玻璃基板制造過(guò)程中的傳送方式

在現(xiàn)有玻璃基板的制造過(guò)程中，大體上采用了垂直傳送法、水平傳送法、氣浮無(wú)接觸傳送法以及各傳送法交叉運(yùn)用方式，分析這幾種不同的傳送方式在玻璃基板制造過(guò)程中的應(yīng)用。（1）垂直傳送：垂直傳送適用于溢流熔融法生產(chǎn)的玻璃基板，其傳送方式為：玻璃基板通過(guò)熔爐成型出來(lái)后，垂直向下流入潔凈等級(jí)小于1000級(jí)的潔凈間，再用機(jī)械手臂，在玻璃基板非品質(zhì)區(qū)（＜10mm）內(nèi)夾持玻璃上端，使整個(gè)玻璃呈自然垂直狀態(tài)，機(jī)械手夾持玻璃后，將玻璃放置于自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)內(nèi)，即可達(dá)到垂直傳送的目的。優(yōu)點(diǎn)：玻璃基板剛從熔爐退火出來(lái)時(shí)，玻璃表面溫度可高達(dá)300℃以上，任何一點(diǎn)的人為接觸都會(huì)在玻璃基板表面留下缺陷，采用此法可盡量避免污染，不會(huì)造成玻璃板表面的人為劃傷，對(duì)玻璃基板后續(xù)制程有決定性的作用。缺點(diǎn)：玻璃基板夾持距離較短，容易發(fā)生玻璃滑落現(xiàn)象，玻璃在傳送時(shí)，呈現(xiàn)自然垂直，容易受氣流影響發(fā)生晃動(dòng)，從而導(dǎo)致與設(shè)備的碰撞。圖1為垂直傳送示意圖。圖1垂直傳送示意圖（2）水平傳送：此方法適用于浮法生產(chǎn)的玻璃基板（以日本AGC為代表），其傳送方式為：玻璃基板通過(guò)熔窯出來(lái)后，水平流入通有保護(hù)氣體（N2及H2）的錫槽中，再通過(guò)主傳動(dòng)和拉邊機(jī)的外力作用，形成一定寬度、厚度的玻璃，經(jīng)過(guò)成形冷卻后，傳送至退火窯，然后使用PVC材質(zhì)的滾輪，水平方向搬送玻璃基板，傳送至各制程端。優(yōu)點(diǎn)：熔融玻璃從熔窯中流入并漂浮在相對(duì)密度大的錫液表面上，在重力和表面張力的作用下，玻璃液在錫液面上鋪開(kāi)、攤平、形成表面平整、沒(méi)有波筋、厚度均勻的玻璃基板，其產(chǎn)品的透明度較強(qiáng)，因?yàn)榻?jīng)過(guò)錫面的處理，比較光滑，在表面張力的作用下，形成了一種表面比較整齊、平面度比較好，光學(xué)性能比較強(qiáng)的特性。缺點(diǎn)：玻璃在水平傳送至錫槽時(shí)，由于使用了金屬錫液作為浮拋介質(zhì)，氮?dú)夂蜌錃饣旌蠚怏w作為保護(hù)氣體，在相對(duì)密閉的環(huán)境中，發(fā)生著許多復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，這些化學(xué)反應(yīng)中的一些產(chǎn)物將帶來(lái)很多玻璃缺陷，影響產(chǎn)品質(zhì)量；其次，玻璃上表面相對(duì)于下表面來(lái)說(shuō)更加光滑，因?yàn)橄卤砻嫒娼佑|錫液，不可避免地會(huì)留下些許痕跡，導(dǎo)致平滑度不及上表面。水平傳送示意圖見(jiàn)圖2。圖2水平傳送示意圖（3）氣浮傳送：此方法適用于精加工后的玻璃基板，其傳送方式為：玻璃基板經(jīng)過(guò)精加工后，已達(dá)到客戶要求，此時(shí)為了最大程度地保障玻璃基板的品質(zhì)穩(wěn)定性，通常在潔凈間中通過(guò)非接觸式氣浮傳送的方式來(lái)傳送玻璃基板。在傳送過(guò)程中，玻璃基板的下邊緣位于氣浮條底部的滾輪上，通過(guò)滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)推動(dòng)其移動(dòng)，氣浮裝置位于玻璃基板背部，呈傾斜約80°，通過(guò)潔凈壓縮氣體（CDA）吹拂，使得玻璃基板懸浮其上運(yùn)送。優(yōu)點(diǎn)：氣浮裝置通常包括由多根氣浮條組成的氣浮條組，在傳送過(guò)程中玻璃基板與氣浮條之間的距離通常為0.1~2mm，為了保證玻璃基板品質(zhì)，氣浮條組與玻璃基板之間不會(huì)有任何接觸，且氣浮條自身表面有很高的平面度要求，通?？刂圃?.05mm以下，這樣也保證了玻璃基板通過(guò)氣浮條時(shí)，不會(huì)與氣浮條產(chǎn)生摩擦導(dǎo)致刮傷。缺點(diǎn)：玻璃基板之所以考慮呈約80°傾斜傳送，是避免90°垂直傳送時(shí)玻璃會(huì)有被CDA吹落的風(fēng)險(xiǎn)，如果是水平氣浮傳送，則玻璃基板會(huì)漂