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文檔簡介

冷氫化操作規(guī)程一、工藝流程崗位流程將經(jīng)過枯燥的硅粉、催化劑〔氯化銅〕和受熱汽化混合的氣體〔四氯化硅、氯氣、氯化氫〕依據(jù)規(guī)定的摩爾比進入氫化反響爐〔R3101〕內(nèi),在汽化固流化床的條件下,反響生成三氯氫硅氣體;工藝氣體經(jīng)過多級的除塵除雜、冷凝、分別〔四氯化硅、三氯氫硅和置;從裝置過濾、沉降、解析等裝置收集的廢氣進入尾氣淋洗塔處理,渣漿進入液體淋洗塔處理。工藝流程簡介首先將40-120目的工藝硅粉人工參加烘粉爐〔E3108〕蒸汽進展枯燥,烘粉5噸/批次,并通過氮氣電加熱器〔E3107〕置換、枯燥硅粉,枯燥器溫2008〔V310進料。40-120目的催化劑〔氯化銅〕人工參加催化劑承受罐〔V3108〕進展氮氣置換除盡空氣、水分后,以氫氣置換氮氣氣氛合格,依據(jù)硅粉進料而向計量罐V310〕進料〔100:2100:1;外界氫氣進入壓縮機〔C3101→C3102〕氣體壓縮機增壓至3.2MPa左右,由外界四氯化硅進入四氯化硅緩沖罐〔V3101〕增壓輸送至四氯化硅預(yù)熱器E3102:1混合后的氣體〔四氯化硅、氫氣、氯化氫〕四氯化硅過熱器連續(xù)汽化混合后,混550℃左右。預(yù)先將壓縮氫氣通入氫化爐內(nèi)并注入肯定的硅粉、催化劑底料,建立流化床之后,將四氯化硅與氫氣混合氣通入氫化爐流化床〔R3101〕內(nèi),在530-590℃、2.2-2.9MPa左右的氣固流化床條件下,反響生成三氯氫硅氣體。工藝氣體經(jīng)過旋風(fēng)分別器〔S3102、文丘里洗滌器〔M3102、分別罐粗餾V311、洗滌塔T3101〕至殘夜蒸發(fā)罐〔V3114〕內(nèi)置攪拌器〔M3103〕增加流淌性,經(jīng)過殘夜蒸發(fā)罐蒸〔E3114〕冷凝,重組分儲罐〔V3115〕收〔V3101〕再利用,剩余的四氯化硅帶動廢渣進入淋洗裝置環(huán)保處理;凈化的工藝氣體連續(xù)進入冷凝器〔E311、中間冷凝器〔E311、終端冷凝器E311、企業(yè)分別罐V311〕進展冷凝、分別、冷卻過后,冷卻氣體進入循環(huán)氫壓縮機〔C3102〕升壓再次進入汽化混合工序使用;冷凝液體〔含三氯塔T310、文丘里洗滌器M3102〕循環(huán)并過濾雜質(zhì),剩下的局部冷凝液進入精餾工序提純至滿足質(zhì)量要求后,三氯氫硅送復(fù)原工序使用。二、操作程序1、正常開車、開車前的預(yù)備工作、設(shè)備管道的吹掃a吃掃的目的,是將設(shè)備管道內(nèi)的鐵銹、灰塵、焊渣、積水等雜物吹凈,防媒的壽命。b吃除介質(zhì):壓縮空氣。c吹除壓力:0.5MPa?!财渌穆浴?、開車前的檢查和確認(rèn)a裝置全部完工,并經(jīng)三查四定,中間交接驗收合格。b設(shè)備、管道、閥門有強度試驗記錄,吹掃、試壓到達合格。c儀表掌握系統(tǒng)安裝完畢、齊全,經(jīng)檢查驗收合格、滿足要求。d檢查和確認(rèn)公用工程系統(tǒng)是否符合要求和正常供給。e確認(rèn)安全閥是否已正常投用,臨時盲板是否已經(jīng)撤除,應(yīng)加的盲板是否安工藝要求已加好。f后,潤滑油位符合制造廠要求,冷卻水能正常供給。...l開車前凡自動閥前肯定要翻開。mSi粉烘粉爐參加Si粉枯燥。n尾氣淋洗和渣漿淋洗工序具備收料處理條件。o通知灌區(qū)工段做好送料預(yù)備。3、硅粉枯燥單元硅粉進料單元要點:1、烘粉爐〔E3108〕進硅粉枯燥前,V3106、V3108、S3103不能向排塵管線硅粉過濾器〔S3101〕一段除塵;2V3106V3108S3103V3109一段排塵管線后,E3108進料可進展。具體操作如下:a確認(rèn)硅粉過濾器〔S3101〕放空閥翻開,烘粉爐〔E3108〕硅粉放料閥門〔NP-0602〕關(guān)閉,E3108加熱蒸汽閥門關(guān)閉,稍稍翻開E31070.3MPa氮〔V310關(guān)閉,稍稍翻開氣動盤閥后端0.3MPa氮氣閥門置換除塵管線;關(guān)閉催化劑承受罐〔V3108〕放料閥門〔NP-0606,翻開V3108排塵出口現(xiàn)場氣動盤閥〔NP-0604,稍稍翻開V31080.3MPa氮氣閥門置換排塵管線;關(guān)閉S3103〔V310和切斷閥HV-0606;廢觸體罐〔V3109〕處于正常收料閥門狀態(tài)〔指V3109下排料閥門關(guān)閉,S3101下料閥門翻開,排塵出口閥門翻開,V3109的0.6MPa氮氣閥門〕以上置換排塵管線30min后,關(guān)閉進E31070.3MPa氮氣閥門,關(guān)閉V3106處氣動盤閥〔NP-0603〕后端0.3MPa氮氣閥門,關(guān)閉V3108〔NP-0604〕,關(guān)閉0.3MPaV3109處0.6MPa〔常壓〔TI-0610〕≤100℃。b通過烘粉爐〔E310〕加料口向烘粉爐注入硅粉〔每批按5噸計算,硅粉參加完畢,關(guān)閉加料口〔留意以盲板封閉加料口;c〔E3108〕〔TI-0610〕150℃。400Nm/h,V3106處氣動盤閥〔0.3MPaV3108氮氣閥門開度;恢復(fù)V3109處0.6MPa氮氣閥門開度;置換2小時后,方可V3106、S3103、V3109的獨立排塵、排渣工作;e2002〔E3107〕電源,需維持氮氣進料以冷卻氮氣電加熱器〔E3107;f硅粉枯燥完畢后,關(guān)閉烘粉爐〔E3108〕放空閥和枯燥氮氣;當(dāng)硅粉承受閥,將硅粉壓送至硅粉承受罐〔V3106〕中,待用;g烘粉爐放料完畢后,關(guān)閉烘粉爐〔E3108〕a~g重供粉,待用;催化劑進料間根本全都,E3108V3108進催化劑,避開錯開操作造成操作繁瑣;具體步驟如下:h烘粉爐〔E3108〕進料完畢封爐后,再次確認(rèn)催化劑承受罐(V3108)放料閥門〔NP-0606〕關(guān)閉,檢查壓力是否具備進料條件〔正常位常壓催化劑承受罐〔V3108〕排塵出口現(xiàn)場氣動盤閥〔NP-0604,關(guān)閉0.3MPa氮氣閥門停頓置換排塵管線;i催化劑,加料完畢后,將加料口盲板上好,翻開氮氣閥門,使催化劑承受罐0.3MPa,然后,翻開催化劑承受罐放空閥,將壓力泄至0.05MPa,0.3MPa10min;待烘粉爐〔E3108〕氮氣置換、枯燥完畢后,方翻開罐頂氫氣閥門置換內(nèi)部氮氣,沖壓0.3MPa泄至0.05MPa0.3MPa,待用;4、四氯化硅進料單元化硅緩沖罐〔V3101〕0.3MPa氮封管線和放空管線閥門〔調(diào)整閥閥門前后手閥翻開,保證調(diào)整通暢,維持四氯化硅緩沖罐V3101〕0.05MPa左右;b通知外界灌區(qū)裝置〔三車間精餾或一車間氫化〕送料,翻開四氯化硅送料管線總閥,通知調(diào)整閥〔LV-0601〕(留意:在P3206運送料時,LV-0601不行完全)50%~70%之間,待四氯化硅緩沖罐〔V3101〕液位為正常液位70%時,關(guān)閉進料閥門,關(guān)閉〔LV-060〔冷氫化系統(tǒng)正常運行后,盡量保證P3206始終運轉(zhuǎn)送料,并維持V3205儲罐液位掌握在50%~70%70%時,關(guān)閉盡量閥門。c將冷凝液中間儲罐〔V3111〕0.05MPa左右后,8〔V3111〕進翻開分別罐〔V3110〕氣相和液相至洗滌塔〔T3101〕出料閥門,確保循環(huán)路時,通知外界罐區(qū)裝置停頓四氯化硅進料至V3111,依據(jù)T3101液位〔不超75LV-060FI-0611和液位計LT-060,保證T3101液位緩慢上漲,同時啟動文丘里循環(huán)泵〔P3102A/,建立文丘里洗滌系統(tǒng)循環(huán)。dT310175%時,確認(rèn)打文丘里循環(huán)泵〔P3102A/B〕啟動送液,觀看T3101液位沒有明顯下降;同時,停頓洗滌塔循環(huán)泵〔P3103〕,關(guān)閉冷凝液中間儲罐〔V3111〕8字盲板。5、硅粉加料〔原始開車硅粉加料〕a翻開硅粉計量罐〔V3107〕底部氫氣閥門,對硅粉計量罐〔V3107〕底部氫氣閥門,對硅粉計量罐〔V3197〕進展置換,置換完畢后關(guān)閉硅粉計量罐〔V3107〕底部氫氣閥和放空閥,系統(tǒng)維持在0.05MPa左右的氫氣正壓狀態(tài);翻開氫氣至V3107頂部氫氣閥門,確保頂部氫氣處在遠處切斷閥〔HV-0604〕掌握的條件下;bC3101→C3102→E31028150℃左右)→E3105〔依據(jù)開車時間,提前850℃/h01M3102()→E3111→E3112〔冷凍系統(tǒng)在循環(huán)氫氣運轉(zhuǎn)前逐步啟動制冷〕→E3111→C3102料暢通適當(dāng)給硅粉承受罐〔V3106〕沖氫氣,掌握硅粉計量罐〔V3107〕排氣閥門HV-0604,維持系統(tǒng)壓力不低于R3101的壓力,翻開至反響器〔R3101〕硅粉進料閥和推料氫氣閥門,對反響器〔R3101〕進展硅粉進料〔2~4〕進料過程中掌握系統(tǒng)放空閥〔HCV-0610〕開度,維持反響器0.2MPa承受罐〔7〕頂部氫氣閥門、排料閥門〔6,關(guān)閉硅粉計量罐〔V3107〕排料管線上全部的閥門。2%〔加硅粉和催化劑要盡量混合均勻。6、 建立氫氣循環(huán)a確認(rèn)循環(huán)氫壓縮機〔 C3101A/B、C3102A/B、四氯化硅輸送泵〔B、四氯化硅電加熱器5、21、氫氣預(yù)熱器〔2、四氯化硅汽化器〔3、四氯化硅過熱器4、一級冷凝器0、終端冷凝器〔E3112〕具備投用條件。單元/氫氣與四氯化硅混合、汽化、加熱單元/流化反響單元/旋風(fēng)除塵和濕法除塵單元/冷凝回收單元/高壓氫氣系統(tǒng)處于連同狀態(tài);c依據(jù)規(guī)定程序啟動R22制冷機組,待R22制冷機組運行正常后,翻開d通知調(diào)度,開啟補充氫氣閥門對系統(tǒng)進展沖壓,升壓過程中留意觀看氫氣總管壓力;〔C3102的其中一臺C3101及循環(huán)氫壓縮機〔C3102A/B〕的回流閥〔PV-0607〕以及補充氫氣壓縮機氫至反響器〔R3101〕管線〔80-B3B-H-060205-H80〕上的閥門、四氯化硅汽化器〔E3103〕物料出口閥門、循環(huán)氫氣后緩沖罐〔V3105〕出口閥門維持0.2MPa開啟反響器〔R3101〕各測壓口氫氣吹掃管線,調(diào)整管線上流量計的5-7Nm3/h?!睧3112〕的液位,假設(shè)液位低5050%。7、 系統(tǒng)升溫翻開氫氣預(yù)熱器〔E3102〕的蒸汽冷凝液的導(dǎo)淋閥,并翻開蒸汽閥,待導(dǎo)淋閥有蒸汽冷凝液出來時,關(guān)閉導(dǎo)淋閥并翻開疏水器的前后保護閥,注意觀看蒸汽的壓力和氫氣預(yù)熱器〔2〕出口管線的溫度2。b〔R3101〕溫度〔TI-0615〕100℃時,依據(jù)規(guī)定程序啟動四氯化硅電加熱器〔50統(tǒng)升溫;c〔R3101〕溫度〔TI-0615〕300℃時,對系統(tǒng)進展第一次熱緊,熱緊完成并檢查合格后,系統(tǒng)連續(xù)升溫;d〔R3101〕溫度〔TI-0615〕450℃時,對系統(tǒng)進展其次500℃;e1》反響器〔R3101〕頂部壓力〔PI-0615〕壓力,假設(shè)低于2.0MPa,緩慢翻開系統(tǒng)放空閥〔5,維持壓力穩(wěn)定;》洗滌塔循環(huán)泵B,調(diào)整洗滌塔1〕液位調(diào)整閥3〕對洗滌塔補液,維持洗滌塔液位70(LT-0603)65%92%。38〔T3101〕排渣漿一次,排渣時掌握底部排渣管線上截止閥的開度為20%,并觀看洗滌塔液位,液位下降m后關(guān)閉盤閥9,并翻開氮氣吹掃管線對排渣管線進展3-5min;8、四氯化硅汽化、進料進口管線閥門,啟動四氯化硅輸送泵對四氯化硅汽化器〔E3103〕進料,待四氯化硅汽化器液位〔LT-0602〕〔E3102〕至靜態(tài)混合器〔M3101〕的氫氣閥門,并留意觀看四氯化硅汽化器〔E3103〕的壓力,翻開四氯化硅汽化器E3103調(diào)整蒸汽閥門LV-0602,E3103液位掌握在50%-70%之間,切記不要空液0.2MPa時,緩慢翻開汽化器出口壓力調(diào)整閥〔PV-0602〕,并維持汽化器壓力穩(wěn)定,建立汽化器壓力調(diào)整;隨著氫氣預(yù)熱器〔E3102〕到靜態(tài)混合器〔M3101〕的氫氣閥門不斷翻開,氫氣預(yù)熱器〔E3102〕至四氯化硅電加熱器〔E3105〕的氫氣閥門不斷關(guān)閉,切斷過稱中,逐步翻開四氯化硅預(yù)熱器1〔E3104〕上的蒸汽及冷凝水管線上的閥門,過程中留意汽化器的液位、四氯化硅電加熱器出口溫度〔TI-0615〕等;9、 硅粉加料〔正常運行時加料〕如下:a〔V3106〕底部的氫氣閥門,對硅粉承受罐〔V3106〕進展置換,置換完畢后關(guān)閉硅粉承受罐〔V3106〕底部氫氣閥和放空閥,翻開V3106〔HV-0602〕掌握V3106V3107b確保硅粉計量罐到反響器管道上的閥門〔XV-0606,NP-0608〕必需處于關(guān)閉狀態(tài)。c〔50.05MPa。d翻開硅粉計量罐的硅粉進口盤閥,時硅粉進入硅粉計量罐內(nèi),進料完畢后,關(guān)閉硅粉進料盤閥;然后,再翻開催化劑承受罐底部放料盤閥,將催〔01;完畢后,關(guān)閉催化劑承受罐下部放料盤閥,并關(guān)閉硅粉承受罐頂部放空管道上的放空調(diào)整閥〔5〕和盤閥〔7。e〔43.1MPa,翻開硅粉承受罐底部啟動盤閥XV-0606,然后,以此翻開推料氫氣調(diào)整閥〔67,8器。留意:必需確保V3107的壓力高于R3101的壓力,防止物料反串,使硅粉結(jié)塊。f待推料氫氣流量有波動時,證明硅粉進料完畢,連續(xù)通入氫氣3-5minNP-0608XV-0607,XV-O6O6g關(guān)閉推料氫氣調(diào)整閥及壓料調(diào)整閥6硅粉進料重復(fù)上述操作。10、 物料輸送通過調(diào)整閥LV-0605減壓輸送到后續(xù)氣體粗餾提純系統(tǒng)中,維持冷凝液50%-70%之間。11、建立正常運行通過反響器壓力調(diào)整閥〔5〕a〔G,建立自動循環(huán);及各床層壓降;逐步提升氫氣循環(huán)量〔FT-0603〕5200Nm3/h-5500Nm3/h;器液位自動調(diào)整建立洗滌塔1、冷凝液中間儲罐0、終端冷凝器2〕液位自動調(diào)整漸漸提升反響器溫度〔TI-0614/0615/0616/0619〕至530℃,裝置進入正常運行狀態(tài);三、停車步驟在接到調(diào)度命令后停車1、硅粉投料停車一批次的操作,即為停車。230-40%;b3500Nm3/h〔E3101〕蒸汽、凝水閥門,關(guān)閉四氯化硅汽化器〔E3103〕蒸汽進口閥門,并停頓運行四氯化硅輸送泵〔1;c〔E3103〕液位降至20%時,翻開汽化器排凈閥將汽化器剩余四氯化硅排入洗滌塔〔1,并關(guān)閉排凈閥;de2-4后漸漸降低四氯化硅電加熱器〔E

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