1月份化學(xué)w7站一重大事項(xiàng)概述

周報(bào)—W7Wuhu

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Department張卷—化學(xué)站一.重大事項(xiàng)概述提綱三.本周自我總結(jié)二.異常處理心得Wuhu

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Department一、重大事項(xiàng)概述Wuhu

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Department日期:2014/12/27機(jī)臺名稱：A1QXC041異常原因：片源出貨后載籃上有水珠處理時間：12:00-13:00處理內(nèi)容：

1.片源經(jīng)ipa烘干后，由手臂取出后發(fā)現(xiàn)載籃上有水珠；2.觀察發(fā)現(xiàn)只有兩批片源同時run貨時會出現(xiàn)這一狀況，因?yàn)槿『娓珊蟮钠辞笆直弁Ｖ顾凵戏?，手臂上帶有較多水漬；

3.對比其他HCL清洗機(jī)發(fā)現(xiàn)其他機(jī)臺無此現(xiàn)象，對比配方時發(fā)現(xiàn)41號機(jī)水槽配方細(xì)項(xiàng)和其他機(jī)臺不一樣，聯(lián)系工藝過來處理，將此機(jī)臺水槽配方改為與其他機(jī)臺一致，再進(jìn)行空run測試；

4.測試后查看載籃和卡塞上無水漬，多次空run都正常后交付生產(chǎn)。一、重大事項(xiàng)概述日期:2014/12/29機(jī)臺名稱：A3DLZ006異常原因：射頻功率不穩(wěn)定處理時間：9:00-10:00處理內(nèi)容：機(jī)臺作業(yè)時，電流和射頻功率不穩(wěn)定，通過視窗觀察射頻時閃爍； 檢查射頻功率源和自動匹配器后部接線無異常，保險絲均正常，重新插拔接線后無果，將射頻功率源更換之后仍出現(xiàn)相同問題，更換自動匹配器后，機(jī)臺射頻正常，空run測試正常，測量卡塞溫度在正常范圍內(nèi)；進(jìn)行多次run測試正常后，將機(jī)臺交予生產(chǎn)。二、異常處理心得Wuhu

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Department處理異常前，戴好防護(hù)用具，保證人身安全；通過對比相同機(jī)臺往往能更快查找出問題所在；處理完成后，切記要進(jìn)行測試工作，確保機(jī)臺能正常運(yùn)行方可交付工藝或生產(chǎn)。三、本周自我總結(jié)Wuhu

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Department自動清洗櫥片源烘干后仍有水漬，可能原因是HN2壓力不足，夾取載籃時手臂上殘留的水珠太多等，在確認(rèn)不是硬件問題后，要從軟體上查找原因，有時往往是軟體問題所導(dǎo)致的；十三所等離子去膠機(jī)目前每日都有對卡塞進(jìn)行測溫，若卡塞溫度過高，可能是勻氣盤勻氣不均，導(dǎo)致射頻時卡塞各個點(diǎn)反應(yīng)不均勻，部分點(diǎn)溫度升高；射頻不穩(wěn)定有可