堿拋 不良種類分析總結(jié)_第1頁
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文檔簡介

1.堿拋（環(huán)形過拋）原因：進去PSG機臺反片（多為補片）解決方案：1、稽核人員操作，規(guī)范作業(yè)2、醒目處張貼注意事項2.堿拋（大面積過拋）原因：1、擴散面PSG不均勻；2、添加劑濃度低、拋光槽藥液壽命超極限；解決方案：1、排查擴散形成PSG情況；2、補加添加劑，無改善重復配液3.堿拋（邊緣帶狀過拋）原因：1、正面水膜流量偏低，保護不足解決方案：1、加大水膜流量4.堿拋（漏拋）原因：1、去PSG時，背面局部未接觸HF，PSG去除不凈2、HF濃度低；3、氧化層厚度過大或不均勻解決方案：1、檢查去PSG液位高度，1/3滾輪處較佳2、測試滾輪水平度度。5.堿拋（外觀水痕）原因：1、添加劑特性不同影響，在慢提拉槽疏水性不佳解決方案：1、慢提拉槽改冷水（初配和溢流）6.堿拋（氣流?。┰颍?、可能為NaOH反應導致（業(yè)內(nèi)暫未確定）2、外觀不可見，EL可見解決方案：1、NaOH更換為KOH（有改善）7.堿拋（邊緣白臟污亮點）原因：1、暫不清楚8.堿拋（外觀花籃齒?。┰颍?、機械臂異常，導致慢提拉槽停留時間過久（300s）2、下料不及時，導致慢提拉停留時間過久；3、花籃問題（慢提拉問題，暫不確定，待進一步驗證）解決方案：1、反饋設備，解決機械臂的穩(wěn)定性2、要求生產(chǎn)及時下料，禁止下料堵片3、飽和花籃（外觀缺陷花籃隔離返修）9.堿拋（正面邊緣過拋）原因：1、水膜覆蓋不完全解決方案：1、檢查去PSG各道水膜出水情況2、加大PSG刻蝕機臺的水膜流量。10.堿拋（背面局部欠拋）原因：1、去PSG時，背面局部未接觸HF，導致局部PSG去除不凈解決方案：1、檢查去PSG液位高度，1/3滾輪處較佳；2、測試滾輪水平度度。11.堿拋（EL籃齒?。┰颍?、花籃涂層破損嚴重解決方案：1、隔離破損嚴重花籃，返修、噴涂納米氟2、慢提調(diào)節(jié)成弱酸性（關(guān)閉慢提前的水槽溢流）12.堿拋（背面雨點?。┰颍?、拋光槽堿濃度過低，導致拋光反應不充分；2、反應時間不足；3、進料時，未到到設備問題。解決方案：1、補加1-3LKOH，提高拋光槽堿濃度，嚴重時重新配液2、有改善，可臨時提升自補量13.堿拋（臟污）原因：1、堿洗藥液不均勻2、堿洗濃度偏低解決方案：1、補加3-5LH2O2、1LKOH2、有改善，臨時提升自補量14.堿拋（條形臟污）原因：1、制絨和堿拋花籃混用；解決方案：1、要求嚴格管控花籃，禁止不同工序混用；15.堿拋（舟框位置臟污）原因

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