T-FJAS 006-2024 濕電子化學品 再生光阻剝離液

CCSZ00T/FJASwetchemicalsregenerationphotoresiststrippingsolutiIT/FJAS006—2024前言 2規(guī)范性引用文件 3術(shù)語和定義 4技術(shù)要求 5試驗方法 6檢驗規(guī)則 7標志、包裝、運輸、貯存 T/FJAS006—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省標準化協(xié)會歸口。本文件起草單位：福建中融科技有限公司、福建鈺融科技有限公司、福建省化工建設(shè)工程質(zhì)量技術(shù)服務(wù)中心、福建省石油和化工行業(yè)協(xié)會。本文件主要起草人：林秋玉、崔文濤、陳金亮、郭行然、沈軍、趙俊飛、史郭濤、韓永霖、何碧芳、唐憲春、王慧芳、郭偉。1T/FJAS006—2024濕電子化學品再生光阻剝離液本文件規(guī)定了再生光阻剝離液的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存。本文件適用于以濕電子化學品行業(yè)含光阻剝離液回收液為原料，經(jīng)過提純的光阻剝離液再生產(chǎn)品(以下簡稱產(chǎn)品），主要用于顯示面板制造行業(yè)等。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB190危險貨物包裝標志GB/T601化學試劑標準滴定溶液配制GB/T602化學試劑雜質(zhì)測定用標準溶液的制備GB/T603化學試劑試驗方法中所使用制劑及制品的制備GB/T3143液體化學產(chǎn)品顏色測定法(Hazen單位-鉑-鈷色號)GB/T6283化工產(chǎn)品中水分含量的測定卡爾.費休法（通用方法）GB/T6324.2有機化工產(chǎn)品試驗方法第2部分：揮發(fā)性有機液體水浴上蒸發(fā)后干殘渣的測定GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T6682實驗室用水規(guī)格和試驗方法GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T9722化學試劑氣相色譜法通則GB/T11446電子級水中的微粒儀器檢測方法GB15603危險化學品倉庫儲存通則SJ/T11637電子化學品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1濕電子化學品wetchemicals濕電子化學品又稱超凈高純電子化學品，是微電子、光電子濕法工藝（主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié)）中使用的各種液體化工材料。3.2光阻剝離液2T/FJAS006—2024一種有機混合物，主要用于面板制造行業(yè)的光阻剝離，主要成分為乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜3.3回收液liquidrecycling主要成分乙醇胺(MEA)、二甲基亞砜(DMSO)、廢光刻膠、水分、金屬雜質(zhì)等。4技術(shù)要求產(chǎn)品的質(zhì)量技術(shù)指標應(yīng)符合表1的要求。表1技術(shù)指標色度Hazen5試驗方法警示----試驗方法規(guī)定的一些試驗過程可能導致危險情況，操作者應(yīng)采取適當?shù)陌踩头雷o措施。5.1一般規(guī)定本試驗方法中除另有規(guī)定外，標準滴定溶液、雜質(zhì)測定用標準溶液和所用制劑及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603之規(guī)定制備；除特殊要求外，實驗室用水應(yīng)符合GB/T6682中三級水規(guī)格，實驗用試劑均為分析純。3T/FJAS006—20245.2外觀取適量實驗室樣品于比色管中，在自然光下目視觀察。5.3純度5.3.1方法提要采用毛細管柱氣相色譜法，在選定的色譜操作條件下，使樣品汽化后經(jīng)色譜柱分離，用氫火焰離子檢測器（FID）檢測，采用外標法定量。5.3.2儀器氣相色譜儀：配有氫火焰離子檢測器（FID），整機靈敏度、穩(wěn)定性符合GB/T9722的規(guī)定，線性范圍滿足分析要求。采用氣相色譜法：在選定的色譜條件下，試樣經(jīng)汽化通過毛細管色譜柱，使其中各組分分離，用氫火焰離子化檢測器（FID）檢測，外標法定量。5.3.3氣相色譜條件5.3.3.1氮氣：純度≥99.999%。5.3.3.2空氣：空氣壓縮泵。5.3.3.3氫氣：純度≥99.999%。5.3.3.4試劑：乙醇胺、二甲基亞砜，色譜純。5.3.3.5進樣器：10μL微量進樣器。5.3.4色譜分析條件本文件推薦的色譜柱和色譜操作條件見表2，其他能達到同等分離程度的色譜柱及色譜操作條件也可以使用。表2推薦的色譜柱和色譜操作條件5.3.5分析步驟5.3.5.1建立標準曲線5.3.5.1.1校準用標準溶液的配制4T/FJAS006—2024用稱量法配制產(chǎn)品不同質(zhì)量分數(shù)梯度的標準溶液。各組份的稱量精確至0.0001g。所配制的校準用標準溶液中雜質(zhì)含量應(yīng)與待測試樣相近。5.3.5.1.2標準溶液的配制用稱量法分別配制產(chǎn)品不同質(zhì)量分數(shù)梯度的標準溶液。各組份的稱量精確至0.0001g。所配制的標準溶液中含量應(yīng)與待測試樣相近。5.3.5.1.3標準曲線的建立調(diào)用方法使色譜條件達到表2所示，將配制好的產(chǎn)品各梯度標準溶液依次注入氣相色譜儀，根據(jù)所得的峰面積及標準溶液中各物質(zhì)的含量，在氣相色譜工作站中分別建立產(chǎn)品的標準曲線。5.3.5.1.4試樣的測定根據(jù)表2所示的儀器操作條件測定樣品，將得到各組分的峰面積對應(yīng)各組分的標準曲線求得各組分含量。5.4水分的測定按GB/T6283的規(guī)定進行測定。5.5蒸發(fā)殘渣按GB/T6324.2的規(guī)定進行測定。5.5色度的測定按GB/T3143的規(guī)定進行測定。5.6金屬元素的測定按SJ/T11637的規(guī)定進行測定。6檢驗規(guī)則6.1產(chǎn)品應(yīng)由生產(chǎn)廠的質(zhì)量檢驗部門進行檢驗，第4章規(guī)定的項目均為出廠檢驗項目。6.2以同等質(zhì)量的均勻產(chǎn)品為一批。桶裝產(chǎn)品以不大于100t為一批，或以一貯槽、一槽罐的產(chǎn)品量為一批。6.3采樣方法按GB/T6680的規(guī)定執(zhí)行，采樣單元數(shù)應(yīng)符合GB/T6678的規(guī)定。采樣量不少于1000mL，混合均勻后，等量分裝入兩個清潔干燥、密封良好的細口瓶中，瓶上標簽應(yīng)注明產(chǎn)品名稱、批號或生產(chǎn)日期、取樣地點、取樣人姓名、留樣日期。一份供檢驗使用，另一份留樣備查。6.4檢驗結(jié)果的判定按照GB/T8170中規(guī)定的修約值比較法進行。檢驗結(jié)果中如有一項指標不符合本文件要求時，應(yīng)重新自兩倍數(shù)量的包裝單元中采樣進行復驗，重新檢驗的結(jié)果有一項指標不符合文件要求時，則整批產(chǎn)品應(yīng)做不合格處理。7標志、包裝、運輸、貯存5T/FJAS006—20247.1標志產(chǎn)品包裝容器上應(yīng)有牢固的標志，標明產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱、廠址、生產(chǎn)批號、生產(chǎn)日期、凈含量、本標準編號以及GB190中規(guī)定的“易燃液體”和“方向標記”標志。7.2包裝產(chǎn)品所用包裝容器應(yīng)滿足