SIC材料清洗培訓(xùn)課件

碳化硅材料清洗

操作規(guī)范和技巧主要內(nèi)容第一部分：工序介紹第四部分：操作技巧第二部分：操作流程第三部分：操作規(guī)范第五部分：設(shè)備相關(guān)第六部分：質(zhì)量控制第七部分：安全生產(chǎn)工序介紹碳化硅材料介紹1.碳化硅材料耐高溫，硬度大，但比較脆，不能碰撞。2.碳化硅屬于導(dǎo)電材料，不能直接接觸爐絲，否則會被熔化。3.碳化硅研磨性很強，兩個碳化硅之間不能摩擦。4.目前我們用的碳化硅材料包括碳化硅漿舟和碳化硅管。工序介紹工具清單工具、器具名稱型號規(guī)格

凈化口罩

醫(yī)用手套

PVC手套

耐酸堿手套

試紙

圓珠筆

工序介紹所需藥品鹽酸氫氟酸工序介紹大石英管清洗機操作流程碳化硅處理操作流程（一）在凈化間打開包裝，檢查產(chǎn)品是否合格.配制1:1:4，將漿舟或碳化硅管放在清洗機內(nèi)泡1:1:4后，用去離子水浸泡，沖洗。用氮氣將漿舟吹干，放在石英管內(nèi)150度烘烤拆裝自檢酸沖洗溢流沖洗用三氯乙烷工藝清洗后，記錄清楚后可以使用飽和使用干燥拆包裝操作規(guī)范在凈化間內(nèi)打開包裝，檢查產(chǎn)品型號規(guī)格是否正確，外觀是否有破損（如碳化硅管）。操作規(guī)范酸洗操作規(guī)范把大石英管清洗槽清洗干凈，配制好1：1：4，把碳化硅漿舟放進去浸泡30-50分鐘。操作規(guī)范酸洗操作規(guī)范漿舟柄部口要求抬高在液面外，防止酸液進入中空部分操作規(guī)范去離子水溢流沖洗操作規(guī)范酸洗完畢后,先用去離子水沖洗幾次，然后再浸泡在去離子水中，每兩個小時換一次水，漂洗12小時，至水呈中性.操作規(guī)范PH試紙呈中性，說明沖干凈操作規(guī)范先把手套洗干凈操作規(guī)范用氮氣槍吹干干燥操作規(guī)范把漿舟拿出來用氮氣槍所有區(qū)域都吹干，然后安裝在擴散爐上，推進石英管內(nèi)150度烘烤4小時.操作規(guī)范操作規(guī)范清洗完以后把漿舟裝到爐子上，準(zhǔn)備烘漿操作規(guī)范裝完漿舟以后，裝載烘漿舟的工藝，然后運行，待工藝結(jié)束以后就可以使用了。操作規(guī)范飽和操作規(guī)范1.在通入氮氣6000的情況下，在150℃以低于200mm/min的速度進爐，或者以5℃/min速度升溫到400℃；2.保持30分鐘，以徹底去除產(chǎn)品中殘留的水汽3.在純氧氣中繼續(xù)以5℃/min升溫至700℃；通入攜帶氯源的小氮200ml4.溫度升到1100℃時將氯離子源的流量減少一半。最后將溫度升到1250℃或者比最高工藝使用溫度高50℃（最少1150℃）。保持此溫度1小時后關(guān)閉氯源；設(shè)備日常維護保養(yǎng)不能用硬物去磕碰漿舟不能在漿舟上拖動硅舟碳化硅漿舟每個月工藝清洗一次不能裸手去碰漿舟設(shè)備日常維護保養(yǎng)方法及注意事項設(shè)備相關(guān)設(shè)備使用注意事項設(shè)備相關(guān)使用前必須徹底的干燥，柄部區(qū)域清洗時不能進酸，不能碰撞，酸一定要沖洗干凈.使用時進舟速率一定要小于200mm/min

，最高使用溫度最好小于1350度.進槳存放時開口一端要向下，不要在漿舟上拖動硅舟，碳化硅承受的重量不能超過它的承重力.存放清洗

質(zhì)量要求清洗完的漿舟上不能有印痕。碳化硅不能有破損。柄部中空不能有酸，要清洗干凈。質(zhì)量控制質(zhì)量控制常見質(zhì)量問題的原因及解決方法質(zhì)量現(xiàn)象原因分析解決辦法表面有雜質(zhì)，印痕手套不干凈，摸到漿舟重新處理有裂痕進舟速率過快嚴(yán)格控制進舟速度與硬物碰撞使用時小心注意事項設(shè)備安全方面：設(shè)備安全接地，通風(fēng)排毒正常。使用中嚴(yán)禁磕碰。嚴(yán)禁與爐絲接觸并通電。人員安全方面：工作時注意藥品不要濺到人，下班后關(guān)好水、電、氣。操作時一定要帶好口罩，耐酸堿手套安全生產(chǎn)謝謝地址