靜電學(xué) 第5-4部分：電子器件的靜電防護(hù) 符合性驗證 征求意見稿

1GB/Z37977.54—XXXX靜電學(xué)第5-4部分：電子器件的靜電防護(hù)符合性驗證本文件描述了ESD控制程序中涉及的技術(shù)項目的符合性驗證測試，如在GB/T37977.51中所規(guī)定的技術(shù)項目。測試方法基于GB/T37977.51和IEC61340系列其他部分規(guī)定，為了符合驗證的目的，必要時由有資質(zhì)人員簡化。用戶可在其符合性驗證計劃中參考本文件，采用本文件所描述的測試方法，無需變更或更改。如果符合性驗證計劃中包含設(shè)備或程序的偏差記錄，則本文件描述的測試方法可滿足自身的ESD控制計劃需本文件沒有規(guī)定符合性驗證測試頻次。關(guān)于用戶如何考慮符合性驗證測試頻次的指南在附錄A中給產(chǎn)品鑒定不在本文件的范圍之內(nèi)。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T37977.23靜電學(xué)第2-3部分：防靜電固體材料電阻和電阻率的測試方法IEC61340-4-7靜電第4-7部分：特定應(yīng)用中的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法電離GB/T37977.51靜電第5-1部分：電子器件的靜電防護(hù)通用要求IEC62631-3-2確認(rèn)該標(biāo)準(zhǔn)是否發(fā)布固體絕緣材料的介電和電阻特性第3-2部分：電阻特性的測定（直流法）表面電阻和表面電阻率確認(rèn)該標(biāo)準(zhǔn)是否發(fā)布3術(shù)語和定義該部分加一些標(biāo)準(zhǔn)號該部分加一些標(biāo)準(zhǔn)號界定的術(shù)語和定義適用于本文件。3.1ESD接地點ESDground用于防靜電控制的接地端。4人員安全2GB/Z37977.54—XXXX人員應(yīng)采取減少電氣危險的措施，遵循適當(dāng)?shù)脑O(shè)備接地規(guī)范。警告－本文件描述的程序和設(shè)備可能使人體處于危險的電氣條件下。本文件的用戶應(yīng)選擇符合相關(guān)法律、法規(guī)和內(nèi)外部政策的設(shè)備。本文件不代替或取代法律、法規(guī)、內(nèi)外部政策中對人員安全的要求。5測試方法和測試頻次GB/T37977.51中沒有特殊規(guī)定的測試方法列于資料性附錄B、附錄C、附錄D、附錄E、附錄F、附錄G和附錄H。本文件中沒有規(guī)定符合性驗證測試頻次。關(guān)于用戶應(yīng)如何考慮符合性驗證測試頻次的指導(dǎo)在附錄A中給出。6測試設(shè)備6.1測試設(shè)備的選擇如果第6章中描述的測試設(shè)備的規(guī)格與ESD控制程序中要求的測試范圍不匹配，則應(yīng)使用匹配該范圍的其他儀器，并在ESD控制程序計劃中進(jìn)行說明。應(yīng)按照制造商的建議，使用和校準(zhǔn)設(shè)備。如果沒有制造商的建議，用戶應(yīng)自行確定合適的校準(zhǔn)程序。附錄B給出了設(shè)備常見問題的測試和測量指南。6.2交流插座分析儀（或市電插座測試儀）一個插入交流插座并根據(jù)插座是否正確接線、或者是否存在故障給出指示（通常使用燈）的設(shè)備。在符合性驗證測試中，可以使用交流插座分析儀來指示設(shè)備接地導(dǎo)體的正確接線。注意，一些交流插座分析儀可能無法區(qū)分接地（或地和零線倒換，火線和零線倒換，火線和地線倒換），或無法確定設(shè)備接地導(dǎo)體的對地阻抗是否在用戶的規(guī)定范圍內(nèi)。6.3交流電路測試儀（阻抗儀）儀表應(yīng)能測量從插座（用于交流設(shè)備接地的電源插座）到配電盤上的中線之間接地導(dǎo)體的阻抗。儀表還要確認(rèn)接線方向。6.4充電板監(jiān)測儀（CPM）6.4.1CPM要求CPM應(yīng)符合IEC61340-4-7中規(guī)定的要求。包括極板在內(nèi)的測試電路總電容應(yīng)為（20±2）pF。在沒有電離的情況下，CPM板電壓在5分鐘之內(nèi)的衰減應(yīng)不超過初始電壓的10%，響應(yīng)時間應(yīng)小于預(yù)計測量最短放電時間的10%。6.4.2便攜式CPM套件市面上用于離子發(fā)生器符合性驗證的便攜式CPM套件，由4部分組成：1）靜電場計或電壓表，2）安裝于絕緣支架上、與接地板隔離的CPM板，3）平板充電器，4）接地板。這四部分可以集成為一個設(shè)備。還要配套一個用于測量放電時間的計時器。3GB/Z37977.54—XXXX在沒有電離的情況下，CPM板電壓在5分鐘內(nèi)衰減不應(yīng)超過初始測試電壓的10%，響應(yīng)時間應(yīng)小于預(yù)計測量最短放電時間的10%。為了方便便攜式CPM套件的使用，CPM板通常比6.4.1中規(guī)定的CPM板要小。如果確定了衰減和偏移的相關(guān)因子，則可使用具有不同于6.4.1中規(guī)定的電容或尺寸的CPM板的便攜式套件。極板充電器應(yīng)能將CPM板充電到超過每個極性初始測試電壓。6.5同心環(huán)電極組件電極組件包含一個中心圓盤和一個環(huán)繞中心圓盤的導(dǎo)電材料制成的同心環(huán)，與被測材料接觸。在GB/T37977.23中描述的電極組件滿足符合性驗證測試的要求。6.6電阻測量儀（歐姆計）GB/T37977.23中規(guī)定的用于實驗室評估和驗收測試的儀器的輸出電壓為（10.0±0.5）V或（100.0±5）V，取決于所測量的電阻的范圍。符合GB/T37977.23規(guī)定的實驗室評估或驗收測試要求的儀器，或符合以下要求的儀器用于符合性驗證。符合性驗證儀器應(yīng)能夠進(jìn)行比預(yù)期測量上限高一個數(shù)量級且比下限低一個數(shù)量級的測量。符合性驗證儀器的輸出電壓可能與實驗室評估或驗收測試儀器不同，可在負(fù)載或開路下調(diào)整。符合性驗證儀器應(yīng)對照實驗室評價或驗收測試儀器進(jìn)行檢查，以確保測試結(jié)果之間存在相關(guān)性。電阻測量儀可以是一個單獨的、獨立的儀器，也可以是多個儀器的組合（比如直流電源、電壓表和電流表）。如果電阻測量儀具有自動切換測試電壓，則應(yīng)確保切換符合GB/T37977.23或用戶規(guī)定的要6.7低阻計低阻計能夠測量小于103Ω的電阻。符合性驗證儀器應(yīng)能進(jìn)行比預(yù)期測量上限高一個數(shù)量級且比下限低一個數(shù)量級的測量。符合性驗證儀器的輸出電壓可能與GB/T37977.23中描述的實驗室評估或驗收測試儀器不同，并可在負(fù)載或開路下調(diào)整。6.8靜電場強(qiáng)計一種用來測量材料上靜電荷產(chǎn)生的靜電場的儀器。通常包括高阻放大器式、振動電容式、場磨式、微機(jī)電系統(tǒng)式等不同類型的靜電場強(qiáng)計，IEC61340-1[1]中討論了這些類型的場強(qiáng)計的優(yōu)點。（注，方括號中的數(shù)字指的是參考文獻(xiàn)中的序號）6.9靜電電壓表一種用來測量材料表面靜電位（靜電壓）的儀器。用戶應(yīng)規(guī)定所使用靜電電壓表的測量精度，相對誤差應(yīng)小于測量上限的±10%。靜電電壓表可以是非接觸式或接觸式，其中，非接觸式包括靜電場計和非接觸式電壓表，接觸式包括靜電計和高阻式靜電壓計。接觸式靜電電壓表的輸入電容應(yīng)小于1×10-13F,輸入阻抗大于1×1014Ω。IECTR61340-1[1]給出了不同類型靜電電壓表的使用特點。6.10鞋類電極4GB/Z37977.54—XXXX一種導(dǎo)電金屬板，其大小至少足以容納人的一只腳，且該腳不超出板的任何邊緣，尺寸通常為305mm6.11手持電極一種圓形或管狀金屬材料（如不銹鋼、銅、黃銅），直徑約2.5cm，長度約7.5cm或更大，一端帶有連接器。所有的尺寸均為標(biāo)稱尺寸。6.12電阻測試電極圓柱形電極（2.5±0.25）kg，直徑（65±5）mm，有一個肖氏A硬度在50到70之間的導(dǎo)電材料的連接端。使用(10.0±0.5)V電壓在金屬表面上測量時，兩個測量電極之間的電阻應(yīng)小于1.0×103Ω。GB/T37977.23中描述的電極符合這些規(guī)范。注：隨著時間的推移，用作電極接觸面的導(dǎo)電橡膠材料會變形，這可能導(dǎo)致測量結(jié)果發(fā)生變化。6.13絕緣支撐面一個平面，用于樣品支撐時，按照IEC62631-3-2測量其表面電阻率應(yīng)大于1.0×1013Ω,或者表面電阻或點對點的電阻大于1.0×1012Ω,或比依據(jù)GB/T37977.23測量的大一個數(shù)量級，絕緣支撐面應(yīng)足夠大，以完全隔離擬測試試樣。6.14用于腕帶系統(tǒng)或人鞋系統(tǒng)的綜合電阻測量儀一種用于測量穿戴腕帶或鞋電阻的專用儀器。用于腕帶系統(tǒng)的綜合電阻測量儀，應(yīng)在電阻超過IEC61340-5-1規(guī)定或用戶自定義的限值時顯示故用于人鞋系統(tǒng)的綜合電阻測量儀，應(yīng)在電阻超過IEC61340-5-1規(guī)定或用戶自定義的限值時顯示故6.15兩點式探針兩點式探針由一個絕緣金屬體組成，兩端嵌入一個聚四氟乙烯(PTFE)絕緣體。一端絕緣體固定測試線；另一端安裝有香蕉插頭的插座。香蕉插頭鍍金，彈力為(4.6±0.5)N。香蕉插頭尖是(3.2±0.1)mm直徑、肖氏A硬度為50至70的導(dǎo)電橡膠電極。使用(10.0±0.5)V電壓在金屬表面上測量時，兩個測量電極之間的電阻應(yīng)小于1.0×103Ω。GB/T37977.23中描述的兩點式探針符合這些要求。6.16用戶指定電極由于材料的尺寸和/或形狀限制，第6.5條規(guī)定的同心環(huán)電極組件或第6.12條規(guī)定的電阻測試電極通常不能使用。接觸面或材料接觸不足也會導(dǎo)致電極和試樣之間高電阻。如果同心環(huán)電極組件或電阻測試電極不可用，或者如果使用它們會導(dǎo)致錯誤結(jié)果，可以用用戶指定電極來代替。用戶指定的平行電極，包括一對平行排列在待測表面上的相對較薄的電極，參見圖18b)，有助于評估不同方向的電阻變化，以及用于測量凹面或凸面（例如圓柱體）。其他用戶指定的電極可以包括例如較小的同心環(huán)形電極組件，或不同尺寸和/或形狀的電阻測試電5GB/Z37977.54—XXXX當(dāng)使用用戶指定的電極時，應(yīng)在符合性驗證計劃中規(guī)定或在測試報告中提及以下參數(shù)：電極的形狀和尺寸，電極的接觸力或質(zhì)量，接觸材料（電阻和硬度）及電極之間的距離。與第6.5條規(guī)定的同心環(huán)電極組件或第6.12條規(guī)定的電阻測試電極相比，用戶指定的電極可能會產(chǎn)生不同的測量電阻值。如果用戶認(rèn)為所有的差異都很顯著，則可相應(yīng)的調(diào)整到接受限度內(nèi)，并記錄在符合驗證計劃中。GB/T37977.51規(guī)定，如果使用的測試方法與GB/T37977.51中指定的方法不同，用戶應(yīng)證明所獲得的結(jié)果與使用參考標(biāo)準(zhǔn)所獲得的結(jié)果相關(guān)。7接地/連接7.1檢查系統(tǒng)的設(shè)備接地當(dāng)使用設(shè)備接地作為防靜電接地時，應(yīng)使用國家電氣規(guī)程批準(zhǔn)的連接器或適配器進(jìn)行連接。在許多國家/地區(qū)，國家電氣規(guī)范或法規(guī)要求由資質(zhì)人員對包括電源接線系統(tǒng)在內(nèi)的接地/連接系統(tǒng)進(jìn)行測試。如果設(shè)施中不是這種情況，則至少應(yīng)按如下所述檢查正確的接線。另詳見資料性附錄I。此符合性驗證測試程序的目的是驗證防靜電工作區(qū)（例如防靜電工作臺，參見圖1）的各種接地/連接系統(tǒng)是否在用戶規(guī)范允許的電阻范圍內(nèi)。正確配置的防靜電工作臺會將所有防靜電工作臺面、固定裝置、可拆卸設(shè)備和人員接地設(shè)備連接到一個公共接地點。公共接地點連接到防靜電接地，這個防靜電接地在大多數(shù)情況下將是設(shè)備接地（保護(hù)接地）。如果使用功能性接地，則應(yīng)盡可能將其連接到電氣接地（有關(guān)信息，請參見IECTR61340-5-2[2]）。6GB/Z37977.54—XXXX圖1防靜電工作臺7.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。電阻測量儀；兩條足夠長的測試線。7.4腕帶連接點的測試程序a)將兩條測試線連接到電阻測量儀；b)將一條測試線連接或放置到手腕連接點（人員接地），另一條測試線連接到防靜電接地；c)根據(jù)電阻測量儀的說明書測量電阻，并記錄結(jié)果。7.5腕帶連接點故障的排除a)進(jìn)行目測和機(jī)械檢查所有終端硬件和接地線無松動、斷裂或斷開；b)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行；c)測試腕帶連接點到公共接地點的電阻；d)測試公共接地點對防靜電接地的電阻；e)如果測得的電阻超出規(guī)定范圍，則應(yīng)更換腕帶連接點和公共接地點之間的連接，和/或公共接地點和ESD接地之間的連接，并重新測量電阻；f)如果測得的電阻仍然在規(guī)定范圍之外，工作臺應(yīng)停止使用，并進(jìn)行明顯標(biāo)識。8工作臺面8.1測試程序的依據(jù)本符合性驗證測試依據(jù)GB/T37977.23。本測試程序的目的是驗證防靜電控制工作臺面（桌墊或裸桌）與防靜電接地電連接，并且在用戶規(guī)定允許的最小和最大電阻范圍內(nèi)。本測試程序也可以用于貨架、抽屜和其他ESD接地存儲設(shè)備表面的測量。8.3測試設(shè)備關(guān)于測試設(shè)備的一般要求見第6章。一個電阻測試電極；7GB/Z37977.54—XXXX兩條足夠長的測試線；電阻測量儀。圖2防靜電工作臺面測試8.4測試程序a)驗證前不要清潔被測臺面。b)移除被測臺面上所有ESD敏感物品，其他物品應(yīng)留在工作臺面上。在對被測臺面進(jìn)行測試驗證時，所有接地連接（包括設(shè)備的接地連接）應(yīng)保持連接。c)將第一條測試線的一端連接到電阻測試電極，另一端連接到測試儀器；將第二條測試線的一端也連接到測試儀器，另一端連接到ESD接地，見圖2。d)將電阻測試電極放在被測臺面上。e)如果使用具有自動切換測試電壓的電阻測量儀，進(jìn)行測量并記錄電阻。f)如果使用不是自動切換的電阻測量裝置，施加10V電壓并等待儀表穩(wěn)定或15s。如果顯示電阻值小于1.0×106Ω,記錄該電阻值。如果顯示的電阻值大于或等于1.0×106Ω,調(diào)整儀表的測試電壓為100V并重新測試，待儀表穩(wěn)定或15s，記錄顯示電阻值。g)將測試電壓切換到100V可能會出現(xiàn)顯示電阻值小于1.0×106Ω,在該情況下，使用100V測試電壓得到的讀數(shù)。h)如果預(yù)計電阻大于或等于1.0×106Ω,則可以省略10V的測量。8GB/Z37977.54—XXXXi)測試應(yīng)包括受到磨損或明顯污染的臺面區(qū)域。8.5故障排除8.5.1外觀和機(jī)械檢查a)進(jìn)行目測和機(jī)械檢查確認(rèn)所有終端硬件和接地沒有松動、斷裂和斷開。b)仔細(xì)檢查臺面，并檢查它是否被污染或磨損，這可能會導(dǎo)致表面電阻增加。如果被污染，請使用認(rèn)可的清潔劑清潔表面。在重新測試前，確保臺面完全干燥。c)如果清潔后測量的電阻在可接受的范圍內(nèi)，則應(yīng)審查清潔程序并酌情修改。建議定期清潔以保持所有ESD控制臺面的良好電氣功能。d)檢查桌墊連接器與桌墊的連接。e)檢查接地線與桌墊連接器的連接。f)檢查公共接地點與接地線的連接。g)檢查設(shè)備接地到公共接地點的連接。8.5.2電阻測量a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。b)檢查電阻測試電極接觸表面是否有污垢堆積。按照制造商的建議清除表面污垢。如果使用液體清潔電極，請在重新測試前使電極干燥。c)使用電阻測量儀，測試臺面到可接地點的電阻。d)隨著時間的推移，可接地點和工作表面之間的機(jī)械連接可能會松動。確保可接地點和工作臺面之間有良好的連接。用電阻測量儀或低電阻表測試可接地點到公共接地點的電阻。e)用低電阻儀表測試公共接地到防靜電接地之間的電阻。f)確保表面材質(zhì)沒有變質(zhì)。為了確定這種情況，可以使用電阻測量裝置和兩個帶測試線的電阻測試電極測量臺面表面的兩個位置（點對點）之間的電阻。見圖3。9GB/Z37977.54—XXXX圖3點對點電阻測量裝置不能符合要求的有缺陷的防靜電物品應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。9腕帶系統(tǒng)9.1測試程序的依據(jù)本符合性驗證測試程序是基于GB/T37977.46[4]的相關(guān)內(nèi)容。本符合性驗證測試程序的目的是驗證腕帶系統(tǒng)中所有要素（包括穿戴腕帶的人）的總串聯(lián)電阻在用戶規(guī)定允許的最小和最大電阻范圍內(nèi)。腕帶系統(tǒng)的持續(xù)監(jiān)測見資料性附錄G。9.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。a)用于腕帶系統(tǒng)的集成測量儀或電阻測量儀；b)手持電極；c)一條足夠長的測試線。9.4測試程序9.4.1使用綜合電阻測量儀進(jìn)行測試a)將腕帶戴在人的手腕上，將接地線連接到腕帶上，并將接地線的另一端連接到綜合測量儀上；b)用離腕帶最近的手指觸摸綜合電阻測量儀上的接觸區(qū)域，然后按照制造商的說明開啟綜合電阻測量儀；c)記錄電阻值或“通過”或“失敗”指示，見圖4。GB/Z37977.54—XXXX圖4使用綜合電阻測量儀進(jìn)行腕帶測試9.4.2使用電阻測量儀進(jìn)行測試a)按照用戶的程序?qū)в袀€人接地線的腕帶放在用戶的手腕上。如有必要，調(diào)整腕帶，確保恰好貼緊。b)將接地線連接到電阻測量儀的一個端子上。c)將測試線的一端連接到手持電極，將測試線的另一端連接到電阻測量儀。d)用佩戴腕帶的手握住手持電極。見圖5。e)測量并記錄腕帶和地線系統(tǒng)的電阻。f)使用布質(zhì)腕帶時，建議定期測試布料。這可以通過將帶扣與皮膚分離來完成測試，例如，腕帶在手腕上時，使用薄而柔韌的絕緣體將其與皮膚分離，見圖6，或者從手腕上取下腕帶，用拇指和食指捏住腕帶布質(zhì)部分，見圖7。圖5使用電阻測量儀的腕帶測試GB/Z37977.54—XXXX圖6使用電阻測量儀的腕帶布料測試圖7使用電阻測量儀的手持腕帶布料測試GB/Z37977.54—XXXX9.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保運行正常。b)檢查腕帶以確保其尺寸正確并緊貼皮膚。c)檢查腕帶以確保它沒有被污染。d)用新腕帶更換腕帶并重復(fù)測試程序。e)用新的接地線更換接地線并重復(fù)測試程序。f)如果上述步驟無效，則可能是人體皮膚的電阻比較高。天氣變化會影響人體皮膚接觸電阻。有些腕帶能將水分鎖存在腕帶下，對皮膚干燥的人是更有效的。使用符合工藝要求的潤膚露或凝膠可能會降低人的皮膚接觸電阻。如果使用皮膚潤膚露和凝膠，可能需要在輪班期間更頻繁的測試，以確保其持續(xù)有效。不符合要求的或有缺陷的防靜電物品應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。10人-鞋系統(tǒng)10.1測試程序的依據(jù)本符合性驗證測試依據(jù)GB/T37977.51。此符合性驗證測試程序的目的是驗證鞋靴系統(tǒng)（人體和鞋靴）的電阻在用戶規(guī)定的允許范圍內(nèi)。鞋類可能包括鞋子、腳墊或鞋套。10.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。a)人鞋系統(tǒng)綜合電阻測量儀或電阻測量儀；b)鞋類電極；c)手持電極；d)兩條足夠長的測試線。10.4測試程序10.4.1綜合電阻測量儀測試a)按照用戶的程序穿戴防靜電鞋；b)將一只腳放在綜合電阻測量儀的腳電極上，確保另一只腳不與腳電極或相鄰的ESD控制地板接觸；c)觸摸綜合電阻測量儀上的接觸區(qū)域，開啟綜合電阻測量儀。參見圖8a）。記錄電阻或“通過”或“失敗”指示；d)對另一只腳重復(fù)以上測量。注：一些具有雙足電極的綜合電阻測量儀可以同時對雙足進(jìn)行這種測量。10.4.2使用電阻測量儀測試GB/Z37977.54—XXXXa)按照用戶的程序穿戴防靜電鞋。b)將第一條測試線的一端連接到手持電極，另一端連接到電阻測量裝置。c)將第二條測試線的一端連接到電阻測量裝置，另一端連接到腳電極。d)用一只手握住手持電極。e)將一只腳踩在綜合電阻測量儀的腳電極上，確保另一只腳不與腳電極或相鄰的防靜電地板接觸，見圖8b）。f)施加測試電壓10V并等待儀表穩(wěn)定或15s。如果顯示電阻值小于1.0×106Ω,記錄該電阻值。如果顯示電阻值大于或等于1.0×106Ω,將儀表的測試電壓切換到100V，重復(fù)測試。對另一只腳重復(fù)以上測試步驟。g)將測試電壓切換到100V可能會出現(xiàn)電阻值讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓的讀數(shù)。a)使用綜合電阻測量儀測試b）圖8防靜電鞋測試10.5故障排除GB/Z37977.54—XXXXa)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保運行正常。b)確保防靜電鞋穿著正確。c)檢查防靜電鞋，確保鞋底未沾污或損壞，以免增大防靜電鞋系統(tǒng)的阻值。d)如有必要，請使用認(rèn)可的清潔劑清潔防靜電鞋，并在防靜電鞋干燥后再重新測試。e)天氣的變化和鞋子的干燥程度會影響人體皮膚的接觸電阻。f)皮膚干燥的人通常需要時間在鞋內(nèi)積累足夠的水分以進(jìn)行良好的接觸。使用符合工藝要求的潤膚露或凝膠，可能會降低人皮膚的接觸電阻。g)如有必要，更換防靜電鞋并重復(fù)以上程序。不符合要求的或有缺陷的防靜電物品應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。11地板11.1測試程序的依據(jù)本符合性驗證測試依據(jù)IEC61340-4-1。本符合性驗證測試程序的目的是確認(rèn)防靜電地板接地電阻在用戶規(guī)定允許最小和最大接地電阻范防靜電地板可能包括永久安裝的地板、帶有防靜電地板飾面的地板、涂料、瓷磚、油漆或地板墊。11.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。a)電阻測量儀；b)電阻測試電極；c)兩條足夠長的測試線。GB/Z37977.54—XXXX圖9防靜電地板測試11.4測試程序a)在驗證前不能清潔防靜電地板。b)將第一條測試線的一端連接到電極，另一端連接到測試儀器。c)將第二條測試線的一端連接到測試儀器，另一端連接到防靜電接地點。d)將電阻測試電極放置在地板表面，如圖9所示。e)施加測試電壓為10V，等待儀表穩(wěn)定或15s。如果電阻值超過1.0×106Ω,選擇100V并重新測量電阻。f)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓的讀數(shù)。g)測試應(yīng)包括那些容易磨損或明顯污染的地板區(qū)域。11.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保運行正常。b)兩條測試線都應(yīng)能夠與地隔離。由于未定義的接地路徑，交流線路供電的電阻測量設(shè)備可能會給出錯誤的結(jié)果。c)檢查地板是否有過多的灰塵或表面污垢。按照制造商的建議清除測試現(xiàn)場的表面污垢。如果使用液體清潔地板，請在地板干燥后再測試。d)檢查電阻測試電極是否有污垢堆積。按照制造商的建議清除表面污垢。如果使用液體清潔電極，請在電極干燥后再測試。e)使用一個電阻測量儀和兩個帶有測試線的電阻測試電極，進(jìn)行點對點電阻測試，以驗證地板材料是否符合用戶的規(guī)定。如果測量結(jié)果超出規(guī)定范圍，作為故障進(jìn)行記錄并繼續(xù)故障排除。另外，如果清潔解決了問題，這仍被視為失敗，應(yīng)考慮或變更為定期清潔。f)測量防靜電地墊時：1)檢查墊子緊固件與墊子的連接；2)檢查接地線與墊子緊固件的連接；3)檢查公共接地點與接地線的連接；4)檢查設(shè)備接地到公共接地點的連接。不符合要求的防靜電物品和材料應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。12人-鞋-地板系統(tǒng)接地電阻測量12.1測試程序的依據(jù)此符合性驗證測試程序是基于IEC61340-4-5和GB/T37933.51。GB/Z37977.54—XXXX此符合性驗證測試程序的目的是驗證鞋類系統(tǒng)（人、鞋類和地板）的接地電阻是否在用戶規(guī)范的允許范圍內(nèi)。鞋類可能包括鞋子、腳墊或鞋套。防靜電地板可能包括永久安裝的地板、帶有防靜電地板飾面的地板、涂料、瓷磚、油漆或地板墊。12.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。手持電極；電阻測量儀；兩條足夠長的測試線。12.4測試程序a)驗證前不要清潔防靜電地板。b)按照用戶的程序?qū)⒎漓o電鞋穿在腳上。c)將電阻測量設(shè)備的一條引線接防靜電接地點。d)將另一條導(dǎo)線連接到手持電極。e)雙腳站在測試地板上，用一只手牢牢抓住手持電極。請參見圖10。f)施加10V并等待儀表穩(wěn)定或15s。如果顯示的電阻值小于1.0×106Ω,記錄電阻值。如果顯示的電阻值大于或等于1.0×106Ω,將儀表切換到100V檔，重新測試并記錄讀數(shù)。g)將測試電壓切換到100V可能會出現(xiàn)電阻值讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓的讀數(shù)。h)僅左腳接觸地板，右腳保持在地板上方約150mm處懸空，進(jìn)行重復(fù)測量。i)僅右腳接觸地板，左腳保持在地板上方約150mm處懸空，進(jìn)行重復(fù)測量。GB/Z37977.54—XXXX圖10人-鞋-地板系統(tǒng)測試其他人-鞋-地板系統(tǒng)測試見資料性附錄D。12.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。b)檢查地板是否過多的灰塵或表面污垢。按照制造商的建議清除測試現(xiàn)場的表面污染。如使用液體類進(jìn)行地板清潔，在地板干燥后進(jìn)行測試。c)確保正確穿戴防靜電鞋。d)檢查防靜電鞋，確保其鞋底沒有污染或損壞，否則會增加防靜電鞋的系統(tǒng)電阻。如有必要，請使用經(jīng)批準(zhǔn)的清潔劑清潔防靜電鞋，待防靜電鞋干燥后，再進(jìn)行重新測試。e)天氣的變化和鞋子的干燥程度會影響人體皮膚接觸電阻。皮膚干燥的人通常需要時間在鞋內(nèi)積累足夠的水分，以保持良好的接觸。使用符合工藝要求的潤膚露或凝膠可能會降低人體皮膚接觸電阻。f)如有必要，更換防靜電鞋并重復(fù)該程序。g)如果測量結(jié)果超出規(guī)定范圍，則將其記錄為故障并繼續(xù)進(jìn)行故障排除。另外，如果清潔解決了問題，這仍被視為失敗，應(yīng)考慮或變更為定期清潔。不符合要求或有缺陷的防靜電物品應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。13工作椅13.1測試程序的依據(jù)本符合性驗證測試程序依據(jù)GB/T37977.23。本符合性驗證測試程序的目的是驗證受試工作椅的對地電阻是否在用戶規(guī)定所允許的對地電阻范13.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章?！娮铚y試電極；——電阻測量儀；——兩條足夠長的測試線。GB/Z37977.54—XXXX13.4測試程序a)將受試工作椅放在已安裝好的防靜電地板上。在驗證之前，不要清潔防靜電地板或工作椅。b)將第一條測試線的一端連接到測試電極，另一端連接到電阻測試儀。c)將第二條測試線的一端連接到電阻測試儀，另一端接地。d)將測量電極放置在工作椅坐面或靠背面的中心（將電極放置在多個使用時的接觸區(qū)域），見e)如果握住測量電極，應(yīng)確保操作者不會形成一個平行的電阻路徑，以免降低電阻測量值。電阻測試電極應(yīng)與操作者絕緣。可以通過在電阻測試電極或電極體上使用絕緣套，或由操作員穿戴絕緣手套或類似絕緣材料制品來實現(xiàn)。絕緣套管、手套或材料的電阻應(yīng)至少比用戶規(guī)定要求的靜電椅對地最大電阻高10倍。f)施加10V電壓，待儀表穩(wěn)定或15s開始測試。如果指示的電阻小于1.0×106Ω,記錄讀數(shù)。如果顯示的電阻大于或等于1.0×106Ω,則需將儀表切換到100V并重新測試，并在儀表穩(wěn)定或15s記錄電阻值讀數(shù)。g)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，以100V測試電壓的讀數(shù)為準(zhǔn)。h)可選擇使用適合工作椅設(shè)計的可接觸式電極檢查椅子的以下區(qū)域：1)工作椅背面的中心；2)輪子（如果配備）；3)扶手面（如果配備）。i)如果工作椅靠背面的接地電阻高于用戶的規(guī)定，則該表面應(yīng)被視為工藝必要絕緣體（見第19j)測試應(yīng)包括防靜電椅上易磨損或明顯污染的區(qū)域。GB/Z37977.54—XXXX圖11防靜電椅測試13.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。b)檢查電阻測試電極是否有污垢堆積。按照制造商的建議清除表面污垢。如果使用液體清潔電極，請在電極干燥后再測試。c)確認(rèn)防靜電地板表面對地電阻。如果地板對地電阻很高，用認(rèn)證過的清潔劑清潔地板。在重新測試前讓地板干燥。如果清潔后地板合格，重新測試工作椅。如果地板不合格，需要對地板問題進(jìn)行故障排除。d)使用認(rèn)證過的清潔劑清潔接地點（即輪子、腳踏輪、接地鏈），干燥后再重新測試。e)使用兩個電阻測試電極驗證點對點電阻或?qū)ぷ饕蔚妆P的電阻是否符合用戶要求。f)檢查接地點的電氣性能：1)將一個接地點（即輪子、腳踏輪、接地鏈）放在導(dǎo)電金屬電極上，并將電阻測試電極放在工作椅椅面中心。2)測量從電阻測試電極到金屬電極的電阻。3)對所有接地點（即輪子、腳踏輪、接地鏈）重復(fù)此測試。g)用吸塵器或制造商認(rèn)證過的清潔產(chǎn)品清潔座椅材料（如使用液體，請使座椅材料干燥后再重新測試。如果工作椅任何部件、地板、接地點或織物經(jīng)清潔后測試符合要求，則應(yīng)標(biāo)記不合格，并應(yīng)考慮變更清洗周期。不符合要求或有缺陷的防靜電物品和材料應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。14離子化靜電消除器14.1測試程序依據(jù)本符合性驗證測試程序依據(jù)IEC61340-4-7。本符合性驗證測試程序的目的是驗證離子化靜電消除器的消散時間和殘余電壓（離子平衡）是否符合用戶的要求。本周期性測試程序中的測試步驟適用于對以下類別的電離器：室內(nèi)電離系統(tǒng)、層流罩、工作表面和自動設(shè)備（臺式和懸掛式）和壓縮氣體（槍或噴嘴）。14.3測試設(shè)備針對測試設(shè)備的一般要求見第6章?！潆姲灞O(jiān)測儀或便攜式CPM套件；GB/Z37977.54—XXXX——帶有便攜式CPM套件且用于測量放電時間的計時器。14.4測試程序14.4.1初始測試設(shè)置a)應(yīng)在ESD敏感器件所在的區(qū)域進(jìn)行測量。b)確認(rèn)在靜電消除器不工作的情況下，將CPM板充電至所需電壓，在5分鐘內(nèi)衰減到不超過起始電壓的10%。空氣離子化靜電消除器的加熱器和空氣過濾器（如果配備）在測試期間應(yīng)保持正常運行狀態(tài)。14.4.2放電時間測試a)打開測試設(shè)備并根據(jù)制造商的建議使其在測試前趨于穩(wěn)定。b)將CPM板接地并確認(rèn)電壓歸零。c)CPM板與地面斷開后，不要在電離環(huán)境下校驗歸零。d)將CPM板放在測試位置。e)將CPM板充電至超過每個極性的初始測試電壓的適當(dāng)電壓值（例如，+1200V或-1200V）。f)放電時間測量從CPM板電壓衰減到初始測試電壓（通常為±1000V）開始，并在CPM板電壓衰減到最終測試電壓（通常為±100V）時停止。g)對相反的極性重復(fù)上述步驟。記錄每個極性的放電時間（以秒為單位）。14.4.3殘余電壓（離子平衡）測試a)打開測試設(shè)備并根據(jù)制造商的建議使其在測試前趨于穩(wěn)定。b)將CPM板接地并確認(rèn)電壓歸零。c)當(dāng)CPM板與地面斷開后，不要在電離環(huán)境下校驗歸零。d)將CPM板朝向空氣離子化靜電消除器的氣流方向放置。等待讀數(shù)穩(wěn)定。e)記錄殘余電壓（離子平衡）讀數(shù)。14.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的使用說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。b)檢查測試設(shè)備是否正確接地。c)檢查該區(qū)域內(nèi)沒有可能導(dǎo)致離子吸附到其表面的大型導(dǎo)電物體。d)當(dāng)靜電耗散時間超出用戶指定的限值時可適當(dāng)增加空氣速度。e)檢查工作區(qū)域中的物品是否阻擋氣流，并且其他氣流源是否影響該區(qū)域。f)檢查風(fēng)扇是否正常運行。g)檢查空氣過濾器是否被灰塵和污垢堵塞。必要時清潔或更換空氣過濾器。h)斷電后，檢查放電極（應(yīng)清潔、無彎曲或破損）。如有必要，請按照制造商的使用說明進(jìn)行清潔或更換。在重新測試之前確認(rèn)放電極干燥。i)檢查電氣設(shè)備是否可靠接地。j)如果適用，請按照制造商的使用說明調(diào)整靜電消除器的殘余電壓（離子平衡）。k)如果適用，檢查α輻射源的使用壽命。如有必要，按照制造商的使用說明進(jìn)行更換。l)如果適用，檢查α輻射源的外殼，確保按照制造商的使用說明正確接地。GB/Z37977.54—XXXX如果經(jīng)清潔或更換測試的任何部件、過濾器或放電極使離子化靜電消除器符合要求，則應(yīng)記錄故障并考慮定期清潔或更換相關(guān)部件。不符合要求或有缺陷的防靜電設(shè)備和材料應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。15移動設(shè)備15.1測試程序的基礎(chǔ)本符合性驗證測試程序依據(jù)以下標(biāo)準(zhǔn)：?GB/T37977.23。此符合性驗證測試程序的目的是驗證移動設(shè)備（例如各種手推車）接地系統(tǒng)（移動設(shè)備到接地地板）的電阻是否在用戶規(guī)定的允許范圍內(nèi)。移動設(shè)備上所有使用接地線接地的工作臺面都應(yīng)按照第8章進(jìn)行測試。15.3測試設(shè)備測試設(shè)備主要包括下列設(shè)備和配件，其一般要求見第6章。l電阻測量儀；l電阻測試電極；l兩條足夠長的測試線。15.4測試程序a)將待測移動設(shè)備置于已接地的防靜電地板上。b)請勿在測試前清潔防靜電地板。c)移除移動設(shè)備上所有的ESD敏感物品。d)將第一條測試線的一端連接到測試電極，另一端連接到電阻測試儀。e)將第二條測試線的一端連接到電阻測量儀，另一端接地。f)將電阻測試電極置于移動設(shè)備工作臺面上的中心位置,見圖12。g)首先使用電阻測量儀的10V檔進(jìn)行測量，等待儀表穩(wěn)定或15s進(jìn)行讀數(shù)。如果所讀取的電阻值小于1.0×106Ω,直接記錄該電阻值為測試結(jié)果；如果所讀取的電阻值大于等于1.0×106Ω,則將電阻測量儀切換到100V檔并重新進(jìn)行測試，等待儀表穩(wěn)定或15s，記錄讀數(shù)為測試結(jié)果。h)若使用100V檔測量所讀取的電阻值小于1.0×106Ω,則記錄該值為測試結(jié)果。i)對移動設(shè)備的所有其他工作臺面重復(fù)上述測試步驟。j)上述測試應(yīng)包括移動設(shè)備上易磨損或有明顯臟污的區(qū)域。GB/Z37977.54—XXXX圖12防靜電移動設(shè)備測試示意圖15.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。b)確認(rèn)地板的接地電阻是否滿足用戶規(guī)定的要求。c)確認(rèn)推車的組件沒有電氣隔離。d)目視檢查以確定移動設(shè)備上的接地部位（例如拖鏈、電纜、腳輪、輪子）沒有臟污且連接牢固（必要時進(jìn)行相應(yīng)清潔）。e)檢查移動設(shè)備工作臺面的接地連接。f)檢查移動設(shè)備上的接地部位，以確保它們沒有臟污或磨損，否則會增加移動設(shè)備接地系統(tǒng)的電阻。如果移動設(shè)備的接地部位臟污，請使用推薦的清潔劑進(jìn)行清潔后，再重復(fù)檢測。g)檢查接地部位的電氣性能：1)將一個接地部位（即輪子、腳輪、拖鏈）置于導(dǎo)電金屬電極上，并將電阻測試電極放在移動設(shè)備工作臺面上的中心位置。2)測量電阻測試電極與導(dǎo)電金屬電極之間的電阻。GB/Z37977.54—XXXX3)對所有其它接地部位重復(fù)此操作。h)檢查電阻測試電極是否有污垢。按照制造商的建議清除電極表面污染。如果使用液體清潔電極，應(yīng)干燥電極后再進(jìn)行測試。i)再次測量電阻測試電極與金屬電極之間的電阻。j)眾所周知，拖鏈或線纜對于移動設(shè)備的接地來說是不可靠的（參見IECTR61340-5-2[2]）。在移動設(shè)備上進(jìn)行測量時，可能會出現(xiàn)初始測試結(jié)果超出可接受范圍但稍微移動設(shè)備后的后續(xù)測試結(jié)果卻在可接受范圍內(nèi)的情況。在這種情況下，建議進(jìn)行進(jìn)一步測量以確定是否可以將超出限制的測量結(jié)果視為異常值。如果通過清潔地板、接地部位、工作臺面以及其它任何被測組件，而導(dǎo)致移動設(shè)備測試結(jié)果滿足限值要求，則應(yīng)記錄測試失效，并應(yīng)考慮或更改移動設(shè)備的清潔時間為定期清潔。不符合要求或有缺陷的ESD控制設(shè)備和材料應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。16可接地防靜電服系統(tǒng)16.1測試程序的基礎(chǔ)此符合性驗證測試程序是基于IEC61340-4-6[4]和IEC61340-4-9[8]。此符合性驗證測試程序的目的是驗證可接地靜電控制服裝系統(tǒng)中所有組件（包括接地線）的總串聯(lián)電阻是否在用戶要求的允許范圍內(nèi)?？山拥胤漓o電服系統(tǒng)是一種為穿著人員與接地點之間建立電連接路徑的靜電控制服裝?？山拥胤漓o電服系統(tǒng)為人員提供了一條接地路徑，該路徑不僅抑制防靜電服內(nèi)層穿著服裝的電場并消散由摩擦產(chǎn)生的表面電荷，同時將穿著人員的皮膚連接到可靠的接地路徑上?？山拥仂o電控制服裝系統(tǒng)也可以與連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)結(jié)合使用，其方式類似于在ESD保護(hù)區(qū)(EPA)中連續(xù)監(jiān)測腕帶接地狀態(tài)所使用的方式。ESD控制服裝可包括潔凈室工作服、潔凈室連帽連體服、實驗室大褂、夾克和罩衫。16.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。腕帶系統(tǒng)電阻測量裝置或電阻測試裝置，應(yīng)根據(jù)符合性驗證測試程序中規(guī)定的限值給出通過或失敗指示?！殖蛛姌O；——兩條足夠長的測試線。16.4測試程序16.4.1使用綜合電阻測量儀進(jìn)行測試a)按照用戶的規(guī)定步驟穿上服裝并正確系緊。確保服裝袖口緊貼皮膚。如果是可調(diào)節(jié)袖口，需要調(diào)整以確保貼合。將接地線連接到服裝的接地連接處。b)如果適用，將腕帶系統(tǒng)或鞋類綜合電阻測量儀切換到腕帶測試系統(tǒng)。GB/Z37977.54—XXXXc)將接地線另一端連接到綜合測量儀。d)測試人員手指按住金屬觸點或測試板，直到測試儀顯示通過或失敗指示。參見圖13。圖13用綜合測量儀測試與人體結(jié)合的可接地防靜電服系統(tǒng)電阻示意圖16.4.2用電阻測量儀測試a)按照用戶的規(guī)定步驟穿上服裝并正確系緊。確保服裝袖口緊貼皮膚。如果是可調(diào)節(jié)袖口，需要調(diào)整以確保貼合。b)將接地線連接到服裝的接地點。c)將接地線的另一端連接到儀表。d)將另一條測試線的一端連接到手持電極，另一端連接到測試儀。e)一只手握住手持電極，見圖14。f)施加10V并等待儀表穩(wěn)定或15s開始測試,如果指示的電阻小于1.0×106Ω,記錄該讀數(shù)。如果顯示的電阻等于或大于1.0×106Ω,將施加電壓切換到100V并重新測試，當(dāng)測試儀穩(wěn)定后或15s記錄讀數(shù)。g)將測試電壓切換到100V，電阻讀數(shù)可能會小于1.0×106Ω,在這種情況下，記錄100V測試電壓下的電阻值。GB/Z37977.54—XXXX圖14測試設(shè)置——與人、手持電極和電阻相連接的防靜電服系統(tǒng)測量裝置16.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的使用說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。b)檢查服裝袖口，確保其尺寸合適并調(diào)整到緊貼皮膚，和皮膚中間沒有其他的服裝或物品。c)檢查服裝和袖口區(qū)域，確保沒有被污染或破損。d)如果進(jìn)行上述步驟后無效，說明人的皮膚可能具有高電阻。天氣變化會影響人員的皮膚電阻。使用符合要求的潤膚露或凝膠會降低袖帶區(qū)域周圍的皮膚接觸電阻。如果使用潤膚露和凝膠，可能需要在輪班期間進(jìn)行頻繁的測試，以確保其持續(xù)效果。e)檢查服裝裁片與裁片之間的接縫，確保沒有被污染或破損。f)更換新的接地線并重復(fù)該過程。g)更換新的服裝并重復(fù)該過程。不符合要求或有缺陷的ESD控制設(shè)備和材料應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。17防靜電服和可接地防靜電服17.1點對點測試方法GB/Z37977.54—XXXX17.1.1測試程序的基礎(chǔ)該符合性驗證測試程序依據(jù)IEC61340-4-9[8]。此符合性驗證測試程序的目的是驗證服裝的袖套到袖套（或袖口到袖口）的電阻值是否在用戶要求的允許范圍內(nèi)。ESD控制服裝可包括潔凈室工作服、潔凈室連帽連體服、實驗室大褂、夾克和罩衫。17.1.3試驗設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。電阻測量儀；兩個電阻測試電極；兩條足夠長的測試線；兩個絕緣條（對服裝來說足夠大）。17.1.4測試程序a)將兩個電阻測試電極連接到測試線，并將測試線連接到綜合電阻測量儀。b)將服裝展開并平鋪在絕緣支撐表面上。重要的是打開服裝以避免服裝穿著時片和片之間存在的任何連接。c)將絕緣條插入受試服裝各個袖口的末端。見圖15。d)將電阻測試電極放在衣服的每個袖子（或每個袖口）上。確保衣袖與衣服的主體分開，見圖e)施加10V電壓并等待儀表穩(wěn)定或15s開始測試。如果顯示的電阻值小于1.0×106Ω,記錄該電阻值讀數(shù)。如果顯示的電阻值等于或大于1.0×106Ω,則將施加電壓切換到100V并重新測試，記錄測試儀穩(wěn)定后或15s的電阻值讀數(shù)。f)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓時的讀數(shù)。GB/Z37977.54—XXXX圖15服裝（點對點）電阻測試17.1.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的使用說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。b)檢查電阻測試電極是否被污染或破損。按照制造商的建議清除表面污染。如果使用液體清潔電極，請在電極干燥后再重新測試。c)檢查服裝（例如裁片之間的接縫）以確保沒有被污染或破損。d)復(fù)查洗衣過程：1)洗滌、烘干或熨燙產(chǎn)生的高溫可能會損壞服裝中的碳纖維。2)洗衣過程中使用的織物柔軟劑可能會覆蓋在織物纖維上。3)氯漂白劑可能會損壞導(dǎo)電纖維（尤其是銀基纖維）。4)通常來自租賃供應(yīng)商的服裝，無論最終的漂洗過程是否為一個單獨的過程，應(yīng)該了解在洗滌后是否需要局部表面處理或后處理。不符合要求或有缺陷的ESD控制設(shè)備和材料應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。17.2懸掛法GB/Z37977.54—XXXX17.2.1測試程序的基礎(chǔ)本符合性驗證測試程序是基于IEC61340-4-9[8]。本符合性驗證測試程序的目的是驗證服裝的袖套對袖套（或袖口對袖口）的電阻值是否在用戶要求所允許的范圍內(nèi)。防靜電服可包括潔凈室工作服、潔凈室連帽連體服、實驗室大褂、夾克和罩衫。17.2.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。——電阻測試儀；——絕緣懸掛裝置（滿足絕緣性支撐面的電氣要求）；——兩個夾子電極，見圖16；——兩條足夠長的測試線。17.2.4測試程序a)使用絕緣懸掛裝置，將服裝用電隔離的夾子電極將衣袖懸掛起來。b)鉗形電極應(yīng)按以下方式連接。1)對于配有袖口的服裝，連接在袖口上。2)對于沒有配備袖口的服裝，連接在袖子上。c)將測試線一端連接到一個夾子電極上，另一端連接電阻測量儀，見圖17。d)施加10V電壓，等待儀表讀數(shù)穩(wěn)定或15s讀數(shù)，如果讀數(shù)小于1.0×106Ω,記錄該電阻值。如果讀數(shù)大于或等于1.0×106Ω,將電表切換到100V并重新測試,待儀表讀數(shù)穩(wěn)定或15s讀取電阻值。e)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，記錄100V測試電壓下的電阻讀數(shù)。圖16用于懸掛式服裝測試的夾子電極GB/Z37977.54—XXXX圖17懸掛式夾子電阻測量17.2.5故障排除確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。a)檢查電阻測試電極是否被污染或破損，按照制造商的建議清除表面污染。如果使用液體清潔電極，應(yīng)在電極干燥后再重新測試。b)檢查服裝（如裁片之間的接縫）以確保沒有被污染或破損。c)復(fù)查洗衣過程：1)洗滌、烘干或熨燙產(chǎn)生的高溫可能會損壞服裝中的碳纖維。2)洗衣過程中使用的織物柔軟劑可能會覆蓋在織物纖維上。3)氯漂白劑可能會損壞導(dǎo)電纖維（尤其是銀基纖維）。4)通常來自租賃供應(yīng)商的服裝，不管最終的漂洗過程是否為一個單獨的過程，可能在洗滌后需要局部表面處理或后處理。不符合要求或有缺陷的ESD控制設(shè)備和材料應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。其他服裝測試方法可在資料性附錄C中找到。18包裝18.1測試程序的基礎(chǔ)本符合性驗證測試程序是基于下列標(biāo)準(zhǔn)：-IECTR61340-1[1]；GB/Z37977.54—XXXX-GB/T37977.23；-IEC61340-5-3[9]。本符合性驗證測試程序的目的是驗證生產(chǎn)過程中使用的ESD控制包裝的表面或體積電阻。防靜電包裝可能包括波紋包裝盒、袋、手提箱、存儲箱、托盤、緩沖包裝、泡沫、管子、膠帶和卷軸、收縮包裝以及用于促進(jìn)過程中材料處理的任何其他材料。一個設(shè)計良好的符合性驗證計劃涉及到防靜電包裝，因為許多類型的包裝的防靜電性能可能會隨著時間和使用而退化。這些測試不能用于屏蔽效果或能量穿透。如果包裝被用作工作面，應(yīng)適用工作面的要求。18.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。a)電阻測量儀。b)絕緣支撐面。c)以下一個或多個電極：1)同心環(huán)電極組件；2)平行電極或其他用戶指定的電極；3)兩點式探針；4)兩個電阻測試電極。d)導(dǎo)電金屬電極的面積應(yīng)略大于被測包裝。電極和電阻測量儀可以組合成一個綜合電阻測量儀。18.4測試程序18.4.1使用綜合電阻測量儀測量表面電阻a)將包裝放在絕緣支撐表面上，以確保進(jìn)行與產(chǎn)品鑒定或驗收測試數(shù)據(jù)一致的測量。在耗散或?qū)щ姳砻嫔系臏y量往往會使測量產(chǎn)生偏差，并可能提供錯誤的結(jié)果。b)使用絕緣樣品支撐表面在EPA內(nèi)部進(jìn)行測試時需要小心。所有ESDS項目應(yīng)移動到距離測試區(qū)域大于30cm的距離。c)將綜合電阻測量儀的測試電極放置在包裝中心附近（或磨損區(qū)域）。d)施加測試電壓并觀察讀數(shù)，測試電壓可選擇10V或100V。首先施加10V電壓，等待儀表穩(wěn)定或15s，如果讀數(shù)小于1.0×106Ω,記錄該電阻值。如果讀數(shù)大于或等于1.0×106Ω,將電表切換到100V并重新測試,待儀表穩(wěn)定或15s讀取電阻值。e)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓時的讀數(shù)。f)外觀相同的包裝的表面電阻可能相差多個數(shù)量級。為避免可能損壞測量儀或樣品，應(yīng)始終先將測試電壓設(shè)置為10V進(jìn)行測量。g)如果測試袋子材料，應(yīng)測試內(nèi)表面和外表面的表面電阻性能。18.4.2使用同心環(huán)電極組件或平行電極測量表面電阻GB/Z37977.54—XXXXa)將包裝放在絕緣支撐面上。在耗散或?qū)щ姳砻嫔系臏y量往往會使測量產(chǎn)生偏差，并可能提供錯誤的結(jié)果。b)將同心環(huán)電極組件或平行電極放置在包裝中心附近（或磨損區(qū)域），見圖18。c)將電阻測量裝置連接到電極。d)施加10V并等待儀表穩(wěn)定或15s，如果讀數(shù)大于1.0×106Ω,請將儀表切換到100V并重新測試，記錄儀表穩(wěn)定或15s的電阻值。e)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓時的讀數(shù)。a)使用同心環(huán)形電極組件進(jìn)行測試b)圖18使用同心環(huán)形電極組件和平行電極的測試方法的設(shè)置18.4.3使用電阻測量儀和兩點式探針測量表面電阻a)將包裝放在絕緣支撐面上。在耗散或?qū)щ姳砻嫔系臏y量往往會使測量產(chǎn)生偏差，并可能提供錯誤的結(jié)果。b)使用絕緣樣品支撐表面在EPA內(nèi)部進(jìn)行測試時需要小心。所有ESDS項目應(yīng)移動到距離測試區(qū)域大于30cm的距離。c)將測試電極放置在包裝中心附近（或磨損區(qū)域）。根據(jù)需要將探針放置在凹陷區(qū)域也是合適d)將電阻測量裝置連接到電極。e)施加10V并等待儀表穩(wěn)定或15s，如果讀數(shù)大于1.0×106Ω,請將儀表切換到100V并重新測試，記錄儀表穩(wěn)定或15s的電阻值。f)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓時的讀數(shù)。GB/Z37977.54—XXXX圖19使用電阻測量儀和兩點式探針測試方法的布置18.4.4使用電阻測量儀和電阻測試電極測量點對點電阻a)將包裝放在絕緣支架上。在耗散或?qū)щ姳砻嫔系臏y量往往會使測量產(chǎn)生偏差，并可能提供錯誤的結(jié)果。b)將一個電極放在包裝中心附近（或磨損區(qū)域），將第二個電極放在一個角落（或盡可能靠近一個角落），見圖20。c)將電阻測量設(shè)備連接到電阻測試電極。d)施加10V并等待儀表穩(wěn)定或15s，如果讀數(shù)大于1.0×106Ω,請將儀表切換到100V并重新測試，記錄儀表穩(wěn)定或15s的電阻值。e)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓的讀數(shù)。GB/Z37977.54—XXXX圖20使用兩個電阻測試電極測試方法的布置18.4.5用電阻測量儀或綜合電阻測量儀測量體積電阻注：此程序只能用于體積導(dǎo)電或耗散包裝。a)將導(dǎo)電電極放在絕緣支架上，并將防靜電包裝放在導(dǎo)電電極上。b)將電阻測試電極、同心環(huán)電極或綜合電阻測量儀器放置在ESD封裝的中心，見圖21。一些綜合電阻測量儀器有兩個電極（棒或同心環(huán)），并且都保持連接到儀器的測量電路，此類儀器不能用于此程序。c)只有當(dāng)其中一個電極可以與測量電路斷開時，才能使用綜合電阻測量儀測量體積電阻。d)施加測試電壓并觀察讀數(shù)，測試電壓可選擇10V或100V。首先施加10V，等待儀表穩(wěn)定或15s。如果讀數(shù)大于1.0×106Ω,請將儀表切換到100V并重新測試，記錄儀表穩(wěn)定或15s的電阻值。e)將測試電壓切換到100V可能會導(dǎo)致電阻讀數(shù)小于1.0×106Ω。在這種情況下，使用100V測試電壓時的讀數(shù)。f)外觀相同的包裝的表面電阻可能相差多個數(shù)量級。為避免可能損壞測量儀器或樣品，應(yīng)始終先將測試電壓設(shè)置為10V進(jìn)行測量。GB/Z37977.54—XXXX圖21使用電阻測試電極或同心環(huán)電極組件和綜合電阻測量儀測試方法布置18.5故障排除（表面電阻、點對點電阻和體積電阻）確認(rèn)測試設(shè)備運行正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果設(shè)備由電池供電）以確保正常運行。a)如果測試儀讀數(shù)為開路，請檢查電線的連續(xù)性以及與終端的連接。b)測量具有高電阻值的包裝時，測試線可能會受到干擾（線路電壓、噪聲等），從而導(dǎo)致測量問題。將測試裝置移動到干擾較小的區(qū)域。c)檢查該區(qū)域的相對濕度。濕度的降低可能會導(dǎo)致某些包裝的體積電阻增加。不符合要求或有缺陷的防靜電設(shè)備和材料應(yīng)停止使用，并做出明確標(biāo)記。GB/Z37977.54—XXXX注：如果清洗或接觸其他化學(xué)品，帶有涂層表面的包裝可能會失去其靜電控制性能。19必用的絕緣體19.1測試程序的基礎(chǔ)靜電場測試儀和靜電電壓表的使用宜參考以下標(biāo)準(zhǔn)：-IECTR61340-1[1]；-IECTR61340-5-2[2]。此符合性驗證測試程序的目的是驗證工藝必需的絕緣體所形成的靜電場強(qiáng)或表面電位不超過用戶規(guī)定限值。對工藝必需絕緣體進(jìn)行測量時，要著重考慮可能使絕緣體帶電的任何起電機(jī)制（接觸和分離過程、摩擦等），并在進(jìn)行測量之前盡可能重復(fù)這些過程。注：GB/T37977.51要求將非必要的絕緣體從工藝中移除。19.3測試設(shè)備測試設(shè)備的一般要求見第6章。靜電場測試儀或靜電電壓表。19.4測試程序19.4.1ESD敏感器件(ESDS)靜電場源電場強(qiáng)度的現(xiàn)場測量使用靜電場計測量ESDS可能位置的靜電場。a)將現(xiàn)場儀表接地（一些現(xiàn)場儀表可以通過接地人員手持儀表接地）；b)按照制造商的說明操作靜電場測量儀，包括任何復(fù)位程序；c)將測量儀放置在最接近靜電場源的ESDS的典型位置；d)讓儀表穩(wěn)定；e)記錄儀表讀數(shù)。當(dāng)某些材料或物品與絕緣體表面接觸或接近時，可能會出現(xiàn)抑制現(xiàn)象，并呈現(xiàn)出顯著降低的靜電水平。如果該物品保持在當(dāng)前位置，所獲取的讀數(shù)可認(rèn)為是真實的。如果該物品在正常操作過程中離開當(dāng)前位置，則場強(qiáng)可能會大大增加。在這種情況下，應(yīng)在物品遠(yuǎn)離非絕緣表面后再進(jìn)行進(jìn)一步測量。19.4.2絕緣體表面電壓的測量應(yīng)至少包含以下內(nèi)容：a)將靜電電壓表接地（有些儀表可以通過接地的人員拿著表殼接地）；b)如果需要，應(yīng)按照制造商的說明將儀表調(diào)零；c)根據(jù)制造商的說明，將靜電電壓表放置在被測表面適宜距離處；d)待讀數(shù)穩(wěn)定，記錄讀數(shù)。當(dāng)某些材料或物品與絕緣體表面接觸或接近時，可能會出現(xiàn)抑制現(xiàn)象，并呈現(xiàn)出顯著降低的表面電壓水平。如果該物品保持在當(dāng)前位置，所獲取的電壓讀數(shù)可認(rèn)為是真實的。如果該物品在正常操作過程GB/Z37977.54—XXXX中離開當(dāng)前位置，則電壓可能會大大增加。在這種情況下，應(yīng)在物品遠(yuǎn)離非絕緣表面后再進(jìn)行進(jìn)一步測量。19.5故障排查確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行。如果發(fā)現(xiàn)工藝中所必需的絕緣體的場強(qiáng)超過了用戶規(guī)定的ESD最大要求，可通過以下一個或多個措施來降低風(fēng)險：1)用適當(dāng)?shù)慕拥貙?dǎo)體替換絕緣體；2)使用離子化靜電消除器減少表面電荷；3)用局部抗靜電液處理；4)將絕緣體與ESD分開至少30cm；5)采用用戶指定的其它措施。避免用手指、手套或任何物體或材料接觸現(xiàn)場儀表的感應(yīng)板或被測絕緣體。電場儀傳感板上的任何異物殘留物或材料都可能影響其測量度測量電場強(qiáng)度的準(zhǔn)確性。20工藝必需的孤立導(dǎo)體20.1測試程序的基礎(chǔ)靜電電壓表的使用宜參考以下標(biāo)準(zhǔn)：-IECTR61340-1[1];-IECTR61340-5-2[2].本符合性驗證測試程序的目的是驗證工藝必需的孤立導(dǎo)體所形成的靜電場強(qiáng)度或表面電位不超過用戶的ESD控制程序所允許的最大值。在對工藝必需的孤立導(dǎo)體進(jìn)行測量時，必須考慮到可能對導(dǎo)體充電的任何充電機(jī)制（接觸和分離過程、摩擦等），并在測量前盡可能地重復(fù)這些過程。應(yīng)盡可能將與靜電敏感器件接觸的導(dǎo)體接地。如果與靜電敏感器件接觸的孤立導(dǎo)體無法接地，也無法從工藝中移除，則應(yīng)測量其電壓，然后將該電壓與接觸的靜電敏感器件上的電壓進(jìn)行比較，以確定電壓差是否在用戶的規(guī)定范圍內(nèi)。20.3測試設(shè)備關(guān)于測試設(shè)備的一般要求，見第6章。靜電場強(qiáng)計校準(zhǔn)為靜電電壓表，或靜電電壓表（非接觸式或高阻抗接觸式）。20.4測試程序a)將儀表接地（有些儀表可以通過接地的人拿著表殼接地）；b)如果需要的話，按照制造商的說明將電表調(diào)零；c)根據(jù)制造商的說明，將儀表放置在與被測表面的正確距離處；GB/Z37977.54—XXXXd)讓讀數(shù)穩(wěn)定下來，然后記錄讀數(shù)。一些孤立導(dǎo)體在其加工過程中可能會接觸到帶電的物體，這可能會大大影響表面電壓電位。如果該物品在正常操作過程中移動并遠(yuǎn)離該位置，則應(yīng)在該物品接觸以及遠(yuǎn)離孤立導(dǎo)體表面的位置進(jìn)行測量。20.5故障排除a)確認(rèn)測試設(shè)備是否正常運行，并按照制造商的操作說明檢查或維修電池（如果電池供電）以確保正常運行；b)如果發(fā)現(xiàn)孤立導(dǎo)體與所接觸的ESDS的電位差超過了最大允許值，通?？梢酝ㄟ^以下一項或多項措施來降低風(fēng)險：1)將導(dǎo)體接地或等電位連接；2)使用離子發(fā)生器減小導(dǎo)體和ESDS之間的電位差；3)采用用戶指定的其它措施。GB/Z37977.54—XXXX（資料性）測試頻次本文件中列出的符合性驗證測試方法的目的是確定防靜電設(shè)備和材料的性能是否發(fā)生重大變化。本文件未規(guī)定測試頻次要求，基于ESD敏感項目的關(guān)鍵性及防靜電設(shè)備和材料失效風(fēng)險，用戶需要自行確定測試頻次。如何考慮測試頻次的例子:在一些應(yīng)用中，每天的腕帶檢查就足夠了，而在其他操作中，持續(xù)的腕帶監(jiān)測可增加操作人員接地的可靠性。包裝檢查可能取決于包裝的組成和用途。一些包裝可能具有防靜電性能，隨著時間和使用而惡化得快，而一些包裝可能與濕度有關(guān)，可能存在有限的保質(zhì)期。不同的包裝物品看起來是一樣的，但靜電特性卻大不相同。由于混淆的風(fēng)險更大，可能需要多次測試包裝樣品。有些材料，如防靜電地板表面，可能需要多次監(jiān)測，因為它們?nèi)狈τ谰眯?。其他材料，如防靜電乙烯地板覆蓋物或自流平地板系統(tǒng)，可能需要較少的監(jiān)測。在對地板進(jìn)行維護(hù)之后，還宜考慮對地板進(jìn)行測試。檢查鞋類的頻次宜根據(jù)行業(yè)的經(jīng)驗而定。GB/Z37977.54—XXXX符合性驗證測試設(shè)備的校驗B.1一般要求與其他測試設(shè)備一樣，符合性驗證測試設(shè)備通常需定期校準(zhǔn)。附錄B描述了可在工作場所驗證設(shè)備是否正常工作。所有由電池供電的設(shè)備在使用前宜檢查電池充電狀態(tài)。如果對其狀況有疑問，宜適當(dāng)充電或更換電池。試驗前宜檢查并記錄工作區(qū)域的環(huán)境濕度。高濕度會影響材料性能，并可能導(dǎo)致某些測試設(shè)備出現(xiàn)B.2充電板監(jiān)測儀B.2.1常見問題影響充電板監(jiān)測儀的常見問題包括：a)充電板無法達(dá)到所需的充電電壓；b)由于濕度或其他意外的電流路徑導(dǎo)致的極板電荷的泄漏；c)附近存在導(dǎo)致電容和衰減時間增加的包括用戶在內(nèi)的導(dǎo)體；d)在極板上產(chǎn)生電壓的附近帶電絕緣體(包括操作者的服裝)；e)影響測量的氣流(如風(fēng)扇或窗戶的氣流)。B.2.2CPM的基本檢查充電板監(jiān)測儀宜按以下方法進(jìn)行初步檢查：a)將充電板檢測儀放置在合適的位置進(jìn)行檢查，遠(yuǎn)離導(dǎo)體、帶電絕緣體或電離發(fā)生器；b)極板宜充電至1000V或以上，且電壓在1分鐘后不宜降低10%；c)對-1000V重復(fù)上一測試。B.2.3在測量位置的目視檢查在進(jìn)行測量之前，宜檢查附近是否有可能影響測量結(jié)果的帶電絕緣體或?qū)w或氣流。檢查由用戶接近儀器引起的極板電壓差異。B.3各種電極B.3.1常見問題電極(同心環(huán)電極組件、電阻測試電極、兩點探頭和平行電極)通常非常可靠。盡管如此，這些電極可能會遇到以下問題：a)電極表面可能被污物或化學(xué)品污染。b)隨著時間的推移，平面電極會變形。c)諸如同心環(huán)和兩點式探針的電極可能會因絕緣劣化、污染或空氣濕度過高導(dǎo)致電流泄漏，而手持電極，電流可能會通過使用者泄露。B.3.2目視檢查GB/Z37977.54—XXXX電極在使用前宜目測檢查。如果有必要，可以按照制造商的說明，用合適的液體清潔劑清洗。在沒有說明的情況下，可以用異丙醇(IPA)擦拭，并在使用前徹底干燥。注：如果不干燥，清潔劑的存在可能會影響測量結(jié)果。B.3.3電極電阻測試電極電阻可使用電阻測量儀和光潔金屬平板進(jìn)行測試。a)將電阻測量儀連接到被測電極上；b)把電極放在金屬平板上；c)測量電極電阻。電極電阻宜與電極規(guī)格進(jìn)行比較。對于GB/T37977.23中規(guī)定的電極，當(dāng)在(10.0±0.5)V下測量時，預(yù)期的電極電阻小于1.0×103Ω。B.3.4電極泄漏試驗使用電阻測量儀和絕緣支架可測試電極組的泄漏。a)將電阻測量儀連接到被測電極上；b)將電極放置在絕緣支架上；c)測量電極電阻。電阻讀數(shù)宜顯示為超過設(shè)備電阻測量上限。B.3.5用已知電阻測試電極如果有已知材料的樣品，可與電阻測量儀組合為一套用于電極驗證的測試系統(tǒng)。a)將電極連接到電阻測量儀器上；b)把電極放在樣品材料上；c)記錄讀數(shù)。注：對于某些材料，可能需要在測試前將材料放置在絕緣表面上。B.4電阻測量儀B.4.1常見問題電阻測量儀可能帶來下列問題：a)測試電壓可能偏離要求的值，特別是在負(fù)載情況下。b)由于泄漏或高濕度等原因，即使斷開連接，也可能顯示可測量的高電阻。泄漏可能在測試引線內(nèi)或儀表內(nèi)。B.4.2儀表和引線內(nèi)部泄漏的測試使用絕緣表面很容易測量電阻測量儀和測試線的內(nèi)部泄漏。a)從儀表上斷開測試線。b)打開儀表并選擇所需的測試電壓。c)記錄電阻讀數(shù)。電阻讀數(shù)宜顯示為超過設(shè)備電阻測量上限。連接測試線，將其放在絕緣表面上，在連接測試線的情況下重復(fù)上述測試，電阻讀數(shù)宜顯示為超過設(shè)備電阻測量上限。GB/Z37977.54—XXXX操作者手持測試線重復(fù)上述測試，電阻讀數(shù)宜顯示為超過設(shè)備電阻測量上限。注1:如果上述任何一種測試顯示的讀數(shù)低于測量儀的上限，則表明有泄漏；注2:強(qiáng)電磁場的存在，有時也能觀察到類似的泄漏。B.5絕緣支架B.5.1常見問題由于表面污染或高濕度，絕緣表面的表面電阻可能不夠高。B.5.2絕緣表面電阻測試絕緣表面可使用適當(dāng)?shù)碾姌O進(jìn)行測試，就像ESD封裝那樣。電阻讀數(shù)宜顯示為超過設(shè)備電阻測量上限，或至少比使用該設(shè)備測試中的預(yù)期電阻高10倍。如果表面電阻值低于預(yù)期，可用合適的清潔劑清洗，異丙醇（IPA）可用于清潔多種絕緣表面。如果使用液體清潔劑，宜讓絕緣表面徹底干燥后再重新測試。B.6靜電場計B.6.1常見問題靜電場計的讀數(shù)會受到附近物體(包括人體)和儀表接地的影響。靜電場計可以通過單獨的接地線接地。在實際應(yīng)用中為多重接地，如接地用戶手持使用時。B.6.2目測和其他使用前檢查在使用靜電場計之前，請檢查它是通過用戶接地還是通過單獨的接地線接地。如果儀表通過用戶接地，檢查用戶通過腕帶或鞋和測量地點地板之間接地是否充分。使用時，宜檢查待測物品是否固定或可移動。如果是固定的，待測物品宜該在在它的正常工作位置，任何附近其他影響電場分布的物體均宜保持與校準(zhǔn)時的狀態(tài)一致。如果待測物品是可移動的，有必要使它遠(yuǎn)離任何可能影響測量的物體（包括人體）。B.6.3檢查靜電場計接地如果靜電場計采用接地線接地，則可測量靜電場儀的接地點與公共接地點或靜電地之間的電阻。如果測量電阻超出用戶規(guī)定的范圍，宜更換地線并重新測試。如果靜電場儀通過人體接地，可以通過人與腕帶、人與鞋、人與地板的方式測量靜電場計與公共接地點或靜電地之間的電阻。如果測量的電阻超出用戶規(guī)定的范圍，則可對接地線和鞋靴進(jìn)行單獨的電阻測量，以確定宜更換哪些部件。B.6.4檢查靜電場計功能靜電場計可以通過一對平行導(dǎo)體極板來校準(zhǔn)。其中，一個極板接地，另一個極板上施加已知電壓，兩個極板之間產(chǎn)生勻強(qiáng)電場，場強(qiáng)等于電壓除以極板間距。理想情況下，宜使用足夠大的金屬板，靜電場計位于接地極板的中心，以減少靜電場計附近的電場受其它物體的干擾。例如，邊長至少為極板間距四倍的方板一般足以滿足符合性驗證的要求。GB/Z37977.54—XXXX一般情況下，可采用帶靜電物體靠近靜電場計的方法來檢測功能，例如，毛發(fā)摩擦后的泡沫、塑料或玻璃，觀察這類物體靠近時靜電場計的示數(shù)是否隨著距離減小而增加。由于不同材料摩擦后的靜電起電情況不同，測量數(shù)值大小一般不作為判斷功能正常的依據(jù)。如果沒有專用的直流電壓源，可以使用電阻測量儀作為電壓源。a)把導(dǎo)體放在絕緣支架上；b)將直流電壓源的高壓端子連接到導(dǎo)體上；c)直流電壓源的另一端連接到防靜電地；d)靜電場計接地，并保持在離導(dǎo)體表面正確的距離，靠近導(dǎo)體的中心；e)施加測試電壓并記錄讀數(shù)。B.7靜電電壓表B.7.1常見問題靜電電壓表有幾種類型。讀數(shù)可能會受到附近導(dǎo)體(包括人體)的存在和儀表沒有正確接地的影響。靜電電壓表可通過單獨的接地線接地。在實際應(yīng)用中為多重接地，如用戶手持使用時。經(jīng)過校準(zhǔn)的場強(qiáng)計可用作非接觸式靜電電壓表，可通過讀取與加電壓平板距離的方式來校準(zhǔn)。用這類儀器獲得的讀數(shù)受到幾個因素的影響，包括：a)被測物的大小和形狀；b)儀表與被測物之間的距離；c)儀器示值的漂移。一般情況下，使用這種類型的靜電電壓表，當(dāng)被測物比校準(zhǔn)裝置更小或更遠(yuǎn)時，表面電壓讀數(shù)將降低。如果被測物大于校準(zhǔn)裝置或更接近測試儀表，則該值將增加。目標(biāo)的形狀可能會產(chǎn)生復(fù)雜的影響。B.7.2目測和其他使用前檢查在使用電壓表之前，需檢查電壓表是通過用戶接地還是通過單獨的接地線接地。如果儀表通過用戶接地，檢查它們通過腕帶或鞋和測量地點地板之間接地是否充分。有些類型的儀表在每次測量前需要在沒有靜電場的情況下進(jìn)行歸零。在調(diào)零儀表時，通常以接地導(dǎo)體屏蔽儀表傳感面即可，需要注意的是導(dǎo)體宜接地或等電位連接到靜電電壓表上。用戶在使用前宜檢查儀器的校準(zhǔn)距離。通過訓(xùn)練，該儀表可以一定程度上可靠地保持在與目標(biāo)的近似校準(zhǔn)的距離。B.7.3檢查靜電電壓表的接地靜電電壓表通過接地線接地時，可測量靜電電壓表的接地點與公共接地點或靜電接地之間的電阻。如果測量電阻超出用戶規(guī)定的范圍，宜更換地線并重新測試。如果靜電電壓表通過用戶的身體接地，可以通過人與腕帶、人與鞋、人與地板的方式測量靜電壓表與公共接地點或防靜電地之間的電阻。如果測量到的電阻超出用戶規(guī)定的范圍，則可對接地線和鞋靴進(jìn)行單獨的電阻測量，以確定宜該更換哪些產(chǎn)品。B.7.4檢查靜電電壓表的功能在使用中，通過在未接地的平面導(dǎo)體上施加一個已知電壓并測量該電壓，可以檢查靜電電壓表的性GB/Z37977.54—XXXX理想情況下，宜使用一個足夠大的金屬板，靜電電壓表位于金屬板的中心附近，以減小在儀表附近區(qū)域電場受到其他物體的干擾。例如，邊長至少為與靜電電壓表距離四倍的方板一般足以滿足符合性驗證的要求。一般情況下，可使用充電板監(jiān)測儀（CPM）的金屬充電平面作為校準(zhǔn)源，靜電電壓表與CPM的接地端導(dǎo)通，靜電電壓表位于金屬板的中心附近，且與金屬板的距離為儀表推薦距離。CPM及靜電電壓表正常上電后檢查二者示數(shù)的一致性。若用戶沒有標(biāo)準(zhǔn)電壓源或CPM，也可將靜電電壓表靠近一個帶靜電的物體來檢測功能，例如，和毛