原子層沉積（ALD）工藝助力實(shí)現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺(tái)_第1頁(yè)
原子層沉積（ALD）工藝助力實(shí)現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺(tái)_第2頁(yè)
原子層沉積（ALD）工藝助力實(shí)現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺(tái)_第3頁(yè)
原子層沉積（ALD）工藝助力實(shí)現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺(tái)_第4頁(yè)
全文預(yù)覽已結(jié)束

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

深圳市福英達(dá)工業(yè)技術(shù)有限公司/一站式錫膏解決方案供應(yīng)商原子層沉積（ALD）工藝助力實(shí)現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺(tái)據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近期，德國(guó)弗勞恩霍夫硅技術(shù)研究所（FraunhoferInstituteforSiliconTechnology，ISIT）宣布將PICOSUNP-300BALD系統(tǒng)用于其PowderMEMS技術(shù)平臺(tái)PICOSUNP-300BALD系統(tǒng)及技術(shù)特點(diǎn)FraunhoferISIT的PowderMEMS是一項(xiàng)新研發(fā)的創(chuàng)新技術(shù)，用于在晶圓級(jí)上從多種材料中創(chuàng)建三維微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)基于通過(guò)原子層沉積（ALD）工藝在空腔中將微米級(jí)粉末顆粒粘合在一起。與其它制造技術(shù)相比，PowderMEMS具有許多優(yōu)勢(shì)，因?yàn)樗试S使用比傳統(tǒng)燒結(jié)工藝低得多的工藝溫度。粘合的多孔結(jié)構(gòu)具有耐熱性和耐化學(xué)性，因此可以在潔凈室中進(jìn)行廣泛的后處理。PowderMEMS技術(shù)特點(diǎn)“PowderMEMS可用于多種領(lǐng)域，包括MEMS傳感器、MEMS執(zhí)行器、MEMS能量收集器、微流控、微電子等。例如，它能夠在晶圓級(jí)集成多孔和磁性3D微結(jié)構(gòu)。”FraunhoferISIT小組負(fù)責(zé)人Bj?rnGojdka博士表示。集成微磁體的MEMS能量收集器磁性PowderMEMS微結(jié)構(gòu)集成軟磁芯的微線圈“我們正在尋找一種解決方案，用于在溝槽中對(duì)粉末進(jìn)行保形高表面積涂層。Picosun的ALD解決方案非常適合我們的需求，同時(shí)也在研究擴(kuò)大該技術(shù)的生產(chǎn)規(guī)模。我們對(duì)該ALD系統(tǒng)的熱壁反應(yīng)器、多用途的前驅(qū)體源、易于維護(hù)等感到特別滿意?！盕raunhoferISIT首席科學(xué)家ThomasLisec博士說(shuō)道。Picosun歐洲公司總經(jīng)理ChristophHossbach博士表示：“我們對(duì)這項(xiàng)新技術(shù)的誕生及其帶來(lái)的所有機(jī)會(huì)感到興奮。我對(duì)FraunhoferISIT的PowderMEMS技術(shù)的潛在應(yīng)用印象特

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論