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文檔簡介
項(xiàng)目一傳感器技術(shù)
任務(wù)2電阻應(yīng)變式傳感器電阻應(yīng)變式傳感器結(jié)構(gòu)和工作原理1.2電阻應(yīng)變式傳感器概述0102電阻應(yīng)變式傳感器的特性03電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用04一、電阻應(yīng)變式傳感器概述
電阻應(yīng)變式傳感器是利用金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)制造的一種測量微小變化量(機(jī)械)的傳感器。用途:將電阻應(yīng)變片粘接到各種彈性敏感元件上可以測定力、壓力、力矩、位移、加速度等參數(shù),是使用最廣泛的傳感器之一,具有悠久的歷史。
BLR-14A型電阻應(yīng)變式拉壓力高精度傳感器采用剪切結(jié)構(gòu)彈性體,具有精度高、穩(wěn)定性能好、抗偏載能力強(qiáng)等特點(diǎn),適應(yīng)于料斗秤、配料秤和吊鉤秤等配套使用,廣泛用于國防、科研工業(yè)系統(tǒng)中作力的分析及自動化控制。二、電阻應(yīng)變式傳感器結(jié)構(gòu)和工作原理
1.電阻應(yīng)變片的工作原理是基于應(yīng)變效應(yīng),即導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料在外界力的作用下產(chǎn)生機(jī)械變形時,其電阻值相應(yīng)發(fā)生變化,這種現(xiàn)象稱為應(yīng)變效應(yīng)。
半導(dǎo)體應(yīng)變片是用半導(dǎo)體材料制成的,其工作原理是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。壓阻效應(yīng)是指半導(dǎo)體材料,當(dāng)某一軸向受外力作用時,其電阻率ρ發(fā)生變化的現(xiàn)象。
材料的應(yīng)變效應(yīng):金屬絲受拉時,l變長、r變小,導(dǎo)致R變大當(dāng)金屬絲受到外力F作用下,而被拉伸(或壓縮)時,上述任何一個參數(shù)均會變化,因此導(dǎo)體的電阻隨之發(fā)生變化,通過對上式兩邊取對數(shù)后再做微分,即可求其電阻相對變化為若電阻絲是圓的,則,r為電阻絲的半徑,則令為材料的軸向應(yīng)變,為金屬絲徑向應(yīng)變。則式中,μ為電阻絲材料的泊松比,負(fù)號表示應(yīng)變方向相反。或
通常把單位應(yīng)變能引起的電阻值變化稱為電阻絲的靈敏系數(shù)。其物理意義是單位應(yīng)變所引起的電阻相對變化量,其表達(dá)式為(1)對于金屬材料,導(dǎo)電率不變,即dρ/ρ<<1,因此有:當(dāng)金屬材料確定后,應(yīng)變片的電阻變化率取決于材料的幾何形狀變化,其靈敏度系數(shù)為,當(dāng)力作用到用金屬材料制作的應(yīng)變片上時,其電阻相對變化與電阻絲軸向應(yīng)變成正比。(2)對于半導(dǎo)體,由于dρ/ρ項(xiàng)的數(shù)值遠(yuǎn)比(1+2μ)ε項(xiàng)大,即半導(dǎo)體電阻變化率取決于材料的電子流變化,因此,簡化為:式中π-材料的壓阻系數(shù);E-材料的彈性模數(shù)。因此靈敏系數(shù)為:(3)常用的應(yīng)變片靈敏度系數(shù)大致是:金屬導(dǎo)體應(yīng)變片約為2左右,但不超過4~5;半導(dǎo)體應(yīng)變片約為100~200??梢姲雽?dǎo)體應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)值比金屬導(dǎo)體的靈敏度系數(shù)值大50-80倍。
但半導(dǎo)體材料的溫度系數(shù)大,應(yīng)變時非線性比較嚴(yán)重,使它的應(yīng)用范圍受到一定的限制。
。2.半導(dǎo)體應(yīng)變片及金屬絲式應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)金屬絲式應(yīng)變片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)應(yīng)變片外形常用應(yīng)變片的形式
(1)敏感柵是應(yīng)變片的核心部分,它粘貼在絕緣的基片上,其上再粘貼起保護(hù)作用的覆蓋層,兩端焊接引出導(dǎo)線。引線是從敏感柵到測量導(dǎo)線之間的過渡部分,用以將敏感柵接入測量電路。(2)覆蓋層與基片將敏感柵緊密地粘貼在中間,對敏感柵起幾何形狀固定和絕緣、保護(hù)作用,基片要將被測體的應(yīng)變準(zhǔn)確地傳遞到敏感柵上,因此它很薄,一般為0.03~0.06mm,使它與被測體及敏感柵能牢固地粘合在一起,此外它還應(yīng)有良好的絕緣性能、抗潮性能和耐熱性能?;透采w層的材料有膠膜、紙、玻璃纖維布等。
(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)1.選片:首先檢查應(yīng)變片的外觀,剔除敏感柵有形狀缺陷,片內(nèi)有氣泡、霉斑、銹點(diǎn)的應(yīng)變片,再用電橋測量應(yīng)變片的電阻值,并進(jìn)行阻值選配。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)2.打磨:選擇的構(gòu)件表面待測點(diǎn)需經(jīng)打磨,打磨后表面應(yīng)平整光滑,無銹點(diǎn)。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)3.劃線:被測點(diǎn)精確地用鋼針畫好十字交叉線以便定位。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)4.清洗:用浸有丙酮的藥棉清洗欲測部位表面,清除油垢灰塵,保持清潔干凈。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)5.涂膠:將選好的應(yīng)變片背面均勻地涂上一層粘結(jié)劑,膠層厚度要適中。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)6.黏貼:將應(yīng)變片的十字線對準(zhǔn)構(gòu)件欲測部位的十字交叉線。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)7.校正:輕輕校正方向(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)8.吸膠:蓋上一張玻璃紙,用手指朝一個方向滾壓應(yīng)變片,擠出氣泡和過量的膠水,保證膠層盡可能薄而均勻。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)9.固化:貼片后最好自然干燥幾小時,必要時可以加熱烘干。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)10.固定導(dǎo)線:將應(yīng)變片的兩根導(dǎo)線引出線焊在接線端子上,再將導(dǎo)線由接線端子引出。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)11.密封:均勻?qū)⒛z水粘貼在應(yīng)變片表面,防止起泡產(chǎn)生,進(jìn)行密封防護(hù)。(3)應(yīng)變片的粘貼技術(shù)12.測試:放置24小時后,對貼片構(gòu)件進(jìn)行測試。(4)應(yīng)變片的材料和種類按材料分:金屬式體型——金屬絲式、金屬箔式、金屬薄膜型半導(dǎo)體式體型——薄膜型、擴(kuò)散型、外延型、PN結(jié)型對電阻絲材料有如下要求:①靈敏系數(shù)大,且在相當(dāng)大的應(yīng)變范圍內(nèi)保持常數(shù);②ρ值大,即在同樣長度、同樣橫截面積的電阻絲中具有較大的電阻值;③電阻溫度系數(shù)小,否則因環(huán)境溫度變化也會改變其阻值;④與銅線的焊接性能好,與其它金屬的接觸電勢小;⑤機(jī)械強(qiáng)度高,具有優(yōu)良的機(jī)械加工性能。常用金屬電阻絲材料的性能康銅是目前應(yīng)用最廣泛的應(yīng)變絲材料,這是由于它有很多優(yōu)點(diǎn):靈敏系數(shù)穩(wěn)定性好,不但在彈性變形范圍內(nèi)能保持為常數(shù),進(jìn)入塑性變形范圍內(nèi)也基本上能保持為常數(shù);康銅的電阻溫度系數(shù)較小且穩(wěn)定,當(dāng)采用合適的熱處理工藝時,可使電阻溫度系數(shù)在±50×10-6/℃的范圍內(nèi);康銅的加工性能好,易于焊接,因而國內(nèi)外多以康銅作為應(yīng)變絲材料。三、電阻應(yīng)變式傳感器的特性
(1)機(jī)械滯后溫度不變時,加載與卸載過程中靈敏度系數(shù)不一致的現(xiàn)象。
原因:粘貼過程中敏感柵不適當(dāng),變形或粘貼劑固化不充分。
消除辦法:實(shí)驗(yàn)之前應(yīng)將試件預(yù)先加,卸載若干次。
(2)零點(diǎn)漂移和蠕變①溫度不變時,即使未加應(yīng)力,應(yīng)變片指示也會變化,稱零點(diǎn)漂移;產(chǎn)生原因:敏感柵通以工作電流后溫度效應(yīng),粘潔劑固化不充分,當(dāng)應(yīng)變片承受恒定機(jī)械應(yīng)變量。
②應(yīng)變片的指示應(yīng)變隨時間變化稱為蠕變。產(chǎn)生原因:膠層之間發(fā)生“滑動”,使力傳到敏感柵的應(yīng)變逐漸減少。四、電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用1.應(yīng)變式力傳感器被測物理量為荷重或力的應(yīng)變式傳感器時,統(tǒng)稱為應(yīng)變式力傳感器。其主要用途是作為各種電子稱與材料試驗(yàn)機(jī)的測力元件、發(fā)動機(jī)的推力測試、水壩壩體承載狀況監(jiān)測等。應(yīng)變式力傳感器要求有較高的靈敏度和穩(wěn)定性,當(dāng)傳感器在受到側(cè)向作用力或力的作用點(diǎn)少量變化時,不應(yīng)對輸出有明顯的影響。(1)柱(筒)式力傳感器圖(a)、(b)分別為柱式、筒式力傳感器,應(yīng)變片粘貼在彈性體外壁應(yīng)力分布均勻的中間部分,對稱地粘貼多片,電橋連線時考慮盡量減小載荷偏心和彎矩影響,貼片在圓柱面上的展開位置及其在橋路中的連接如圖(c)、(d)所示,R1和R3串接,R2和R4串接,并置于橋路對臂上,以減小彎矩影響,橫向貼片R5和R7串接,R6和R8串接,作溫度補(bǔ)償用,接于另兩個橋臂上。圓柱(筒)式力傳感器(a)柱式;(b)筒式;(c)圓柱面展開圖;(d)橋路連線圖(2)環(huán)式力傳感器如圖(a)所示為環(huán)式力傳感器結(jié)構(gòu)圖。與柱式相比,應(yīng)力分布變化較大,且有正有負(fù)。環(huán)式力傳感器(a)環(huán)式傳感器結(jié)構(gòu)圖;(b)應(yīng)力分布
對R/h>5的小曲率圓環(huán),可用下面的式計算出A、B兩點(diǎn)的應(yīng)變。式中:h——圓環(huán)厚度;
b——圓環(huán)寬度;
E——材料彈性模量。這樣,測出A、B處的應(yīng)變,即可得到載荷F。四、電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用2.應(yīng)變式壓力傳感器應(yīng)變式壓力傳感器主要用來測量流動介質(zhì)的動態(tài)或靜態(tài)壓力,如動力管道設(shè)備的進(jìn)出口氣體或液體的壓力、發(fā)動機(jī)內(nèi)部的壓力、槍管及炮管內(nèi)部的壓力、內(nèi)燃機(jī)管道的壓力等。應(yīng)變片壓力傳感器大多采用膜片式或筒式彈性元件。
下圖為膜片式壓力傳感器,應(yīng)變片貼在膜片內(nèi)壁,在壓力p作用下,膜片產(chǎn)生徑向應(yīng)變εr和切向應(yīng)變εt,表達(dá)式分別為式中:
p——膜片上均勻分布的壓力;
R,h——膜片的半徑和厚度;
x——離圓心的徑向距離。由應(yīng)力分布圖可知,膜片彈性元件承受壓力p時,其應(yīng)變變化曲
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