ESD靜電防護檢測及管控標準

,表單編號：MD-013-01版本：00,,,,,,,

,ESD靜電防護檢測及管控標準,,,,,,,

項次,管制項目,,量測工具,量測項目,管控范圍,檢測周期,檢測方法,量測記錄表單

1,靜電鞋,,表面阻抗測試儀,表面阻抗,5.0*105＜R＜1.0*109Ω,每季度,抽檢10套,"靜電帽、靜電衣、靜電手套、靜電鞋及靜電手環(huán)測試記錄表

<CA-F-MD-013-12>"

2,,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

3,靜電手環(huán),,萬用表,腕帶連接電纜電阻,7.5*105＜R＜1×107Ω,,,

4,,,萬用表,腕帶內(nèi)表面對電纜扣電阻,R＜1.0*105Ω,,,

5,靜電衣、褲、帽、手套,,表面阻抗測試儀,表面阻抗,1.0*105＜R＜1.0*109Ω,,,

6,,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

7,靜電接地,,接地電阻測試儀,主接地線對通用接地點接地電阻,R﹤1Ω,每季度,每條線體進行點檢,"靜電及設備接地線測試記錄表

<CA-F-MD-013-11>"

8,,,接地電阻測試儀,通用接地點對地,R﹤4Ω,每半年,,

9,設備接地,,接地電阻測試儀,設備接地線對主接地線接地電阻,R﹤1Ω,每季度,抽取10個進行點檢,

10,,,萬用表,設備泄露電壓,漏電壓＜0.5V,每季度,,

11,防靜電臺墊,,表面阻抗測試儀,表面電阻,1.0*106Ω＜R＜1.0*109Ω,每月,"各區(qū)域

抽檢5塊，所有臺墊每年確認一遍","防靜電臺墊表面電阻及靜電壓測試記錄表

<CA-F-MD-013-08>"

12,,,表面阻抗測試儀,系統(tǒng)電阻,7.5*105Ω＜R＜1.0*109Ω,,,

13,,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

14,"靜電袋、靜電氣泡袋及

靜電泡棉",,表面阻抗測試儀,表面電阻,1.0×104Ω≦R＜1.0*1010Ω,每月,抽檢20個,"靜電袋、靜電氣泡袋及靜電泡棉測試記錄表

<CA-F-MD-013-10>"

15,,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

16,靜電地板,,表面阻抗測試儀,表面電阻,1.0×105Ω≦R＜1.0*1010Ω,每半年,200M^2抽檢5個點,"防靜電地板測試記錄表

<CA-F-MD-013-06>"

17,,,,系統(tǒng)電阻,5*104Ω＜R＜1.0*109Ω,,,

18,,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

19,靜電箱、靜電框、托盤,導電型,表面阻抗測試儀,表面電阻,1.0×104Ω≦R＜1.0*107Ω,每月,各抽檢5個,"靜電箱、靜電框、靜電托盤、防靜電毛刷和防靜電鑷子測試記錄表

<CA-F-MD-013-13>"

20,,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

21,,耗散型,表面阻抗測試儀,表面電阻,1.0×106Ω≦R＜1.0*109Ω,,,

22,,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

23,防靜電毛刷,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

24,,,表面阻抗測試儀,表面電阻,1.0×104Ω≦R＜1.0*1011Ω,,,

25,防靜電鑷子,,靜電場測試儀,靜電壓,<100V,,,

26,離子風扇,,靜電壓測試儀,靜電壓,2秒內(nèi)靜電壓消散至100V以下,每月,全檢,離子風扇點檢記錄表

27,,,靜電壓測試儀,離子平衡電壓,≤±15V,,,

28,物料車,,表面阻抗測試儀,表面電阻,1.0×106Ω≦R＜1.0*109Ω,每月,"各區(qū)域抽檢3個，

不足3個則全檢","物料車ESD檢測記錄表

<CA-F-MD-013-14>"

29,,,表面阻抗測試儀,系統(tǒng)電阻,7.5*105Ω＜R＜1.0*109Ω,,,

30,,,靜電壓測試儀,靜電壓,<100V,,,

31,,,直尺,靜電鏈長度,水平接地長度>8CM,,,

32,防靜電工作椅,,表面阻抗測試儀,表面對接地鏈電阻,1.0×106Ω≦R＜1.0*109Ω,每月,"每個區(qū)域5把，

抽檢需涵蓋所有EPA區(qū)域","防靜電工作椅表面電阻及靜電壓測試記錄表

<CA-F-MD-013-07>"

33,,,表面阻抗測試儀,"工作椅面與

靠背椅面電阻",1.0×106Ω≦R＜