《顯微鏡畸變校準(zhǔn)用米字線紋尺校準(zhǔn)規(guī)范》-討論稿

JJF（有色金屬）XXXX—XXXX1“米字線紋尺”是光學(xué)顯微鏡畸變校準(zhǔn)的主要標(biāo)準(zhǔn)器，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性A型B型圖1“米字形”線紋尺結(jié)構(gòu)圖2參考JJF73-2005高等別線紋尺，米字線紋尺上任s校準(zhǔn)條件JJF（有色金屬）XXXX—XXXX3序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)1材料線膨脹系數(shù)箱式縱動(dòng)或橫動(dòng)比較儀，數(shù)顯卡尺2刻線面與非刻線面的平行度數(shù)顯外徑千分尺M(jìn)PE：±2μm或立式測(cè)長(zhǎng)儀3刻線寬度及長(zhǎng)度讀數(shù)值小于1μm的測(cè)微顯微鏡萬(wàn)能工具顯微鏡MPE1+L/100）μm4軸線與刻線的垂直度萬(wàn)能工具顯微鏡MPE1+L/100）μm5角度萬(wàn)能工具顯微鏡MPE1+L/100）μm6刻線間隔激光干涉比長(zhǎng)儀U95=（0.04+1.0L）μm注：也可采用滿足計(jì)量特性要求的其它測(cè)量設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)前應(yīng)檢查線紋尺外觀有無(wú)破損，是否有影響測(cè)量的因素‘校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法LΔLi=CL0ΔL iΔLCi=L0ΔTiΔLi—材料的線膨脹量；Ci—線膨脹系數(shù)；LΔTi—溫度的變化量。JJF（有色金屬）XXXX—XXXX4a=3ai（3）Δa=a-a0（4）Δa—線膨脹系數(shù)偏差；用立式測(cè)長(zhǎng)儀或千分尺測(cè)量線紋尺的兩端厚度δ1、δ2，計(jì)算其差值Δδ。Δδ=δ1-δ2（5）每條軸線在首、中、末抽取三條刻線進(jìn)行測(cè)量，取誤差最大值作θi=j（6）Δθi=θ0-θi（7）θij—各角度5次測(cè)量結(jié)果，j=1,2,3 θ0—標(biāo)稱角度； θi—角度測(cè)量值。在線紋尺的側(cè)面貼上測(cè)溫傳感器，所貼傳感器的只數(shù)應(yīng)根JJF（有色金屬）XXXX—XXXX5以A型米字型線紋尺為例，其分度值為0.1mm，則需要對(duì)其所有軸線上的標(biāo)稱刻線間隔測(cè)量 L= ΔL=L0-LΔL—線紋尺刻線間隔誤差，μmL校準(zhǔn)結(jié)果應(yīng)在校準(zhǔn)證書上反映。校準(zhǔn)原始記錄參考格式見附錄A，校準(zhǔn)證書參考格式），h)校準(zhǔn)所依據(jù)的技術(shù)規(guī)范的標(biāo)識(shí)，包括名稱j)校準(zhǔn)環(huán)境的描述；JJF（有色金屬）XXXX—XXXX6建議復(fù)校時(shí)間間隔為1年。標(biāo)定器使用頻繁時(shí)應(yīng)適當(dāng)縮短周期，在使用過(guò)程中標(biāo)定器經(jīng)過(guò)JJF（有色金屬）XXXX—XXXX7℃/mm首中尾首中尾首中末8…12……9JJF（有色金屬）XXXX—XXXX9δδ線紋尺刻線間隔測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定示例 =L=L-L式中：δi—刻線間隔示值誤差，μm；L—刻線間隔標(biāo)稱值，mm； u(δi)=cu2(L)+c(Li)輸入量i引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度主要來(lái)源于測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量、激光干涉比長(zhǎng)儀引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量和環(huán)境溫度波動(dòng)引入s=(xi-x)9=0.007μmu(L1)=s=0.007μm2）激光干涉比長(zhǎng)儀引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u(u(Lu(L)=0.02μm環(huán)境溫度波動(dòng)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分