DB31∕792-2020 硅單晶及其硅片單位產(chǎn)品能源消耗限額

2020-03-05發(fā)布2020-06-01實(shí)施I本標(biāo)準(zhǔn)4.2和4.3是強(qiáng)制性的，其余為推薦性的。本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)代替DB31/792—2014《硅單晶及其硅片單位產(chǎn)品能源消耗限額》,與DB31/792—2014相——修改了英文名稱；——修改了適用范圍，取消了太陽能級硅單晶及其硅片的要求(見第1章和2014年版的第1章);——調(diào)整了規(guī)范性引用文件，刪除了GB/T3484,增加了GBGB/T14139(見第2章和2014年版的第2章);——修改了第3章，調(diào)整了術(shù)語和定義，增加了硅單晶、研磨片、拋光片、外延片等產(chǎn)品定義(見第3章和2014年版的第3章);——修改了第4章，刪除了太陽能級硅產(chǎn)品的能耗要求，細(xì)分了產(chǎn)品，重新規(guī)定了硅單晶及硅片單并對計(jì)算方法做了修改、精簡；——修改第6章為“節(jié)能降耗導(dǎo)向”(見第6章和2014年版的第6章);——增加了附錄A。本標(biāo)準(zhǔn)由上海市發(fā)展和改革委員會(huì)、上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)共同提出，由上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)組織實(shí)施。本標(biāo)準(zhǔn)由上海市能源標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：上海有色金屬行業(yè)協(xié)會(huì)、上海市有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)、上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海晶哲電子材料有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：——DB31/792—2014。1下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引GB/T2589綜合能耗計(jì)算通則GB/T12962硅單晶GB/T12964硅單晶拋光片GB/T12965硅單晶切割片和研磨片GB/T14139硅外延片GB17167用能單位能源計(jì)量器具配備和管理通則在硅單晶拋光片上生長一層或多層硅單晶薄膜(外延層)后制成硅單晶外延片，是制作半導(dǎo)體器件2和集成電路的重要基礎(chǔ)材料。4技術(shù)要求硅單晶、硅單晶研磨片、硅單晶拋光片、硅單晶外延片生產(chǎn)企業(yè)或新建項(xiàng)目的產(chǎn)品單位產(chǎn)品能耗限額應(yīng)分別符合表1、表2、表3的要求。其生產(chǎn)工序流程分別如下：——硅單晶生產(chǎn)工序：從原料(多晶硅)放入石英坩堝內(nèi)熔化開始到產(chǎn)出合格硅單晶(棒)止的生產(chǎn)——硅單晶研磨片生產(chǎn)工序：從硅單晶棒切割開始到產(chǎn)出合格研磨片為止的生產(chǎn)過程，包括切片、——硅單晶拋光片生產(chǎn)工序：從硅單晶棒切割開始到產(chǎn)出合格拋光片并進(jìn)人成品庫為止的生產(chǎn)過——硅單晶外延片生產(chǎn)工序：從硅單晶片放入外延爐長晶開始到產(chǎn)出合格外延片并進(jìn)人成品庫為4.2現(xiàn)有生產(chǎn)企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限定值現(xiàn)有生產(chǎn)企業(yè)單位產(chǎn)品綜合能源消耗限定值應(yīng)符合表1的要求。表1單位產(chǎn)品能源消耗限定值硅單晶-硅單晶研磨片1硅單晶拋光片2硅單晶外延片3一4.3新建生產(chǎn)企業(yè)(項(xiàng)目)單位產(chǎn)品能源消耗準(zhǔn)入值新建生產(chǎn)企業(yè)(項(xiàng)目)單位產(chǎn)品能源消耗準(zhǔn)入值應(yīng)符合表2的要求。3表2單位產(chǎn)品能源消耗準(zhǔn)入值硅單晶一一硅單晶研磨片1一硅單晶拋光片2硅單晶外延片3一4.4生產(chǎn)企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗先進(jìn)值企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗先進(jìn)值應(yīng)符合表3的要求。表3單位產(chǎn)品能源消耗準(zhǔn)入值硅單晶一 硅單晶研磨片1 硅單晶拋光片2硅單晶外延片3注4:硅單晶外延片符合GB/T14139的要求。5統(tǒng)計(jì)范圍及計(jì)算方法5.1統(tǒng)計(jì)范圍5.1.1企業(yè)的生產(chǎn)系統(tǒng)、輔助生產(chǎn)系統(tǒng)和附屬生產(chǎn)系統(tǒng)實(shí)際消耗的各種能源，應(yīng)全部計(jì)入產(chǎn)品能源消耗，不得重計(jì)、漏計(jì)(基建項(xiàng)目用能除外)。統(tǒng)計(jì)報(bào)告期為一個(gè)自然年。5.1.2各類產(chǎn)品生產(chǎn)工序能耗統(tǒng)計(jì)范圍：硅單晶生產(chǎn)工序、硅單晶研磨片生產(chǎn)工序、硅單晶拋光片生產(chǎn)工序、硅單晶外延片生產(chǎn)工序。5.1.3作為輔助材料使用的耗能工質(zhì)不計(jì)人產(chǎn)品能耗，如用來生長化合物晶體的氮?dú)?、氧氣、氫氣、?.1.4對確屬無法分開計(jì)量的共用能耗，應(yīng)按GB/T2589的規(guī)定按產(chǎn)量與能耗量的比例進(jìn)行分?jǐn)傆?jì)算。45.2計(jì)算方法n——企業(yè)消耗的能源種類；M—一生產(chǎn)活動(dòng)中消耗的第i種能源實(shí)物量，單位為千克(kg)、千瓦時(shí)(kW·h)、立方米每噸Pi=∑G,·K.K,-一硅片表面積折算系數(shù)(見表4),n取K?,K?,K?,K?;折算系數(shù)K,注：不同直徑硅片均按表面積折算，以直徑150mm的硅片為基數(shù)1.0。56節(jié)能