正帆科技研究報(bào)告設(shè)備+氣體+服務(wù)泛半導(dǎo)體領(lǐng)域平臺(tái)化成長

正帆科技研究報(bào)告-設(shè)備+氣體+服務(wù)泛半導(dǎo)體領(lǐng)域平臺(tái)化成長一、工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)+氣體業(yè)務(wù)雙引擎驅(qū)動(dòng)業(yè)績高增（一）公司發(fā)展歷程分為四個(gè)階段，產(chǎn)品品類和下游應(yīng)用不斷拓展正帆科技是一家致力于為泛半導(dǎo)體、光纖制造、生物醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)客戶提供關(guān)鍵系統(tǒng)、核心材料和專業(yè)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)，其發(fā)展歷程大概分為四個(gè)階段。第一階段：2009-2011年為業(yè)務(wù)整合期。公司成立于2009年，之后分別于2010、2011年收購正帆半導(dǎo)體、正帆超凈，整合設(shè)備制造、工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)業(yè)務(wù)，“正帆”

品牌在行業(yè)中逐漸積累口碑和影響力。第二階段：2012-2014年為業(yè)務(wù)拓展期。公司于2012年投資設(shè)立正帆華東，拓展醫(yī)藥行業(yè)；同年設(shè)立合肥正帆，開始布局高純特種氣體業(yè)務(wù)。公司以客戶需求為導(dǎo)向，開展工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)業(yè)務(wù)的同時(shí)，拓展?jié)崈羰遗涮讟I(yè)務(wù)。第三階段：2015-2020年為業(yè)務(wù)上升期。公司工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)逐漸向集成電路、平板顯示等技術(shù)壁壘更高的領(lǐng)域邁進(jìn)，積累了德州儀器、中芯國際等眾多優(yōu)勢(shì)客戶；

同時(shí)，公司高純特種氣體業(yè)務(wù)逐漸趨于成熟，實(shí)現(xiàn)了砷烷、硅烷等產(chǎn)品的批量銷售。2020年公司于上交所科創(chuàng)板上市。第四階段：2021年至今為全面發(fā)展期。公司在的泛半導(dǎo)體（集成電路、太陽能光伏、平板顯示、半導(dǎo)體照明）、光纖制造和生物醫(yī)藥等高端制造產(chǎn)業(yè)布局趨于成熟，并逐步向新能源、新材料等其它新興產(chǎn)業(yè)拓展。2022年公司收購蘇州華業(yè)，進(jìn)一步完善發(fā)展氣體業(yè)務(wù)。（二）股權(quán)結(jié)構(gòu)較為集中，管理層經(jīng)驗(yàn)豐富公司股權(quán)結(jié)構(gòu)較為分散，高管和核心技術(shù)人員直接持股與公司利益深度綁定。截至2022年9月30日，公司實(shí)際控制人俞東雷先生、崔容女士通過控股股東風(fēng)帆控股間接持有公司20.67%的股份，深度參與公司管理，其中俞東雷擔(dān)任公司董事長、總經(jīng)理，崔容擔(dān)任公司董事、副總經(jīng)理。除此之外，周明崢、黃勇、李東升、王建、張慧分別持股5.30%、5.30%、1.40%、1.31%、0.98%，其中周明崢和李東升為公司核心技術(shù)人員，黃勇為公司董事、副總經(jīng)理。公司核心管理人員技術(shù)出身且有國際視野，管理經(jīng)驗(yàn)豐富。公司董事長俞東雷擁有博士學(xué)位，歷任美國Cargill公司生產(chǎn)主管、美國通用技術(shù)公司中國部經(jīng)理、美國IBP公司中國區(qū)運(yùn)營總監(jiān)等職位，并參與組織公司成立并擔(dān)任總經(jīng)理職位；董事崔容歷任德國西門子北京總公司工程師、西門子慕尼黑通信部工程師等職位，自公司成立起擔(dān)任副總經(jīng)理職位；除此之外，公司董事黃勇、朱鷖佳等人均擁有碩士學(xué)歷且行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富。兩次實(shí)施股權(quán)激勵(lì)，充分調(diào)動(dòng)員工積極性。2021年6月、12月，公司兩次實(shí)施股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃，擬分別授予激勵(lì)對(duì)象2000、922萬股股票期權(quán)，分別占總股本的7.8%、3.6%，行權(quán)價(jià)格分別為20、22元，激勵(lì)對(duì)象包括中、高層管理人員、技術(shù)骨干、業(yè)務(wù)骨干，旨在充分調(diào)動(dòng)員工積極性，人才優(yōu)勢(shì)將逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)闃I(yè)績優(yōu)勢(shì)。集團(tuán)由母公司及16家控股子公司組成，開展生產(chǎn)銷售、商品銷售、技術(shù)服務(wù)和管理咨詢等各項(xiàng)業(yè)務(wù)。其中，從事工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)的子公司主要為正帆半導(dǎo)體、江蘇正帆、正帆超凈、正帆百泰等，從事氣體業(yè)務(wù)的子公司以合肥正帆為主，從事半導(dǎo)體零部件GasBox業(yè)務(wù)的公司為鴻舸半導(dǎo)體，從事資源再生利用子公司包括碩之鑫、正帆麗水等。從子公司的盈利能力看，2022H1江蘇正帆、合肥正帆實(shí)現(xiàn)凈利潤2541.6、615.2萬元，貢獻(xiàn)子公司利潤主體。（三）業(yè)績逐漸駛?cè)肟燔嚨?，充足在手訂單?gòu)建業(yè)績護(hù)城河2017-2021年，受益下游行業(yè)規(guī)模擴(kuò)大和半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代，公司業(yè)績步入快車道，且利潤增速快于收入。2017-2021年公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入7.1、9.2、11.9、11.1、18.4億元，分別同比+21.9%、+30.2%、+28.8%、-6.5%、+65.6%，五年CAGR為25.9%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤0.3、0.6、0.8、1.2、1.7億元，分別同比+50.8%、+91.1%、+49.0%、-1.9%、+84.6%，五年CAGR為51.7%。其中2020年?duì)I業(yè)收入下降主要原因?yàn)橐咔閷?dǎo)致下游客戶擴(kuò)產(chǎn)受阻，同時(shí)公司生產(chǎn)的定制化產(chǎn)品交貨周期較長，部分訂單收入確認(rèn)有所延期；2021年疫情好轉(zhuǎn)后，受下游行業(yè)規(guī)模擴(kuò)大的影響，銷售收入快速增長。2022年上半年，受疫情+股份支付影響盈利能力承壓，但充足的在手訂單為公司業(yè)績兌現(xiàn)提供保障。2022H1公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入、歸母凈利潤9.4、0.5億元，同比+19.7%、-2.5%，盈利能力短期收緊，主要系上海疫情和股份支付影響，剔除股份支付的因素影響，公司歸母凈利潤為0.7億元，同比+25.6%，持續(xù)保持增長狀態(tài)。雖然受到疫情影響，但公司在手訂單依然充沛，根據(jù)公司投資者關(guān)系披露。截至2022年6月30日，公司在手合同32.4億元，同比+92%，其中集成電路、光伏、生物醫(yī)藥領(lǐng)域訂單占比分別為52.5%、19.1%、9.9%。公司業(yè)務(wù)作為戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重要一環(huán)，受政府補(bǔ)助力度大，但公司強(qiáng)大技術(shù)能力支撐公司扣非凈利潤增速不減。2018-2021年公司計(jì)入當(dāng)期損益的政府補(bǔ)助分別為16.1、7.4、4.4、23.9百萬元，占當(dāng)期歸母凈利潤的比重分別為26.9%、8.9%、3.5%、14.2%，隨著公司研發(fā)項(xiàng)目的逐漸驗(yàn)收，預(yù)計(jì)政府補(bǔ)助金額具有持續(xù)性。若剔除補(bǔ)助等因素影響，2021年公司實(shí)現(xiàn)扣非凈利潤1.7億元，同比+84.6%，體現(xiàn)出公司強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力和業(yè)務(wù)能力。（四）依托CAPEX業(yè)務(wù)積極開拓OPEX業(yè)務(wù)縱向拓展市場(chǎng)公司是一家致力于為泛半導(dǎo)體、光纖制造和生物醫(yī)藥等高科技產(chǎn)業(yè)客戶提供關(guān)鍵系統(tǒng)、核心材料，以及專業(yè)服務(wù)的三位一體綜合服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。從產(chǎn)品角度，分為工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)、高純特種氣體兩大類。（1）工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)：包括高端電子工藝系統(tǒng)、生物制藥設(shè)備、MRO（快速響應(yīng)、設(shè)備維保和系統(tǒng)運(yùn)營）三類主要產(chǎn)品。其中高端電子工藝系統(tǒng)、生物制藥設(shè)備針對(duì)客戶新建項(xiàng)目提供方案設(shè)計(jì)、設(shè)備制造以及系統(tǒng)安裝等服務(wù)，同時(shí)公司在既有的電子工藝系統(tǒng)的基礎(chǔ)上外延GasBox業(yè)務(wù)（半導(dǎo)體工藝設(shè)備的流體輸送系統(tǒng)/設(shè)備）；MRO業(yè)務(wù)，針對(duì)客戶已建成項(xiàng)目提供技改工程、設(shè)備銷售、配件綜合采購及運(yùn)營等服務(wù)。（2）高純特種氣體業(yè)務(wù)：公司通過自產(chǎn)銷售和貿(mào)易兩種方式為客戶提供包括砷烷、磷烷、硅烷、混合氣等在內(nèi)的多種氣體，可以分為生產(chǎn)銷售類氣體（砷烷、磷烷等）和貿(mào)易類氣體（氨氣、三甲基鋁等），同時(shí)公司募集資金拓展生產(chǎn)銷售電子大宗氣體業(yè)務(wù)（氮?dú)?、氫氣等）。從業(yè)務(wù)性質(zhì)角度，分為CAPEX和OPEX兩類。其中高端電子工藝系統(tǒng)、生物制藥設(shè)備偏重于系統(tǒng)和裝備類固定資產(chǎn)投資，類屬于CAPEX業(yè)務(wù)；高純特種氣體、潔凈室配套、MRO偏重于服務(wù)運(yùn)營屬性，類屬于OPEX業(yè)務(wù)。從是否依靠核心技術(shù)角度劃分，高端電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備、MRO（技改工程和設(shè)備銷售）、高純特種氣體（生產(chǎn)銷售）為核心技術(shù)產(chǎn)品，2021年?duì)I收占比為92.7%；MRO（配件銷售和運(yùn)維服務(wù)）、高純特種氣體（貿(mào)易類）、潔凈室配套業(yè)務(wù)為非核心技術(shù)產(chǎn)品，2021年?duì)I收占比7.3%。從服務(wù)下游角度，可以分為泛半導(dǎo)體行業(yè)、光纖通訊和醫(yī)藥制造，其中泛半導(dǎo)體行業(yè)包括集成電路、太陽能光伏、平板顯示和半導(dǎo)體照明。從產(chǎn)品角度，工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)為主要營收來源，同時(shí)與氣體業(yè)務(wù)共同實(shí)現(xiàn)高速成長。2021年公司營收統(tǒng)計(jì)口徑有所調(diào)整，高端電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備脫離于工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)業(yè)務(wù)成為單獨(dú)品類，工藝介質(zhì)營收主要為MRO業(yè)務(wù)；同時(shí)，潔凈室配套業(yè)務(wù)并入其他業(yè)務(wù)。因此綜合來看，工藝介質(zhì)類業(yè)務(wù)營收由2017年的5.5億元增長至2021年的16.4億元，期間四年CAGR為31.4%，2021年?duì)I收占比為89.2%；

氣體類業(yè)務(wù)營收由2017年的0.6億元增長至2021年的1.8億元，期間四年CAGR為32.1%，2021年?duì)I收占比為9.6%。從下游角度，光伏+集成電路行業(yè)構(gòu)成營收主體且發(fā)展速度最快。（1）占比：2021年，光伏、集成電路、平板顯示、醫(yī)藥制造、半導(dǎo)體照明、光纖通訊領(lǐng)域營收占比分別為34.6%、25.3%、12.9%、10.1%、5.3%、1.6%；（2）增速：2018-2021年，集成電路、光伏、醫(yī)藥制造、平板顯示、光纖通訊、半導(dǎo)體照明行業(yè)營業(yè)收入四年CAGR分別為43.1%、31.1%、26.9%、26.3%、-2.8%、-5.9%。（五）毛利率整體較為穩(wěn)定，期間費(fèi)用率短期擴(kuò)張影響盈利能力公司整體毛利率較為穩(wěn)定，波動(dòng)于26%。2017-2021年毛利率分別為21.2%、26.1%、25.3%、27.3%、26.2%，其中2017年毛利水平較低，主要系公司為切入平板顯示、集成電路行業(yè)，以具競爭力的價(jià)格承接了部分知名企業(yè)系統(tǒng)綜合解決方案項(xiàng)目，導(dǎo)致當(dāng)年平板顯示及集成電路行業(yè)項(xiàng)目毛利率較低，2018年毛利水平及時(shí)回歸正常。以2021年公司經(jīng)營數(shù)據(jù)為例，分產(chǎn)品看，工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)（MRO業(yè)務(wù)為主）毛利率為40.6%，顯著高于公司整體毛利率（26.2%），特種氣體正處于快速擴(kuò)張階段，其盈利能力短期承壓；分下游看，光纖制造毛利率（39.2%）水平最高，集成電路

（29.9%）、醫(yī)藥制造（29.3%）盈利能力次之，且均高于公司整體毛利率。期間費(fèi)用受股份支付等因素影響呈現(xiàn)上升趨勢(shì)。2018-2021年公司期間費(fèi)用率波動(dòng)于16.5%，2022H1整體費(fèi)用率有提升趨勢(shì)，主要系股份支付導(dǎo)致管理費(fèi)用增加，根據(jù)公司投資者關(guān)系，2022年公司股份支付費(fèi)用預(yù)計(jì)為4600萬元，同比+219.4%，短期內(nèi)預(yù)計(jì)費(fèi)用率仍將呈現(xiàn)擴(kuò)張趨勢(shì)。結(jié)構(gòu)上看，2021年公司管理、研發(fā)、銷售、財(cái)務(wù)費(fèi)用率分別為9.9%、4.3%、2.2%、-0.2%，管理費(fèi)用維持高位主要系職工薪酬較高。（六）致力于打造產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)，研發(fā)+產(chǎn)品+客戶三位一體構(gòu)建護(hù)城河技術(shù)能力：公司經(jīng)過自主研發(fā)，形成了六項(xiàng)底層核心技術(shù)，其中介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)微污染控制技術(shù)、流體系統(tǒng)設(shè)計(jì)與模擬仿真技術(shù)、生命安全保障與工藝監(jiān)控技術(shù)應(yīng)用于電子工藝+生物制藥設(shè)備，高純材料合成與分離提純技術(shù)、材料成分分析與痕量檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用于電子氣體業(yè)務(wù)，關(guān)鍵工藝材料再生與循環(huán)技術(shù)應(yīng)用于減排與資源再利用業(yè)務(wù)。截至2022年6月30日，公司共有147項(xiàng)專利，其中有26項(xiàng)發(fā)明專利。公司技術(shù)實(shí)力為公司的發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的后盾。產(chǎn)品閉環(huán)：以底層核心技術(shù)為保障，致力于打造產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)。公司以電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備業(yè)務(wù)為切入點(diǎn)，向前端拓展電子氣體業(yè)務(wù)，向后端布局減排及資源再利用業(yè)務(wù)，幫助客戶實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵材料的生產(chǎn)、高純輸送以及循環(huán)利用三大核心環(huán)節(jié)。公司多項(xiàng)不同業(yè)務(wù)之間除能塑造設(shè)備+服務(wù)優(yōu)勢(shì)外，面對(duì)客戶的重疊，多項(xiàng)業(yè)務(wù)能形成相互支持，例如公司向乾照光電、三安光電、惠科集團(tuán)等客戶提供電子工藝設(shè)備和生物制藥設(shè)備業(yè)務(wù)，亦向上述客戶供應(yīng)電子氣體產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)客戶的深耕和產(chǎn)品的推廣?？蛻魞?yōu)勢(shì)：多下游領(lǐng)域積累核心客戶，實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)的可持續(xù)發(fā)展。根據(jù)公司年報(bào)，公司在泛半導(dǎo)體、光纖通信、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域進(jìn)行廣泛的客戶積累積累，如集成電路領(lǐng)域的中芯國際、華為技術(shù)，平板顯示領(lǐng)域的京東方、匯科技術(shù)，光伏領(lǐng)域的晶澳太陽能、愛旭科技等核心客戶等。其中公司獲得中芯國際、京東方、惠科技術(shù)“優(yōu)秀供應(yīng)商”稱號(hào)，并在其多個(gè)項(xiàng)目開展業(yè)務(wù)：（1）中芯國際：包括中芯北方的28nm工藝產(chǎn)線，中芯南方14nm工藝產(chǎn)線，中芯紹興特色工藝線等；（2）京東方：合肥京東方的6代TFT-LCD項(xiàng)目、成都京東方的AMOLED項(xiàng)目、昆明京東方MINILED項(xiàng)目、武漢京東方的10.5代TFT-LCD項(xiàng)目等；（3）惠科技術(shù)：重慶惠科、滁州惠科、綿陽惠科的8.6代TFT-LCD項(xiàng)目等。二、工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)：多點(diǎn)布局，切入核心下游（一）功能及應(yīng)用：工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)主要功能為介質(zhì)的控制與輸送功能：工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)主要功能為在充分保證質(zhì)量和安全的前提下，按照工藝需求的流量及壓力，將氣體、化學(xué)品、水等介質(zhì)輸送到各個(gè)工藝環(huán)節(jié)，并實(shí)現(xiàn)整個(gè)生產(chǎn)過程的監(jiān)測(cè)與控制。其中涉及到工藝介質(zhì)的輸送分配、混合分離、蒸發(fā)冷凝以及物料輸送過程的純度控制、工藝控制以及安全控制等。工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)與廠務(wù)動(dòng)力系統(tǒng)、尾氣廢液處理系統(tǒng)共同構(gòu)成工業(yè)企業(yè)的廠務(wù)系統(tǒng)，為工業(yè)企業(yè)的核心工藝設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)提供支持。應(yīng)用：工業(yè)介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)用于泛半導(dǎo)體、光纖產(chǎn)業(yè)、醫(yī)藥行業(yè)等眾多高端制造領(lǐng)域。具體表現(xiàn)為：

（1）泛半導(dǎo)體：摻雜、光刻、刻蝕、化學(xué)氣相沉積等核心工藝中高純介質(zhì)的輸送；

（2）光纖產(chǎn)業(yè)：光纖預(yù)制棒制造工藝（光纖制造技術(shù)的核心）中高純工藝介質(zhì)（高純特氣、高純大宗氣體、高純化學(xué)品、高純水等）、金屬鹵化物的提純，以及芯棒制造、芯棒表面處理、外包層制造等核心工藝環(huán)節(jié)；

（3）醫(yī)藥行業(yè)：作為制藥級(jí)用水系統(tǒng)和物料工藝配液系統(tǒng)等，提供純化水、注射用水等核心原料并充當(dāng)反應(yīng)發(fā)生容器。（二）產(chǎn)品及優(yōu)勢(shì)：公司主要產(chǎn)品包括電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備以公司2021年經(jīng)營數(shù)據(jù)為例，工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)包括高端電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備、MRO（技改工程+設(shè)備銷售）、MRO（配建銷售+運(yùn)維服務(wù)）四部分，2021年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入共計(jì)16.4億元，營收占比分別為78.3%、10.2%、4.6%、6.9%，其中核心技術(shù)對(duì)應(yīng)產(chǎn)品收入為93.1%。以高端電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備為對(duì)象對(duì)其下游應(yīng)用進(jìn)行拆分，其應(yīng)用于太陽能光伏、集成電路、平板顯示、生物醫(yī)藥、半導(dǎo)體照明、光纖通信的占比分別為37.9%、24.9%、14.1%、11.6%、2.3%、0.9%。公司以工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)業(yè)務(wù)為技術(shù)研發(fā)核心，提供電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備產(chǎn)品，前端連接工藝介質(zhì)存儲(chǔ)裝置，后端連接客戶工藝生產(chǎn)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)特種氣體、化學(xué)品安全穩(wěn)定輸送。電子工藝設(shè)備：產(chǎn)品包括特氣柜、化學(xué)品中央供應(yīng)柜、分流箱、化學(xué)品稀釋混配單元、液態(tài)源輸送設(shè)備等。服務(wù)于集成電路、太陽能光伏、平板顯示、半導(dǎo)體照明、光纖制造等高科技制造業(yè)，定制化連接高純介質(zhì)和生產(chǎn)設(shè)備，從而為多種工藝提供大量高純、超高純（ppt級(jí)別）的干濕化學(xué)品。生物制藥設(shè)備：產(chǎn)品包括制藥用水裝置、生物工藝裝備、高端制劑裝備等，旨在為生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)提供符合標(biāo)準(zhǔn)的潔凈流體工藝系統(tǒng)，涵蓋單元裝備以及系統(tǒng)集成服務(wù)，助力抗體蛋白等生物藥、疫苗、細(xì)胞與基因之治療、體外診斷技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。公司的電子工藝設(shè)備和生物制藥設(shè)備在純度、工藝、安全角度領(lǐng)先國家標(biāo)準(zhǔn)，滿足客戶的定制化需求。在純度控制方面，公司應(yīng)用介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)微污染控制技術(shù)開發(fā)出高純度級(jí)別產(chǎn)品，以公司的高純特氣柜系列產(chǎn)品為例，其在正壓、氦檢、顆粒、水分、氧分測(cè)試環(huán)節(jié)均遙遙領(lǐng)先于國家和客戶標(biāo)準(zhǔn)；在工藝控制方面，公司針對(duì)客戶氣體大流量、濕化學(xué)品等特殊工藝要求，開發(fā)了2,000slpm/套氨氣供應(yīng)系統(tǒng)、濃度誤差范圍在+/-0.002%以內(nèi)化學(xué)品混配系統(tǒng)，滿足客戶高標(biāo)準(zhǔn)定制化需求；在安全控制方面，公司針對(duì)設(shè)備全生命周期，在設(shè)計(jì)、安裝、運(yùn)維、應(yīng)急處理等各環(huán)節(jié)提供智能化的技術(shù)支持。（三）行業(yè)及市場(chǎng)：寬行業(yè)大市場(chǎng)，公司產(chǎn)品下游空間超百億產(chǎn)業(yè)鏈：電子工藝設(shè)備和生物制藥設(shè)備上游為閥門、管道管件、儀器儀表、電氣控制等原材料供應(yīng)商，中游包括供應(yīng)設(shè)備（氣瓶柜、氣瓶架等）和整體系統(tǒng)（特氣供應(yīng)系統(tǒng)、大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)等），下游為泛半導(dǎo)體、光纖通信、生物醫(yī)藥領(lǐng)域的終端應(yīng)用企業(yè)。公司通過采購上游高潔凈應(yīng)用材料，經(jīng)設(shè)計(jì)、制造、安裝等具體步驟，形成最終的電子工藝設(shè)備和生物制藥設(shè)備，滿足下游客戶在生產(chǎn)過程中對(duì)高純介質(zhì)的供應(yīng)需求。下游行業(yè)：電子工藝+生物制藥設(shè)備應(yīng)用于高端制造各領(lǐng)域，高延展性創(chuàng)造大市場(chǎng)半導(dǎo)體：根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，中國半導(dǎo)體設(shè)備由2017年61億美元增長至2021年的258億美元，期間四年CAGR為43.6%，受美國制裁等國際環(huán)境影響，預(yù)計(jì)2022年中國設(shè)備市場(chǎng)空間為221億美元，同比-14%，全球占比為22%。光伏：根據(jù)BP等數(shù)據(jù)，2021年中國新增光伏裝機(jī)量為55GW，同比+14%，預(yù)計(jì)2022-2025年中國新增光伏裝機(jī)量為81、87、107、125GW，同比+48%、+8%、+23%、+17%；光伏高速發(fā)展下設(shè)備廠商積極擴(kuò)產(chǎn)，據(jù)CAPI統(tǒng)計(jì)，2021年我國大陸電池片總產(chǎn)能達(dá)361GW，占全球產(chǎn)能的85%。顯示面板：根據(jù)CINNOResearch統(tǒng)計(jì)，2021年中國大陸顯示面板設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為1100億元，同比-5%，其中AMOLED、Mini/MicroLED、TFT-LCD技術(shù)占比分別為55%、24%、21%；隨著5G通訊、新能源車等新興產(chǎn)業(yè)深度融合，疊加技術(shù)替代和產(chǎn)業(yè)向中國大陸轉(zhuǎn)移的國際趨勢(shì)，預(yù)計(jì)2022-2025年顯示面板設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模1383、1192、1399、1100億元，持續(xù)維持高位。LED：中國LED總產(chǎn)值包含LED芯片、LED封裝、LED應(yīng)用部分，根據(jù)Wind和賽迪智庫統(tǒng)計(jì)，其市場(chǎng)空間由2017年的6368億元增長至2021年的8429億元，期間四年CAGR為7%；2020年受疫情影響，LED景氣度有所下降，2021年在疫情的有效控制下行業(yè)重回發(fā)展快車道。光纖：根據(jù)CRU數(shù)據(jù)，2021年中國光纖需求量約2.45億芯公里，同比+8%，未來VR、AR、遠(yuǎn)程辦公、超高清視頻將帶動(dòng)5G和網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)持續(xù)推進(jìn)，預(yù)計(jì)光纖需求量將于2022年達(dá)到2.61億芯公里，并于2025年達(dá)到頂峰2.83億芯公里。生物制藥：中國2030戰(zhàn)略全面實(shí)施帶動(dòng)健康消費(fèi)升級(jí)加快，醫(yī)藥領(lǐng)域投資更加積極活躍，2021年中國醫(yī)藥制造業(yè)固定資產(chǎn)投資完成額達(dá)9583億元，其中根據(jù)中藥協(xié)、中商產(chǎn)業(yè)研究院統(tǒng)計(jì)，2021年制藥設(shè)備市場(chǎng)空間為395億元，同比+10%，預(yù)計(jì)2022年將達(dá)444億元，同比+12%。市場(chǎng)空間：公司產(chǎn)品下游市場(chǎng)超百億元，以IC為核心的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域高度景氣。2020、2021、2022H1年，公司電子工藝+生物制藥產(chǎn)品在太陽能光伏、集成電路、平板顯示、生物醫(yī)藥四個(gè)主要領(lǐng)域的收入占比合計(jì)分別為76%、92%、88%、86%，因此將其作為重點(diǎn)領(lǐng)域分析下游工藝介質(zhì)系統(tǒng)市場(chǎng)空間。根據(jù)至純科技招股書數(shù)據(jù)，工藝介質(zhì)系統(tǒng)約占相關(guān)生產(chǎn)線固定資產(chǎn)投資總額的5%-8%，假設(shè)公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路晶圓制造段、光伏領(lǐng)域電池片生產(chǎn)段、平板顯示Array段以及醫(yī)藥制造全過程，則根據(jù)SEMI、CPIA、CINNO、光伏能源圈、中商產(chǎn)業(yè)研究院等數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，經(jīng)過我們測(cè)算：公司電子工藝+生物制藥產(chǎn)品在半導(dǎo)體、光伏、平板顯示、生物制藥領(lǐng)域的中國市場(chǎng)空間由2017年的71.3億元增長至2021年的181.3億元，期間四年CAGR為26%；預(yù)計(jì)2022年受半導(dǎo)體設(shè)備投資收緊影響，市場(chǎng)空間合計(jì)為179.2億元。（四）競爭：境外企業(yè)具有先發(fā)優(yōu)勢(shì)，國內(nèi)企業(yè)受益國產(chǎn)替代扶搖而上境外企業(yè)是悠久，業(yè)務(wù)規(guī)模大。工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)境外知名供應(yīng)商包括東橫化學(xué)、帆宣科技、漢唐集成等，其成立時(shí)間均在上世紀(jì)80年代及之前，發(fā)展歷史悠久且在大陸均有設(shè)廠，單項(xiàng)業(yè)務(wù)規(guī)模大，在集成電路、平板顯示等領(lǐng)域仍占據(jù)主要份額。國內(nèi)企業(yè)具備客戶優(yōu)勢(shì)，受益設(shè)備國產(chǎn)替代快速發(fā)展。本土主流供應(yīng)商為至純科技、正帆科技，分別成立于2000、2009年，以本土企業(yè)為主要客戶，涉及下游行業(yè)廣泛，且能為客戶提供工藝介質(zhì)系統(tǒng)整體解決方案。除此之外，國內(nèi)競爭者包括小規(guī)模供應(yīng)商，業(yè)務(wù)范圍以系統(tǒng)安裝、勞務(wù)分包為主。帆宣科技、漢唐集成業(yè)務(wù)體量更大，但正帆科技、至純科技業(yè)績?cè)鏊俸陀芰Ω鼜?qiáng)。（1）收入體量：境外企業(yè)營收體量更大，本土企業(yè)業(yè)績?cè)鏊俑臁?021年帆宣科技、漢唐集成、至純科技、正帆科技營業(yè)收入分別為79.4、59.0、20.8、18.4億元，其2017-2021年五年?duì)I收CAGR分別為14.7%、12.3%、51.2%、25.9%。從業(yè)務(wù)看，至純科技的高純工藝集成系統(tǒng)和正帆科技的電子工藝設(shè)備具有可比性，其2021年?duì)I業(yè)收入分別為10.8、12.8億元，業(yè)務(wù)規(guī)模相近。（2）盈利能力：本土企業(yè)毛利率略勝一籌。2021年帆宣科技、漢唐集成、至純科技、正帆科技?xì)w母凈利潤分別為3.6、6.4、2.8、1.7億元，歸母凈利潤分別為4.5%、10.8%、13.5%、9.2%，毛利率分別為11%、16%、36%、26%。漢唐集成擁有更高的利潤絕對(duì)額，而至純科技毛利率和凈利率水平最高。三、高純特氣：縱深發(fā)展，培育增長延續(xù)（一）功能及應(yīng)用：大宗氣體和特種氣體廣泛用于工業(yè)制造領(lǐng)域工業(yè)氣體指用于工業(yè)制造的氣體，根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域分為大宗氣體和特種氣體。作為工業(yè)基礎(chǔ)原料，其應(yīng)用領(lǐng)域廣，根據(jù)億渡數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2021年中國工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模為1798億元。大宗氣體：純度一般低于5N（99.999%），產(chǎn)品產(chǎn)銷量大，廣泛應(yīng)用于鋼鐵、有色金屬、冶金、石油化工、煤化工、化肥等各領(lǐng)域，客戶對(duì)大宗氣體的需求量大、氣體種類較為單一、純度要求相對(duì)較低，2021年市場(chǎng)空間約1456億，占比約80%。根據(jù)制備方式，大宗氣體可分為：（1）空分氣體：利用空氣分離裝置，從空氣或者工業(yè)廢氣中分類出來的工業(yè)氣體，一般采用物理反應(yīng)的分離方式，具體包括氧氣、氮?dú)獾?，產(chǎn)品約占大宗氣體總價(jià)值的80%；（2）合成氣體：一般采用化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行合成，具體包括氨氣、乙炔、二氧化碳，產(chǎn)品約占大宗氣體總價(jià)值的20%。特種氣體：純度一般高于5N，產(chǎn)品種類豐富，應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、醫(yī)藥、激光、電光源等對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的領(lǐng)域，客戶對(duì)單一氣體的需求量小，對(duì)氣體純度要求較高，2021年市場(chǎng)空間約342億，占比20%。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域，特種氣體可分為：（1）電子特氣：純度一般高于6N，氣體的質(zhì)量、穩(wěn)定性要求最高，主要應(yīng)用于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、刻蝕、摻雜等核心工藝，產(chǎn)品具體包括硅烷、磷烷、砷烷等，產(chǎn)品約占大宗氣體總價(jià)值的63%；（2）其他特種氣體：用于醫(yī)療、激光、食品、電光源等領(lǐng)域，產(chǎn)品具體包括醫(yī)用氧、血?dú)鉁y(cè)定氣、氦氖激光器、食品級(jí)二氧化碳等，產(chǎn)品約占大宗氣體總價(jià)值的27%。（二）產(chǎn)品及優(yōu)勢(shì)：公司以電子特氣為核心，延伸拓展電子大宗氣體公司氣體業(yè)務(wù)以砷烷、磷烷、硅烷等電子特種氣體為核心，又延伸開展了高純氮?dú)狻⒏呒儦錃獾入娮哟笞跉鈽I(yè)務(wù)，主要經(jīng)營方式包括生產(chǎn)銷售、貿(mào)易兩種。以公司2021年經(jīng)營數(shù)據(jù)為例，高純氣體領(lǐng)域營業(yè)收入共計(jì)1.78億元，包括生產(chǎn)銷售類氣體（核心技術(shù)產(chǎn)品）、貿(mào)易類氣體，營收占比分別為45.9%、54.1%。其中生產(chǎn)銷售類氣體為砷烷、磷烷、部分混合氣、部分硅烷、氮?dú)?，其營收占比分別為37.7%、30.3%、21.8%、10.0%、0.3%；貿(mào)易類氣體包括氨氣、三甲基鋁等。生產(chǎn)服務(wù)：公司具備電子特氣領(lǐng)域合成、提純、混配、充裝、分析與檢測(cè)等核心能力，擁有高純材料合成與分離提純、材料成分分析與痕量檢測(cè)兩項(xiàng)核心技術(shù)。特種氣體生產(chǎn)流程包括氣體合成、氣體純化、氣體檢測(cè)、氣體運(yùn)輸?shù)炔襟E。（1）在合成階段，公司掌握砷烷材料的合成技術(shù)，并自主設(shè)計(jì)開發(fā)了砷化鋅與稀硫酸合成的反應(yīng)設(shè)備；（2）在純化階段，公司具備砷烷和磷烷的提純技術(shù)，自主創(chuàng)新產(chǎn)品配方、填充順序，開發(fā)了提純塔、精餾塔等關(guān)鍵設(shè)備，保證氣體品質(zhì)的一致性；（3）在檢測(cè)方面，公司開發(fā)了色譜柱填料配方與裝柱工藝，對(duì)砷烷、磷烷、硅烷、混合氣等產(chǎn)品形成了一套完整的分析與檢測(cè)方法；（4）在運(yùn)輸方面，公司采用現(xiàn)場(chǎng)制氣模式，充分發(fā)揮自身在“裝備+材料”兩項(xiàng)業(yè)務(wù)中的優(yōu)勢(shì)，為客戶提供系統(tǒng)建設(shè)與維護(hù)、氣體制備與輸送、氣體包裝物處理、氣體檢測(cè)等綜合解決方案。產(chǎn)品種類：公司電子氣體產(chǎn)品主要應(yīng)用于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，其中磷烷、砷烷為核心產(chǎn)品，在純度、質(zhì)量等指標(biāo)方面領(lǐng)先國家標(biāo)準(zhǔn)。公司以服務(wù)于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域?yàn)橹行?，發(fā)展砷烷、磷烷、混合氣體、硅烷、氨氣、三甲基鋁等產(chǎn)品。其中砷烷、磷烷為核心產(chǎn)品：砷烷從合成、提純、充裝、分析與檢測(cè)工藝均為自主開發(fā)形成；磷烷采用外購粗磷烷原料進(jìn)行提純、充裝、分析與檢測(cè)的形式生產(chǎn)。產(chǎn)品具有純度高、關(guān)鍵雜質(zhì)含量低、品質(zhì)質(zhì)量穩(wěn)定等特點(diǎn)，領(lǐng)先于國家標(biāo)準(zhǔn)。（三）行業(yè)及市場(chǎng)：寬行業(yè)大市場(chǎng)，公司產(chǎn)品下游空間超百億產(chǎn)業(yè)鏈：電子氣體指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，包括電子特種氣體和電子大宗氣體。上游為空氣、工業(yè)廢氣、基礎(chǔ)化學(xué)原料等原材料提供商，氣體生產(chǎn)、儲(chǔ)存、運(yùn)輸設(shè)備商，能源供應(yīng)商；中游包括砷烷、磷烷、硅烷等電子特種氣體，高純氮?dú)?、高純氫氣等用作環(huán)境氣、保護(hù)氣的電子大宗氣體；下游為以泛半導(dǎo)體領(lǐng)域?yàn)楹诵牡募呻娐?、顯示面板、太陽能光伏、LED等高端制造領(lǐng)域。（1）電子特氣市場(chǎng)空間：電子特氣=特種氣體-其他特種氣體。根據(jù)億渡數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2017-2021年中國電子特氣占特種氣體的比例為60%-65%，假設(shè)2022-2025年比例為62%，則根據(jù)億渡數(shù)據(jù)中國特種氣體市場(chǎng)空間的預(yù)測(cè)值，可計(jì)算出2021-2025年中國電子特氣市場(chǎng)空間為216、254、308、364、428億元。（2）電子氣體市場(chǎng)空間：電子氣體=電子特氣+電子大宗氣體。根據(jù)TECHCET統(tǒng)計(jì)，2020年全球電子特氣約占電子氣體的比例為72%，假設(shè)2021-2025年中國電子特氣市場(chǎng)占比與全球一致，則根據(jù)已計(jì)算出的中國電子特氣市場(chǎng)空間可推算出中國電子氣體市場(chǎng)空間。結(jié)論：預(yù)計(jì)2021-2025年中國電子氣體市場(chǎng)空間分別為300、352、427、505、595億元，五年CAGR為20%，其中電子特氣、電子大宗氣占比分別為72%、28%。（四）競爭：海外龍頭寡頭競爭，國內(nèi)企業(yè)規(guī)模相對(duì)較小全球：電子氣體業(yè)務(wù)呈現(xiàn)寡頭壟斷競爭狀態(tài)。國際上從事電子氣體業(yè)務(wù)的公司主要分布在美國、日本、歐洲、韓國等，2020年美國空氣化工、德國林德集團(tuán)、法國液化空氣、日本太陽日酸的全球市占率分別為25%、25%、23%、18%，合計(jì)超過90%，且高端領(lǐng)域市場(chǎng)基本是由外資占據(jù)。中國：特種氣體領(lǐng)域85%由海外龍頭占據(jù)，本土企業(yè)競爭較為分散。2020年美國空氣化工、法國液化空氣、日本太陽日酸及德國林德共占據(jù)中國市場(chǎng)85%的市場(chǎng)份額，本土企業(yè)競爭格局較為分散，CR6約為7.1%，分別為華特氣體、金宏氣體、南大光電、雅克科技、硅烷科技、正帆科技，市占份額分別為1.9%、1.6%、1.5%、1.3%、0.4%、0.4%。海外龍頭：營收規(guī)模遙遙領(lǐng)先，多項(xiàng)業(yè)務(wù)綜合發(fā)展，公司趨于平臺(tái)化。2021年液化空氣集團(tuán)、林德集團(tuán)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入1701、1963億元，歸母凈利潤186、244億元，毛利率分別為60%、43%，歸母凈利率分別為11%、12%，業(yè)務(wù)整體規(guī)模和毛利水平遠(yuǎn)超國內(nèi)企業(yè)。分業(yè)務(wù)來看，以液化空氣集團(tuán)為例，其2021年業(yè)務(wù)可以分為載氣先進(jìn)材料、電子特種材料、服務(wù)、設(shè)備和安裝，營收占比分別為42%、22%、14%、14%、8%。其中載氣業(yè)務(wù)為現(xiàn)場(chǎng)設(shè)施或者運(yùn)輸提供的載氣（超純氮?dú)?、超純氧氣、氬氣、氫氣等），現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備往往與客戶擬定長達(dá)20年的長期協(xié)議；先進(jìn)材料、電子特種材料用于半導(dǎo)體、平板和光伏行業(yè)的設(shè)備的大批量制造；設(shè)備和安裝主要為氣體和化學(xué)產(chǎn)品設(shè)備銷售和安裝；服務(wù)則主要依托液化空氣專業(yè)知識(shí)對(duì)其現(xiàn)場(chǎng)的氣體和化學(xué)產(chǎn)品進(jìn)行日常管理。公司通過提供全流程服務(wù)成長為一家以氣體為核心的服務(wù)于高端制造平臺(tái)化公司。本土競爭：2020年特種氣體收入大多小于5億，產(chǎn)品純度較為類似，種類略有差異。（1）營業(yè)收入：2020年華特氣體、金宏氣體、南大光電、雅克科技、正帆科技特種氣體業(yè)務(wù)營收分別為5.5、4.5、4.3、3.7、1.1億元。（2）業(yè)務(wù)區(qū)域：正帆科技、金宏氣體業(yè)務(wù)范圍均主要以華東區(qū)域?yàn)橹?。?）技術(shù)水平：正帆科技和南大光電均能生產(chǎn)6N純度高純砷烷、磷烷，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)類似；金宏氣體、華特氣體、雅克科技產(chǎn)品側(cè)重于高純二氧化碳、氫氣、氮?dú)?，其中金宏氣體產(chǎn)品種類的技術(shù)水平略勝一籌。四、開拓大宗氣體和半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)，綜合服務(wù)能力持續(xù)提升（一）Capex切入業(yè)務(wù)開拓客戶，Opex穿越行業(yè)周期實(shí)現(xiàn)業(yè)績延續(xù)電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備受下游行業(yè)景氣度及固定資產(chǎn)投資周期因素的影響較大。由于下游客戶更傾向于在一家氣體供應(yīng)商完成多種產(chǎn)品或服務(wù)的采購，公司首先通過設(shè)備銷售切入核心客戶；其次隨著設(shè)備使用基數(shù)增加深耕核心客戶，向客戶提供電子特氣等消耗品銷售以及MRO等設(shè)備服務(wù)；下游行業(yè)發(fā)展處于穩(wěn)定期后，固定資產(chǎn)投資放緩，公司依然能從MRO和氣體業(yè)務(wù)獲得穩(wěn)定收入來源，從而塑造業(yè)績的持續(xù)性，增強(qiáng)抗風(fēng)險(xiǎn)能力，穿越下游發(fā)展周期。（二）募集資金重點(diǎn)發(fā)展氣體業(yè)務(wù)，電子特氣+電子大宗氣體并舉由電子特氣拓展電子大宗氣體，產(chǎn)品種類持續(xù)豐富。公司雖已具備砷烷、磷烷、硅烷等電子特種氣體的生產(chǎn)能力，但相較于法液空等國際巨頭產(chǎn)品覆蓋面上仍存在一定差距，因此公司著力拓展氫氣、氧氣、氨氣、氬氣等電子大宗氣體生產(chǎn)能力，完善產(chǎn)品品類。2022年10月，公司擬以簡易方式定向發(fā)行943.8萬股，募集資金1.8億元用于合肥高純氫氣項(xiàng)目、濰坊高純大宗項(xiàng)目。（1）合肥大宗項(xiàng)目：新增1260萬

立方/年的天然氣制氫設(shè)備和30萬瓶罐裝特種氣體充裝設(shè)備，可有效填補(bǔ)當(dāng)?shù)仉娮有畔a(chǎn)業(yè)客戶如京東方、惠科、三安光電等對(duì)高純氫氣的需求缺口，同時(shí)滿足區(qū)域內(nèi)加氫站的規(guī)劃需求，項(xiàng)目建設(shè)周期為1年，稅后IRR為33.6%，靜態(tài)投資回收期為4.0年；（2）濰坊高純大宗項(xiàng)目：擬新建一套液體空分設(shè)施具備年產(chǎn)21,271萬標(biāo)準(zhǔn)立方米（氧、氮、氬）產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，添補(bǔ)項(xiàng)目所處園區(qū)企業(yè)大量氧氣、氮?dú)?、氬氣等高純度大宗氣體的需求缺口，項(xiàng)目建設(shè)周期為1.5年，稅后IRR為13.7%，靜態(tài)投資回收期為5.6年。前期募投項(xiàng)目完工在即，產(chǎn)能轉(zhuǎn)化助力未來業(yè)績提升。2020年公司首次公開發(fā)行募投項(xiàng)目為新能源、新光源、半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵配套裝備和工藝開發(fā)配套生產(chǎn)力提升項(xiàng)目和超高純砷化氫、磷化氫擴(kuò)產(chǎn)及辦公樓（含研發(fā)實(shí)驗(yàn)室）建設(shè)項(xiàng)目，分別服務(wù)于Capex和Opex業(yè)務(wù)，受疫情影響項(xiàng)目竣工日期均推遲到2022年12月，截至2022年10月，工藝研發(fā)項(xiàng)目、氣體擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目的完工進(jìn)度分別為42.2%、13.7%。募投項(xiàng)目的完工將助力公司關(guān)鍵材料生產(chǎn)、高純輸送、循環(huán)利用等領(lǐng)域的技術(shù)水平，同時(shí)擴(kuò)大現(xiàn)有的砷烷20噸/年，磷烷30噸/年的生產(chǎn)能力，技術(shù)優(yōu)勢(shì)和產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)下業(yè)務(wù)發(fā)展?jié)摿薮?。（三）依托鴻舸布局半?dǎo)體設(shè)備零部件，GasBox產(chǎn)品訂單豐厚由外部供氣設(shè)備到內(nèi)部工藝模塊，發(fā)力氣柜模組業(yè)務(wù)。2021年公司在上海臨港成立鴻舸半導(dǎo)體子公司，向泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備制造商提供通用模塊。設(shè)備商通常聚焦于其核心模塊，復(fù)雜通用模塊以外購為主，目前中國通用模塊主要依賴國外供應(yīng)商，公司通過其GasBox（氣柜模組）產(chǎn)品助推國產(chǎn)替代。氣柜模組為用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的流體輸送系統(tǒng)/設(shè)備，是特種工藝氣體輸送控制裝置，按照晶圓生產(chǎn)工藝的具體需求對(duì)不同特殊工藝氣體進(jìn)行傳輸、分配和混合。主要應(yīng)用于刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、離子注入設(shè)備等。氣柜模組產(chǎn)品薄膜沉積等半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件，中國市場(chǎng)規(guī)模超50億元。根據(jù)拓荊科技招股書，PECVD、SACVD等薄膜沉積設(shè)備零部件包括機(jī)械類、機(jī)電一體類、電氣類、氣體輸送系統(tǒng)類、真空系統(tǒng)類、附屬設(shè)備等10個(gè)大類，氣柜模組設(shè)備類屬于氣體輸送系統(tǒng)，其價(jià)值占比約為8%。結(jié)合拓荊科技主營業(yè)務(wù)成本占比及結(jié)構(gòu)，可以計(jì)算出氣體輸送系統(tǒng)約占薄膜沉積設(shè)備總成本的4.2%。根據(jù)公司投資者關(guān)系，中國氣柜模組產(chǎn)品市場(chǎng)規(guī)模大概為50億元并且持續(xù)增長，產(chǎn)品成長空間大；產(chǎn)品的主要提供商除公司外，還包括美國超科林(UCT)、富創(chuàng)精密等，公司子公司鴻舸自2021年成立以來，已獲得3億訂單，產(chǎn)品推廣迅速?！俺隹诠苤啤毕拗葡掳雽?dǎo)體零部件雙重國產(chǎn)替代加快，部分零部件國產(chǎn)替代性較強(qiáng)，某些先進(jìn)零部件仍短缺。2022年美國工商部發(fā)布“出口管制”政策，對(duì)16nm及以下邏輯、18nm及以下DRAM、128層及以上NAND的設(shè)備、零部件做出限制，設(shè)備商難以獲得先進(jìn)制程零部件，對(duì)國產(chǎn)零部件需求強(qiáng)勁而迎來“雙重國產(chǎn)替代”的機(jī)遇。目前，各大設(shè)備廠商零部件國產(chǎn)進(jìn)程加快：中微公司的刻蝕機(jī)約60%的零部件國產(chǎn)化，MOCVD有約80%的零部件國產(chǎn)化；華海清科機(jī)臺(tái)零部件國產(chǎn)化率在70%～80%；北方華創(chuàng)半導(dǎo)體裝備以國產(chǎn)零部件為主；盛美上海、屹唐半導(dǎo)體等也紛紛推進(jìn)部分零部件的國產(chǎn)化進(jìn)程。然而，國內(nèi)以機(jī)械臂為代表的部分先進(jìn)半導(dǎo)體零部件短缺，以拓荊科技、芯源微為代表的公司仍以海外零部件為主。加工件替代情況優(yōu)于標(biāo)準(zhǔn)件，高國產(chǎn)化工藝環(huán)節(jié)零部件替代受益。正帆科技的氣體模組產(chǎn)品類屬加工件，國產(chǎn)化推進(jìn)速度優(yōu)于標(biāo)準(zhǔn)件；同時(shí)，產(chǎn)品主要用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備，目前該類設(shè)備國產(chǎn)化率相對(duì)較高，也催生出較高的國產(chǎn)零部件需求。半導(dǎo)體零部件相較于設(shè)備產(chǎn)品種類更加多樣化，競爭格局更為分散利好本土企業(yè)發(fā)展。半導(dǎo)體設(shè)備廠商頭部效應(yīng)較為明顯，根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院統(tǒng)計(jì)，光刻機(jī)