T-GVS 014-2024 半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評(píng)價(jià)規(guī)范

TGVSI 1 1 1 2 2 3 4 4 5 6 10 14本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定1半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評(píng)價(jià)規(guī)范GB/T14775操縱器一般人類工效學(xué)GB/T16709.1真空技術(shù)管路配件的裝配尺寸第1部分：非刀GB/T16709.2真空技術(shù)管路配件的裝配尺寸第2部分：刀GB/T35076機(jī)械安全生產(chǎn)設(shè)備安全I(xiàn)SO21360-1:2020真空技術(shù)真空泵性能測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方法第1部分：總則（Vacuum最低工作壓力minimumoperation2在理想狀態(tài)下，單位時(shí)間從測(cè)試罩流過(guò)泵入口的氣體體但實(shí)際上，當(dāng)泵在規(guī)定條件下工作，對(duì)給定氣體的體積流率（S）通常約定為該氣體的流量（Q，對(duì)氬氣的最大抽氣能力（允許氬氣最大流量）maximumthroughputfora在某一給定壓力下，單位時(shí)間內(nèi)從測(cè)試罩流入泵進(jìn)口法蘭且能夠?qū)е碌蜏乇枚?jí)冷頭溫度上升到渡越容量（最大氣體負(fù)載耐量）crossove溫度上升到100K后關(guān)閉氮?dú)獯祾唛y和加熱功能，二溫度上升到310K后關(guān)閉氮?dú)獯祾唛y和加熱功能，二低溫泵運(yùn)行期間相鄰兩次故障發(fā)生的平均間隔時(shí)長(zhǎng)，單位根據(jù)低溫泵高真空法蘭公稱通徑尺寸大小，分為200mm（8吋）口徑低溫泵、300mm（12吋）口徑低溫泵等。根據(jù)低溫泵的結(jié)構(gòu)分為立式低溫泵（常用于離子注入機(jī)）和臥式低溫泵（常用于半導(dǎo)體PVD5.1低溫泵系統(tǒng)5.1.1真空端5.1.1.3氣缸應(yīng)選用防銹、耐高低溫、耐氧化、耐酸堿，并具有良好機(jī)械性能的材料，一、二5.1.1.4制冷機(jī)一級(jí)冷頭工作溫度應(yīng)≤90K，制冷量應(yīng)≥10W，二級(jí)冷頭工作溫度應(yīng)≤5.1.2氦端35.1.2.1回?zé)崞魈盍蠎?yīng)選用高體積比熱容的材料，5.1.2.3選用球狀鉛丸為回?zé)崽盍蠒r(shí)，鉛丸的球徑應(yīng)為0.25.1.3壓縮機(jī)5.1.3.2壓縮機(jī)輸出高壓氦氣的壓力應(yīng)≥1.4MPa。5.1.3.4壓縮機(jī)運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的5.1.3.7吸附器更換周期應(yīng)≥15000絡(luò)群組再生、一級(jí)冷頭溫度和二級(jí)冷頭溫度獨(dú)立控指標(biāo)體系中的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)有機(jī)結(jié)合，互相獨(dú)立且不重復(fù)、不矛盾，并能準(zhǔn)確反映低溫評(píng)價(jià)內(nèi)容、指標(biāo)、范圍適用于半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵，并易于操作和評(píng)半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評(píng)價(jià)指標(biāo)分為一級(jí)指標(biāo)和二級(jí)指標(biāo),其中一級(jí)指標(biāo)包括元件及材料指標(biāo)、加工4評(píng)價(jià)指標(biāo)逐層細(xì)化，二級(jí)指標(biāo)得分為所對(duì)應(yīng)具體評(píng)價(jià)指標(biāo)得分之和，一級(jí)指標(biāo)得分為所對(duì)應(yīng)二級(jí)ⅠⅡⅢⅣ5123456序號(hào)1 2關(guān)鍵部件選用處于國(guó)際先進(jìn)冷板、吸附材亮鎳，表面粗糙度Ra＜1.6μm3鎳-4-5-7序號(hào)67-8-92生生8序號(hào)運(yùn)行過(guò)程中抽速穩(wěn)定，符合工藝要求-再生周期內(nèi)工藝壓力數(shù)值波動(dòng)不超過(guò)±10%- -暢 -- 9序號(hào)求- -序號(hào)1-2關(guān)鍵部件選用處于國(guó)際先進(jìn)冷板、吸附材亮鎳，表面粗糙度Ra＜1.6μm3鎳-4-5-序號(hào)67-8-92序號(hào)運(yùn)行過(guò)程中抽速穩(wěn)定，符合工藝要求-