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IntroductiontoMicroelectronicsThirdEdition《微電子概論》(第3版)郝躍賈新章史江一4.3.1雙極晶體管結(jié)構(gòu)4.3雙極集成器件與電路設(shè)計(jì)4.3.2雙極晶體管寄生效應(yīng)4.3.3npn晶體管縱向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)目錄4.3.5雙極集成電路版圖設(shè)計(jì)4.3.4npn晶體管橫向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)4.3.6雙極集成電路版圖設(shè)計(jì)實(shí)例概述設(shè)計(jì)指標(biāo):依據(jù)電路對(duì)晶體管性能參數(shù)要求,來(lái)設(shè)計(jì)確定集體管的平面幾何圖形尺寸設(shè)計(jì)對(duì)象:①發(fā)射極有效周長(zhǎng)(影響電流大?。虎诟綦x區(qū)尺寸設(shè)計(jì)(隔離區(qū)和基區(qū)、隔離區(qū)和集電結(jié));1.發(fā)射極有效周長(zhǎng)設(shè)計(jì)發(fā)射極有效周長(zhǎng)主要考慮大電流時(shí)不要發(fā)生電流集邊效應(yīng)導(dǎo)致電流放大系數(shù)下降;滿足設(shè)計(jì)規(guī)則要求對(duì)于模擬電路,Ke
約為(0.04~0.16)mA/μm增大Le,RC將減小;工程中,大電流需求的晶體管多采用多發(fā)射極條結(jié)構(gòu)為了保證晶體管電流放大系數(shù)不發(fā)生明顯下降,晶體管工作時(shí)允許發(fā)射極最大電流IEM與發(fā)射極有效周長(zhǎng)Le的關(guān)系為:IEM=KeLe對(duì)于數(shù)字電路,β影響不大,Ke
約為(0.16~0.4)mA/μm2.隔離區(qū)尺寸設(shè)計(jì)隔離區(qū)尺寸設(shè)計(jì)主要考慮滿足設(shè)計(jì)規(guī)則要求考慮基區(qū)摻雜會(huì)發(fā)生橫向擴(kuò)散,隔離區(qū)和基區(qū)之間的安全距離為擴(kuò)散結(jié)深的0.8倍,再考慮最大隔離結(jié)和集電結(jié)反偏連接時(shí)最大耗盡層寬度χmc和χmb的影響,以及光刻的套刻誤差和余量Δ,集電結(jié)邊緣到隔離墻的版圖尺寸為:0.
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