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PAGEPAGE1《半導(dǎo)體器件物理》復(fù)習(xí)思考題2012.12(一)判斷對(duì)錯(cuò):(對(duì)的打“”,錯(cuò)的打“×”)(1)p-n結(jié)勢(shì)壘區(qū)中存在有空間電荷和強(qiáng)的電場(chǎng)。()(2)單邊突變的p+-n結(jié)的勢(shì)壘區(qū)主要是在摻雜濃度較高的p+型一邊。(×)(3)熱平衡、非簡(jiǎn)并p-n結(jié)(同質(zhì)結(jié))的勢(shì)壘高度可以超過(guò)半導(dǎo)體的禁帶寬度。(×)(4)突變p-n結(jié)因?yàn)槭怯删鶆驌诫s的n型半導(dǎo)體和p型半導(dǎo)體構(gòu)成的,所以勢(shì)壘區(qū)中的電場(chǎng)分布也是均勻的。(×)(5)因?yàn)樵诜聪螂妷合聀-n結(jié)勢(shì)壘區(qū)中存在有較強(qiáng)的電場(chǎng),所以通過(guò)p-n結(jié)的反向電流主要是多數(shù)載流子的漂移電流。(×)(6)p-n結(jié)所包含的主要區(qū)域是勢(shì)壘區(qū)及其兩邊的少數(shù)載流子擴(kuò)散區(qū)。()(7)p-n結(jié)兩邊準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)之差就等于p-n結(jié)上所加電壓的大小。()(8)金屬與半導(dǎo)體接觸一般都形成具有整流特性的Schottky勢(shì)壘,但如果金屬與較高摻雜的半導(dǎo)體接觸卻可以實(shí)現(xiàn)歐姆接觸。()(9)BJT的共基極直流電流增益α0,是除去集電極反向飽和電流之外的集電極電流與發(fā)射極電流之比。()(10)BJT的特征頻率fT決定于發(fā)射結(jié)的充電時(shí)間、載流子渡越中性基區(qū)的時(shí)間、集電結(jié)的充電時(shí)間和載流子渡越集電結(jié)勢(shì)壘區(qū)的時(shí)間。()(11)集電極最大允許工作電流ICM是對(duì)應(yīng)于晶體管的最高結(jié)溫時(shí)的集電極電流。(×)(12)使BJT由截止?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)換為臨界飽和狀態(tài),是由于驅(qū)動(dòng)電流IBS=ICS/β≈VCC/βRL的作用;而進(jìn)一步要進(jìn)入過(guò)驅(qū)動(dòng)飽和狀態(tài),則還需要人為地在集電極上加正向電壓。(×)(13)在過(guò)驅(qū)動(dòng)飽和狀態(tài)下工作的BJT,除了需要考慮基區(qū)中的少數(shù)載流子存儲(chǔ)效應(yīng)以外,還需要考慮集電區(qū)中的少數(shù)載流子存儲(chǔ)效應(yīng)。()(14)異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管(HBT),由于采用了寬禁帶的發(fā)射區(qū),使得注射效率與發(fā)射結(jié)兩邊的摻雜濃度關(guān)系不大,所以即使基區(qū)摻雜濃度較高,也可以獲得很高的放大系數(shù)和很高的特征頻率。()(15)對(duì)于耗盡型的長(zhǎng)溝道場(chǎng)效應(yīng)晶體管,在柵極電壓一定時(shí),提高源-漏電壓總可以使溝道夾斷。()(16)當(dāng)耗盡型場(chǎng)效應(yīng)晶體管的溝道被夾斷以后,溝道就不能夠再通過(guò)電流了,漏極電流將變?yōu)?。(×)(17)對(duì)于場(chǎng)效應(yīng)晶體管,緩變溝道近似就是把柵極電壓產(chǎn)生的電場(chǎng)的作用和源-漏電壓產(chǎn)生的電場(chǎng)的作用分開來(lái)考慮,這種近似只適用于長(zhǎng)溝道晶體管,對(duì)短溝道晶體管并不適用。()(18)場(chǎng)效應(yīng)晶體管溝道區(qū)域的摻雜濃度越大,器件的閾值電壓就越高。()(19)對(duì)于MOSFET,當(dāng)出現(xiàn)溝道以后,柵極電壓再增高,半導(dǎo)體表面以內(nèi)的耗盡層的厚度就不再增大了。()(20)增強(qiáng)型MOSFET是在不加?xùn)艠O電壓時(shí)存在有溝道、能夠?qū)щ姷囊环N場(chǎng)效應(yīng)晶體管;耗盡型MOSFET是在不加?xùn)艠O電壓時(shí)無(wú)溝道、不導(dǎo)電的一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管。(×)(21)MOSFET的亞閾值斜率(擺幅)S值的大小反映了MOSFET在亞閾區(qū)的開關(guān)性能,要求越小越好。()(22)短溝道MOSFET的閾值電壓,由于電荷“共享”的緣故,將有所降低。()(23)窄溝道MOSFET的閾值電壓將有所升高,原因是柵極的“邊緣場(chǎng)”、或者實(shí)際上是場(chǎng)區(qū)表面摻雜所造成的。()(24)MOSFET溝道中的熱電子主要是出現(xiàn)在漏極一端,它對(duì)于小尺寸MOSFET以及MOS-VLSI的性能退化或者失效的影響不大。(×)(25)MOSFET的擊穿機(jī)理有漏結(jié)雪崩擊穿、S-D穿通和溝道雪崩擊穿三種;而短溝道MOSFET的擊穿主要是溝道雪崩擊穿和S-D穿通。()(26)MOS-數(shù)字VLSI中器件的小型化要求,實(shí)際上就是要減小源和漏的結(jié)深、減薄柵氧化層厚度以及降低電源電壓或提高襯底的摻雜濃度。()(27)CMOS具有輸出電壓擺幅大(無(wú)閾值損失)、噪聲容限大、靜態(tài)功耗低等優(yōu)點(diǎn),很適宜于大規(guī)模集成。()(28)對(duì)于SOI襯底的MOS-VLSI,一般是采用薄半導(dǎo)體膜的耗盡型MOSFET,因?yàn)樗哂袃?yōu)異的短溝特性和近似理想的亞閾斜率等優(yōu)點(diǎn)。()(二)填空:(1)提高半導(dǎo)體的摻雜濃度,p-n結(jié)的勢(shì)壘高度將會(huì)_增大__,p-n結(jié)的勢(shì)壘厚度將會(huì)___;如果重?fù)诫s,使半導(dǎo)體達(dá)到高度簡(jiǎn)并時(shí),p-n結(jié)的勢(shì)壘高度將會(huì)_減?。撸撸?。(增大;減??;不變)(2)當(dāng)環(huán)境溫度升高時(shí),p-n結(jié)的勢(shì)壘高度將會(huì)_減?。撸撸撸琾-n結(jié)的勢(shì)壘厚度將會(huì)_減?。撸?,p-n結(jié)的正向壓降將會(huì)__減?。撸撸摺#ㄔ龃?;減??;不變)(3)半導(dǎo)體耗盡層就是其中不存在有_任何載流子____的區(qū)域。(任何載流子;任何電荷;任何載流子和任何電荷)(4)線性緩變p-n結(jié)的雪崩擊穿電壓要_高于__突變p-n結(jié)的擊穿電壓。(高于;低于;等于)(5)同時(shí)表征少數(shù)載流子的壽命長(zhǎng)短和擴(kuò)散快慢的一個(gè)重要參量是_擴(kuò)散長(zhǎng)度___。(遷移率;擴(kuò)散系數(shù);擴(kuò)散長(zhǎng)度)(6)決定通過(guò)p-n結(jié)電流大小的主要因素是_少數(shù)載流子擴(kuò)散的濃度梯度_。(少數(shù)載流子擴(kuò)散的濃度梯度;多數(shù)載流子的濃度;載流子的漂移速度;勢(shì)壘區(qū)中的電場(chǎng));限制p-n結(jié)電流大小的主要區(qū)域是_勢(shì)壘區(qū)兩邊的中性擴(kuò)散區(qū)_。(存在有電場(chǎng)的勢(shì)壘區(qū);勢(shì)壘區(qū)兩邊的中性擴(kuò)散區(qū);勢(shì)壘區(qū)和擴(kuò)散區(qū)以外的中性區(qū))(7)通過(guò)p+-n結(jié)的電子電流__小于___空穴電流。(大于;小于;等于)(8)對(duì)于Si的p-n結(jié),其反向電流主要是_勢(shì)壘區(qū)中復(fù)合中心的產(chǎn)生電流_。(在擴(kuò)散區(qū)的少數(shù)載流子擴(kuò)散電流;勢(shì)壘區(qū)中復(fù)合中心的產(chǎn)生電流;勢(shì)壘區(qū)中的漂移電流)溫度升高時(shí),Sip-n結(jié)的反向電流將_指數(shù)增加_。(線性增加;指數(shù)增加;快速下降;不變)(9)p-n結(jié)在正向電壓下呈現(xiàn)出的電容,有__勢(shì)壘電容和擴(kuò)散電容____。(勢(shì)壘電容;擴(kuò)散電容;勢(shì)壘電容和擴(kuò)散電容)(10)由金屬-半導(dǎo)體接觸構(gòu)成的Schottky二極管,是_多數(shù)載流子器件___。(少數(shù)載流子器件;多數(shù)載流子器件)與p-n結(jié)二極管相比,Schottky二極管具有____較低__的正向電壓。(較高;較低;相等)(11)對(duì)于放大狀態(tài)的n+-p-n晶體管,通過(guò)基極的電流分量包括有_在基區(qū)復(fù)合的電子電流,在發(fā)射區(qū)注入空穴的擴(kuò)散電流,在基區(qū)抽取的電子的擴(kuò)散電流,發(fā)射結(jié)勢(shì)壘區(qū)中復(fù)合中心的電流_。(12)BJT的ICEO要比ICBO約大___β0____倍。(α0;β0)(13)BJT的發(fā)射極電流集邊效應(yīng)是由于_基區(qū)擴(kuò)展電阻__而產(chǎn)生的。(發(fā)射極串聯(lián)電阻;基區(qū)擴(kuò)展電阻;基區(qū)展寬效應(yīng);基區(qū)電導(dǎo)調(diào)制效應(yīng))(14)Early效應(yīng)是由集電結(jié)電壓變化__所引起的,其基本涵義是__________;Kirk效應(yīng)是由_大的發(fā)射極電流_所引起的,其基本的涵義是。(發(fā)射結(jié)電壓變化;集電結(jié)電壓變化;高的集電結(jié)電壓;大的發(fā)射極電流;大的基極電流)(15)BJT的集電結(jié)與單獨(dú)的p-n結(jié)相比(在可類比的情況下),它通過(guò)的電流要_大_,其擊穿電壓要_低__。(大;?。桓?;低)(16)影響雙極型晶體管耗散功率的主要因素是____熱阻___。(基極電阻;擊穿電壓;集電極最大允許工作電流;熱阻)(17)BJT的開關(guān)時(shí)間一般主要決定于_基區(qū)和集電區(qū)中過(guò)量存儲(chǔ)電荷消失的時(shí)間__。(發(fā)射結(jié)的充放電時(shí)間;基區(qū)和集電區(qū)中過(guò)量存儲(chǔ)電荷消失的時(shí)間;集電結(jié)的充放電時(shí)間)(18)與雙極型晶體管不同,場(chǎng)效應(yīng)晶體管是_電壓控制__器件(電壓控制;電流控制),是__多數(shù)__載流子器件(多數(shù);少數(shù))。(19)MOSFET的閾值電壓基本上包含有_柵氧化層上的電壓,使半導(dǎo)體表面產(chǎn)生強(qiáng)反型層所需要的電壓,平帶電壓[包含金屬-半導(dǎo)體的功函數(shù)差和SiO2/Si系統(tǒng)內(nèi)部和界面的電荷]___________幾個(gè)部分的電壓。(20)MOSFET的閾值電壓隨著溫度的升高將_下降_(下降;增大;不變)。(21)對(duì)于長(zhǎng)溝道場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其電流飽和的機(jī)理是_溝道夾斷__;而對(duì)于短溝道溝道場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其電流飽和的機(jī)理是_速度飽和___。(溝道夾斷;速度飽和;遷移率下降)(22)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的跨導(dǎo)gm是反映柵極電壓變化引起源-漏電流變化的大?。撸艠O電壓變化引起源-漏電流變化的大??;源-漏電壓變化引起源-漏電流變化的大小),它表征著場(chǎng)效應(yīng)晶體管的_放大性能__(輸出電阻;輸入電阻;放大性能)。(23)對(duì)于場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其飽和區(qū)的跨導(dǎo)要_大于__線性區(qū)的跨導(dǎo)(大于;小于;等于),并且飽和區(qū)的跨導(dǎo)等于_線性區(qū)的漏電導(dǎo)_(飽和區(qū)的漏電導(dǎo);線性區(qū)的漏電導(dǎo);襯底的跨導(dǎo))。(24)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的特征頻率(截止頻率)fT是根據(jù)_輸出交流電流等于輸入交流電流_來(lái)確定的(輸出交流電流等于輸入交流電流;輸出阻抗等于輸入阻抗;輸出電壓等于輸入電壓);短溝道MOSFET的fT,往往決定于柵極回路時(shí)間常數(shù),它與溝道長(zhǎng)度之間具有_平方反比__關(guān)系(正比;反比;無(wú)關(guān);平方反比)。(25)MOSFET表面溝道中載流子的遷移率要_低于__埋溝中載流子的遷移率(高于;低于;等于),并且在室溫下遷移率隨著溫度的升高將_下降___(下降;增大;不變)。(26)MOSFET源-漏之間所能加的最高電壓(擊穿電壓)決定于_漏結(jié)的擊穿電壓和源-漏穿通電壓______________。(源結(jié)的擊穿電壓;漏結(jié)的擊穿電壓;柵氧化層的耐壓;源-漏穿通電壓)。(27)MOSFET的亞閾狀態(tài)是_不出現(xiàn)_溝道的一種工作模式(出現(xiàn);不出現(xiàn));亞閾電流與柵極電壓之間_有指數(shù)__關(guān)系(有指數(shù);有線性;沒有)。(28)限制著小尺寸MOSFET進(jìn)一步縮小尺寸的DIBL效應(yīng),將使得漏極電流_增大_,和使得閾值電壓_減小__。(增大;減??;不變)(29)小尺寸MOSFET的LDD(輕摻雜漏區(qū))結(jié)構(gòu),其主要特點(diǎn)是可防止_熱電子效應(yīng)__________。(短溝道效應(yīng);熱電子效應(yīng);源-漏穿通效應(yīng))(30)浮置柵雪崩注入MOS(FAMOS)器件和疊柵雪崩注入MOS(SAMOS)器件都是利用_____溝道雪崩注入效應(yīng)_______來(lái)工作的一種存貯器件。(雪崩擊穿效應(yīng);溝道雪崩注入效應(yīng);載流子速度飽和效應(yīng))(31)雙極型集成電路中器件的縮小規(guī)則適宜于采用_恒定電壓(CV)縮小規(guī)則__,而MOS-VLSI數(shù)字集成電路中器件的縮小規(guī)則適宜于采用___恒定亞閾特性縮小規(guī)則_____。(恒定電場(chǎng)(CE)縮小規(guī)則;恒定電壓(CV)縮小規(guī)則;恒定亞閾特性縮小規(guī)則)(32)對(duì)于CMOS-E/E靜態(tài)反向器,最低電平是_地電位___,最高電平是_電源電壓__。(電源電壓;地電位;電源電壓減去閾值電壓;電源電壓減去柵-源電壓)(33)CMOS反向器的邏輯閾值電壓一般選取為電源電壓的一半_(電源電壓;電源電壓的一半;驅(qū)動(dòng)管的閾值電壓);在這時(shí)驅(qū)動(dòng)管和負(fù)載管都處于飽和狀態(tài)__狀態(tài)(截止?fàn)顟B(tài);飽和狀態(tài);放大狀態(tài))。(34)對(duì)于CMOS,采用SOI襯底的最大好處之一是___可有效地消除“自鎖”效應(yīng)_______。(可有效地消除“自鎖”效應(yīng);可防止熱電子效應(yīng);可提高擊穿電壓)(35)對(duì)于VLSI中的小尺寸MOSFET,其溝道區(qū)域一般都需要進(jìn)行摻雜,它的目的主要是__防止源-漏穿通和控制閾值電壓______。(消除熱電子效應(yīng);防止源-漏穿通;控制閾值電壓;減弱短溝道效應(yīng))(36)實(shí)際短溝道MOSFET的輸出伏安特性曲線,在飽和區(qū)的電流并不飽和,其主要原因是___DIBL效應(yīng)和溝道長(zhǎng)度調(diào)制效應(yīng)___。(DIBL效應(yīng);溝道長(zhǎng)度調(diào)制效應(yīng);速度飽和效應(yīng):熱載流子效應(yīng))(三)復(fù)習(xí)思考題:1.空間電荷區(qū)是怎樣形成的。畫出零偏與反偏狀態(tài)下pn結(jié)的能帶圖。2.為什么反偏狀態(tài)下的pn結(jié)存在電容?為什么隨著反偏電壓的增加,勢(shì)壘電容反而下降?3.什么是單邊突變結(jié)?為什么pn結(jié)低摻雜一側(cè)的空間電荷區(qū)較寬?4.對(duì)于突變p+-n結(jié),分別示意地畫出其中的電場(chǎng)分布曲線和能帶圖:①熱平衡狀態(tài)時(shí);②加有正向電壓時(shí);③加有反向電壓時(shí)。5.畫出正偏時(shí)pn結(jié)的穩(wěn)態(tài)少子濃度分布圖。6.畫出正偏pn結(jié)二極管的電子和空穴電流圖。7.解釋pn結(jié)二極管擴(kuò)散電容形成的機(jī)制;解釋產(chǎn)生電流和復(fù)合電流的形成機(jī)制。8.什么是存儲(chǔ)時(shí)間?9.為什么隨著摻雜濃度的增大,擊穿電壓反而下降?10.畫出有偏壓時(shí)理想金屬半導(dǎo)體結(jié)的能帶圖,在圖上標(biāo)出肖特基勢(shì)壘。11.比較肖特基二極管和pn結(jié)二極管正偏時(shí)的I-V特性。12.什么是異質(zhì)結(jié)?13.對(duì)于n+pn晶體管(基區(qū)寬度<<少數(shù)載流子擴(kuò)散長(zhǎng)度),分別示意畫出其中各個(gè)區(qū)域中的少數(shù)載流子濃度的分布曲線:①正向放大工作狀態(tài);②截止?fàn)顟B(tài);③臨界飽和狀態(tài);④深飽和狀態(tài)。14共基極電流增益的三個(gè)限制因素(發(fā)射極注入效率系數(shù)、基區(qū)輸運(yùn)系數(shù)和復(fù)合系數(shù))的定義和對(duì)共基極電流增益的影響。15.什么是基區(qū)寬度調(diào)制效應(yīng)?該效應(yīng)的另一個(gè)稱呼是什么?16.什么是大注入效應(yīng)?17.晶體管的截止頻率是如何定義的?限制雙極型晶體管的頻率響應(yīng)的延時(shí)因素有那些?18.大致繪出p溝道pnJFET的截面圖,標(biāo)明器件工作時(shí)的電壓極性。19.定性闡述n溝道耗盡型pnJFET的基
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