。HalfvalueTime(ofDischarge)帶電體上的電荷(或電位)消散(或下降)至其初始值的一半時(shí)所需要的時(shí)間。13.2.24靜置時(shí)間 TimeofRepose允許進(jìn)行下一步操作所需要的間隔時(shí)間。靜電放電現(xiàn)象靜電放電 ElectrostaticDischarge(ESD)當(dāng)帶電體周圍的場強(qiáng)超過周圍介質(zhì)的絕緣擊穿場強(qiáng)時(shí),因介質(zhì)產(chǎn)生電離而使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。尖端放電 DischargeatSharpPoint在帶電導(dǎo)體曲率半徑很小處所發(fā)生的放電現(xiàn)象。電暈放電 CoronaDischarge發(fā)生在不均勻的、場強(qiáng)很高的電場中的輝光放電。注:電暈放電時(shí),在電極周圍有微弱發(fā)光的電暈層。13.3.4輝光放電 GlowDischarge有顯著的發(fā)熱或電極的蒸發(fā)。刷形放電 BrushDischarge指發(fā)生于帶電量大的絕緣體與導(dǎo)體之間空氣介質(zhì)中的一種放電形式,其放電通道不集中,呈分枝狀?；鸹ǚ烹?SparkDischarge由于分離兩電極間的空氣或其它電介質(zhì)材料突然被擊穿,使電流急劇上升,電壓急劇下降,引起有瞬間閃光、并有集中通道的短暫放電現(xiàn)象。表面放電 SurfaceDischarge當(dāng)帶靜電的物體接近接地體而在兩者間發(fā)生放電時(shí),沿帶電體表面產(chǎn)生的發(fā)光放電,呈樹枝狀。對地電壓 VoltagetoEarth帶電體與大地之間的電位差(令大地電位為零)。擊穿電壓 BreakdownVoltage使電介質(zhì)擊穿的最低電壓。ElectromagneticHazard由于靜電放電產(chǎn)生的電磁輻射而對電子元器件及儀器所產(chǎn)生的有害影響,如電子儀器發(fā)生誤動(dòng)作或故障或電子元器件被擊穿以及發(fā)生靜電噪聲等現(xiàn)象。防靜電材料及制品ρs)SurfaceResistivity沿試驗(yàn)物質(zhì)樣品表面電流方向的直流電場強(qiáng)度與單位長度的表面電流之比。其在數(shù)值上等于物質(zhì)表體介質(zhì)表面的導(dǎo)電能力。ρv)VolumeResistivity沿試驗(yàn)物質(zhì)樣品體積電流方向的直流電場強(qiáng)度與該處表面密度之比,其在數(shù)值上等于電位梯度與電流密度之比。其中,電位梯度按照物質(zhì)中電流方向測量。表面電阻率表征固體介質(zhì)內(nèi)部的導(dǎo)電能力。StaticProtectiveMaterial具有以下一種或多種能力的材料,被稱作靜電保護(hù)材料:限制產(chǎn)生靜電,迅速耗散材料表面或體積上的靜電荷,屏蔽靜電放電、火花放電、靜電場。靜電保護(hù)材料根據(jù)其表面電阻率的大小(或?qū)щ娦?分為導(dǎo)電材料、靜電耗散材料和抗靜電材料。導(dǎo)電材料ConductiveMaterial表面電阻率小于或等于105ΩStaticDissipativeMaterial

Ω

Ω的靜電放電保護(hù)材料。Anti-staticMaterial

Ω、小于或等于1014Ω的靜電放電保護(hù)材料。靜電絕緣材料InsulativeMaterial

Ω的材料。導(dǎo)電纖維ConductiveFibre導(dǎo)電纖維和有機(jī)導(dǎo)電纖維。Anti-staticFibre采用加入防靜電劑的亞電材料制成的纖維。導(dǎo)電橡塑料) ConductiveRubber(Plastics)為了降低橡膠(塑料)材料(或制品)的電阻率,在生產(chǎn)工藝中采用某種措施(如摻入導(dǎo)電材料)而制成的橡膠(塑料)。ConductiveFloor由電阻率小的材料制成的、旨在提供靜電泄漏途徑的地面(板)。導(dǎo)電涂料Conaductive Paint涂覆在物體表面,能形成牢固附著的連續(xù)薄膜,并能導(dǎo)除積聚其上電荷的一種工程材料。導(dǎo)電墊ConductiveCusion為了防止人體及地面上的金屬物體的靜電帶電,在其生產(chǎn)加工中混入金屬和碳等導(dǎo)電材料而制成的導(dǎo)電良好的墊子。Anti-staticFabric通過多種工藝方法,使纖維表面電阻率降低,從而形成或生產(chǎn)出的一種具有防止靜電積聚的織物。防靜電服Anti-staticClothing為了防止人體和衣物的靜電積聚,用防靜電織物為衣料而縫制的工作服。防靜電鞋Anti-staticShoes(220V導(dǎo)電鞋ConductiveShoes具有良好的導(dǎo)電性能,因此可在盡可能短的時(shí)間內(nèi)消除人體靜電積聚,但不能防止因偶然觸及工頻電(220V以下)而導(dǎo)致人體遭受電擊的鞋類。防靜電劑Anti-staticAdditive加入物體中以提高其電導(dǎo)率,使其不能積聚危險(xiǎn)的靜電,且又不影響該物體其它性能的物質(zhì)。靜電事故及其防護(hù)靜電安全 ElectrostaticSafety指在生產(chǎn)過程中不發(fā)生由于靜電現(xiàn)象而導(dǎo)致人體怕傷害、設(shè)備損壞或財(cái)產(chǎn)損失的狀況和條件。靜電安全工程技術(shù) EngineeringandTecnologyofStaticSafety靜電障害StaticAccident靜電災(zāi)害 StaticDisaster(Static)SecondAccident墜落或觸及其它障礙物而引起的傷害或造成已存在的火災(zāi)、爆炸的后果進(jìn)一步擴(kuò)大等危害的現(xiàn)象或事件。靜電電擊ElectrostaticShock由電體向人體,或帶靜電的人體向接地的導(dǎo)體,以及帶電的人體相到間發(fā)生靜電放電,其所產(chǎn)生的瞬間沖擊電流通過人體而引起的病理生理效應(yīng)。人體靜電ElectrostaticonHumanBody人體由于自身行動(dòng)或與其它的帶電物體相接觸或相接近而在人體上產(chǎn)生并積聚的靜電。人體電容 CapacitanceofHumanBody與人體位置、人體姿勢、鞋和地面及其它客體等因素有關(guān)的人體對地或?qū)ζ渌腕w所構(gòu)成的電容。人體電阻Resistanceof Human 人的體內(nèi)電阻與皮膚電阻之總和。EarthGround:（靜電）接地Grounding連接到能供給或接受大量電荷的物質(zhì)(如地面、艦船或運(yùn)載式具外殼等)。硬接地(DirectGrounding):直接接地或通過一低阻抗同大地相連。(IndirectGrounding)5mA)下。軟接地所需阻抗取決于靠近接地點(diǎn)的人員所可能接觸到的電壓電平。接地電阻 Earth Resistance溢流電阻之和。泄漏電阻 Leakage Resistance物體在不帶電的情況下,從被測點(diǎn)到接地連接系統(tǒng)間的等效電阻。靜電泄漏通道 Channelof Electrostatic Leakage帶電區(qū)的靜電荷通過帶電體內(nèi)部表面而使之泄漏的途徑。人體接地 Human Body Grounding通過使用導(dǎo)電墊、導(dǎo)電地面、導(dǎo)電鞋或其它各種接地用具使人體與大地保持通導(dǎo)狀態(tài)的措施。（靜電）連接(Electrostatic)Connection將彼此間沒有良好導(dǎo)電通路的物體進(jìn)行導(dǎo)電性連接,使相互間大體上處于相同電位的措旋。ElectrostaticConnectionSystemofGrounding帶電體上的電荷向大地匯漏、消散的外界導(dǎo)出通道。靜電屏蔽ElectrostaticShielding電體或非帶電體置于接地的封閉的金屬外殼或金屬柵網(wǎng)內(nèi)的措施。接地極GroundingElectrode埋入大地以便與大地良好接觸的導(dǎo)體或幾個(gè)導(dǎo)體的組合。防靜電工作區(qū) ESDProtectedArea為保障靜電敏感器件(ESSD)免受靜電傷害而采用必要的防靜電材料和設(shè)備建立和裝備起來的區(qū)域,通常有明顯的防靜電警示標(biāo)志。進(jìn)入防靜電工作區(qū)域的人員,必須嚴(yán)格遵循防靜電作業(yè)規(guī)范。防靜電操作系統(tǒng) ElectrostaticOperatingSystem根據(jù)防靜電要求,為建立保護(hù)面積和進(jìn)行保護(hù)性操作所必須配置的設(shè)施和工具的統(tǒng)稱。人體靜電防護(hù)系統(tǒng) StaticProtectiveSystemofHumanBody整體的防護(hù)系統(tǒng)兼具有靜電泄露、中和與屏蔽的功能。人體靜電接地系統(tǒng) ElectrostaticGroundingSystemofHumanBody人體防靜電接地系統(tǒng)是為有效瀉放人體表面的靜電、防止靜電積累而構(gòu)建的一套連接人體和大地的公共接地線組成。靜電消除器ElectrostaticEliminator一種能產(chǎn)生消除帶電體上的電荷所必要的正負(fù)離子的設(shè)備或裝置。放射性靜電消除器 RadioactiveStaticElimina