安全驗收評價報告模版

1、XX 項目安全驗收評價報告模 版1 編制說明評價依據(jù)1、中華人民共和國主席令第 70 號中華人民共和國安全生產(chǎn)法2、勞動部令第 3 號建設(shè)項目（工程）勞動安全衛(wèi)生監(jiān)察規(guī)定3、勞動部勞安字 19921 號建設(shè)項目（工程）職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)施與技術(shù)措施驗收 辦法4、國家安管局安監(jiān)管技裝字 200337 號安全評價通則5、國家安管局安監(jiān)管技裝字 200379 號安全驗收評價導(dǎo)則6、天津市安管局津安監(jiān)管字 200284 號天津市安全評價管理辦法7、SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定8、 國家、地方、行業(yè)有關(guān)勞動安全的法規(guī)、規(guī)定、規(guī)范和標準（詳見附件1）9、建設(shè)單位提供的中芯國際集成電路制造（

2、天津）有限公司項目安全驗收的相 關(guān)資料。10、中芯國際集成電路制造 （天津）有限公司委托天津泰山安全科技有限公司進行 中 芯國際集成電路制造（天津）有限公司項目安全驗收評價合同書。評價目的及評價范圍1、評價目的及評價內(nèi)容1）安全驗收評價的目的是貫徹“安全第一，預(yù)防為主”的方針，為建設(shè)項目安全 驗收提供科學依據(jù)， 對建設(shè)項目未達到安全目標的系統(tǒng)或單元提出安全補償及 補救措施，以利于提高建設(shè)項目本質(zhì)安全程度，滿足安全生產(chǎn)要求。2）安全驗收評價內(nèi)容 檢查建設(shè)項目中安全設(shè)施是否已與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時交 付生產(chǎn)和使用；評價建設(shè)項目及與之配套的安全設(shè)施是否符合國家有關(guān)安 全生產(chǎn)的法規(guī)、規(guī)定和

3、技術(shù)標準。 從整體上評價建設(shè)項目的運行狀態(tài)和安全管理是否正常、安全、可靠。2、評價范圍根據(jù)本項目安全驗收評價技術(shù)服務(wù)合同書的規(guī)定內(nèi)容，經(jīng)與建設(shè)單位商定：對中 芯天津芯片生產(chǎn)廠房、化學品庫、污水處理站以及變配電站、鍋爐房、油庫、空 壓站、冷凍站、水泵房的設(shè)備、設(shè)施進行勞動安全驗收評價。由于公司對工藝及產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)保密且芯片生產(chǎn)線工藝設(shè)備自動化程度高， 人、機分離，安全性能高，據(jù)同行業(yè)生產(chǎn)實踐，發(fā)生事故的可能性極小，對建設(shè) 項目的總體勞動安全驗收評價結(jié)果影響較小，應(yīng)公司的要求，在芯片生產(chǎn)廠房勞 動安全驗收評價中，在危險危害因素辨識分析的基礎(chǔ)上，僅對其危險性大的芯片 生產(chǎn)的輔助設(shè)施進行勞動安全驗收評

4、價。3 主要危險危害因素分析1、物質(zhì)的危險危害 芯片生產(chǎn)過程中， 使用多種化學物品， 廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲存這些化學物品的化學品庫， 化學品種類達80種。按照GB13690-92常用危險化學品的分類及標志規(guī)定中 對常用危險化學品，按其主要危險特性進行分類，該項目中使用的危險化學品有 壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的 主要危險危害為：1）有毒有害氣體（如AsH、PH、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆， 有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。2）易燃液體（如丙酮、 異丙醇等） 如泄漏、 揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、 熱源可引發(fā)火

5、災(zāi)爆炸。3）氧化劑（如過氧化氫等） 如泄漏與有機物還原劑、 易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學灼傷。 這些危險有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學危險品的貯存、使用的危險性 分析詳見化學品庫單元 .2、設(shè)備設(shè)施的固有危險危害 生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。電氣設(shè)備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內(nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng)；特種設(shè)備有燃氣鍋爐、空 壓設(shè)備、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機動車輛；儲存設(shè)備有儲氣罐、 液氮罐、液氬罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有：1 ）火災(zāi)爆炸 油罐如本身缺陷或安全裝置

6、失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā)火災(zāi)、 爆炸危險。鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火 可引發(fā)火災(zāi)。當天然氣與空氣混合的濃度達到爆炸極限時遇點火源可引發(fā)爆 炸危險。2）物理爆炸鍋爐、壓力容器（蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐）設(shè)備、氣瓶等，如設(shè)備有缺陷 或超壓安全附件失效或使用不當，可引發(fā)物理爆炸。3）觸電危險變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運行 不當、機械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計、安裝不規(guī)范，安全凈 距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險。如出現(xiàn)短路、過載、接觸不良 等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險。4）靜電危害 如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)設(shè)

7、備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，或在使用、 輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花 工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)， 造成火災(zāi)、爆炸。5）高空墜落危險 凡2m以上各類高空作業(yè)點位，其梯、臺、道、護欄等常規(guī)性防護措施不符合 規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險。6）車輛傷害 廠內(nèi)各類運輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況 不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。7）機械傷害 空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動設(shè)備如無防護罩或損壞，可 引發(fā)機械傷害。8）灼傷 高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成

8、燙傷事故。各類 使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操 作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。9）噪聲危險 空壓設(shè)備、泵類、風機等設(shè)備在運轉(zhuǎn)時可產(chǎn)生噪聲危害。4 評價方法的選取和評價單元的劃分評價方法的選取結(jié)合本項目建設(shè)內(nèi)容及已做勞動安全預(yù)評價的實際，安全驗收評價采用以下兩種方 法：1、安全檢查表（ SCL） 依據(jù)國家、行業(yè)、地方相關(guān)法規(guī)、規(guī)定及技術(shù)標準，針對本工程存在的危險、危 害因素，編制安全檢查表，以查驗項目在設(shè)計、施工、交付生產(chǎn)使用時，所采取 的安全防護設(shè)施及技術(shù)措施的全面性和可靠性，并據(jù)此提出改進措施及建議。2、專家現(xiàn)場詢問，觀察法（邀請公司專業(yè)

9、技術(shù)人員參加、配合） 。評價單元的劃分依據(jù)已確定的評價范圍及建設(shè)內(nèi)容的實際，本項目的安全驗收評價劃分如下評價單 元。1、總平面布置及常規(guī)安全防護設(shè)施安全評價單元2、生產(chǎn)工藝及危險化學品使用安全評價單元3、化學品庫安全評價單元4、超純水制備設(shè)施系統(tǒng)安全驗收評價單元5、鍋爐房安全驗收評價單元6、油罐區(qū)、冷凍機房、空壓站、水泵房安全評價單元7、污水處理站安全評價單元8、供配電安全評價單元9、安全生產(chǎn)管理安全評價單元安全檢查表依據(jù)GB50187-93工廠企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范、SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生 設(shè)計規(guī)定、GB4387-94工業(yè)企業(yè)廠內(nèi)鐵路道路運輸安全規(guī)程、GBJ16-87建筑設(shè)計防

10、 火規(guī)范（2001版）、GB50074-2002石油庫設(shè)計規(guī)范、GB2894-1996安全標志、 GB16179-1996安全標志使用導(dǎo)則等相關(guān)法規(guī)、標準及現(xiàn)場狀況編制總平面布置及常規(guī) 安全防護設(shè)施安全檢查表，檢查項目及內(nèi)容見表。總平面布置安全檢查表表序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注1廠址選擇廠址選擇在全面考祭，其自然和社會環(huán)境應(yīng)優(yōu) 先選在工程地質(zhì)、水文、氣象條件符合安全衛(wèi) 生要求，交通便利，協(xié)作方便，環(huán)境較為清潔 的地區(qū)。SJ30002-92符合要求。廠址應(yīng)位于生活區(qū)最小頻率風向的上風側(cè)，避免建在已建工廠煙囪主導(dǎo)風向的下風側(cè)。廠址應(yīng)具有滿足生產(chǎn)、生活及發(fā)展規(guī)劃所需要 電源和給排水條件

11、。GB50187-93滿足要求廠址應(yīng)與交通線路、車站、港口順捷合理聯(lián)接， 廠所區(qū)盡量靠近公路干道。GB50187-93交通便利。地震斷層和設(shè)防烈度低于九度地震區(qū)。GB50187-93七度設(shè)防。2總平面布置廠區(qū)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置。一般可分為廠前區(qū)、主要生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、倉庫區(qū)和動力區(qū)。SJ30002-92按功能分為辦公區(qū)、 生產(chǎn)區(qū)、公用工程 區(qū)、預(yù)留區(qū)。由廠部辦公樓、多層廠房、廠區(qū)主入口等組成 的廠前區(qū)，宜置于廠區(qū)最小頻率風向的下風 側(cè)。SJ30002-92布局應(yīng)滿足生產(chǎn)加工過程流程。GB50187-93流程順暢。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注要求潔凈的生產(chǎn)設(shè)施應(yīng)布置

12、在大氣含塵濃度 低、環(huán)境清潔地段。潔凈廠房的布置應(yīng)符合“潔 凈廠房設(shè)計規(guī)范”的規(guī)定。GB50187-93符合要求。變配電站宜位于負荷中心，或靠近主要用戶。不受粉塵、水霧、腐蝕性氣體影響。對于大容量的總降壓站，尚應(yīng)在其周圍加設(shè)圍墻。SJ30002-92總降變設(shè)在廠區(qū)西 南角。各10kW變電 站靠近負荷中心?？諌赫緫?yīng)位于空氣潔凈地段，避免靠近散發(fā)爆炸性、腐蝕性和有害氣體的粉塵等場所。GB50187-93鍋爐房宜布置在廠區(qū)全年最小頻率風向的上 風側(cè)。GB50187-93污水處理站應(yīng)布置在廠區(qū)邊緣地帶，位于廠區(qū)全年最小頻率風向的上風側(cè)。應(yīng)靠近污染源， 遠離水源構(gòu)筑物及空調(diào)空氣入口，四周留有必要的衛(wèi)生防

13、護距離。SJ30002-92火災(zāi)危險性屬于甲、 乙、丙類液體燃料罐區(qū)的 布置，應(yīng)遠離明火或散發(fā)火花地點。與耐火等級為 2、3級廠房距離分別為20m 25m,與廠內(nèi)主干道距離 15m 與次干道距離10mGB50187-93油罐區(qū)距鍋爐房西側(cè)外墻，距廠內(nèi)道路6m?；瘜W危險品庫，應(yīng)布置在廠區(qū)最小頻率風向的 上風側(cè)及邊緣地區(qū)，應(yīng)遠離火源，并符合國家 現(xiàn)行有關(guān)防火規(guī)范的規(guī)定， 防火間距不應(yīng)少于 30m=SJ30002-92基本符合有關(guān)規(guī)定。工廠主要建筑物宜呈南北向布置， 建筑物的方 位應(yīng)保證室內(nèi)有良好的朝向、 采光和自然通風 條件。SJ30002-92條件良好。廠區(qū)出入口數(shù)量不宜少于 2個。人流出入口與

14、 貨流出入口分開設(shè)置。GB50187-93三個出入口，人、物 分流。廠區(qū)應(yīng)進行綠化，應(yīng)在道路及圍墻沿線植樹， 空地上種植灌木，喬木和早皮，廠前區(qū)布置花 壇，水池以及廠標、雕型等建筑小品。SJ30002-92廠區(qū)道路序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注運輸線路，滿足生產(chǎn)要求，物流順暢，線路短 捷，人流、貨流組織合理。GB50187-93人流、貨流組織合 理。道路與主要建筑物軸線平行或垂直， 主要生產(chǎn) 廠、倉庫區(qū)、動力區(qū)的道路應(yīng)呈環(huán)形布置。 廠 區(qū)盡頭端式道路應(yīng)有足夠的消防車回轉(zhuǎn)場地。SJ30002-92呈環(huán)形布置。有回轉(zhuǎn) 場地。廠區(qū)主干線雙向行駛路寬 5m單向行駛路寬 ；并有單向行駛標記，且

15、能形成環(huán)形通道； 人行道；沿主干線人行道。GB50187-93廠區(qū)道路21m 15m12m 7mo有人行道。職工上下班時間內(nèi)，人流密集的出入口和路段，應(yīng)停止行駛貨運和機動車輛。GB4387-94易燃易爆區(qū)、儲存庫區(qū)將道路劃分為限制車輛 通行或禁止車輛通行的路段，并設(shè)標志。GB4387-94油罐區(qū)、化學品庫道路未劃分限行路段。無標志。廠區(qū)道路在彎道交叉路口的橫凈距范圍內(nèi)，不得有妨礙駕駛員視線的障礙物。GB4387-94廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置交通標志。GB4387-94無交通標志。路面平整、路基穩(wěn)固、邊坡整齊、排水良好。GB4387-94良好。有完好的照明設(shè)施。GB4387-94完好。4常規(guī)安全防護設(shè)施架

16、空平臺、走道、鋼梯應(yīng)符合國家現(xiàn)行固定 式工業(yè)平臺、工業(yè)防護欄桿、鋼直梯、鋼斜梯 等標準的規(guī)定。凡采用直梯的場所，應(yīng)采取防 護措施，相鄰兩層的直梯宜錯開設(shè)置。SJ30002-92廠區(qū)平臺、鋼梯基本符合要求。廠區(qū)各種井、溝應(yīng)有蓋板。SJ30002-92有蓋板。道路上部管架和棧橋等障礙物，在干道上的凈 咼不得小于5mSJ30002-92凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應(yīng)設(shè)置安全 標志。必要處尚應(yīng)設(shè)置聲光、 色或聲光結(jié)合的 糸急警告信號。SJ30002-92安全標志不齊全，不 醒目。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注各種輸送氣體、液體及其它物料的管道，均應(yīng) 按國家及電子工業(yè)有關(guān)規(guī)定涂色。SJ300

17、02-92未按規(guī)定涂色。廠房、動力站房的安全出口及疏散通道、應(yīng)設(shè)置明顯的標志。SJ30002-92不齊全。安全標志的涂色，應(yīng)符合國家現(xiàn)行安全標志 及安全色標準的規(guī)定。SJ30002-92不規(guī)范。綜合評價分析1危險危害辨識1）廠區(qū)建（構(gòu)）筑物如間距小，道路狹窄，路面不平整、不暢通，若人流、物流 不能有效分流，車輛無回車場地或車輛剎車、音響、燈光等出現(xiàn)問題，易引發(fā) 車輛傷害事故。2）廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學品庫（室），油罐區(qū)、110KV變電站等易燃、易爆、易中 毒，及要害部位無安全標志，無限行、禁行等交通標志。易造成誤入及違章等， 引發(fā)中毒、燃爆、觸電等傷害。3）廠區(qū)內(nèi)若坑、孔、井及走臺、平臺無防護圍欄

18、或蓋板，直梯、斜梯不符合有關(guān) 規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。4）廠區(qū)內(nèi)若道路無路標無交通標志， 過路工業(yè)管路無限高標志，可造成各種車輛 隨意超速，任其闖越工業(yè)管路架設(shè)較低區(qū)域，易造成車輛交通事故或設(shè)備損害 事故。2、問題與建議廠區(qū)總平面布置根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置，能夠滿足生產(chǎn)加工過程流 程要求，建（構(gòu)）筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要求，廠區(qū)道路與主要建筑物 軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)區(qū)、庫區(qū)、動力區(qū)的道路呈環(huán)形布置，能滿足消防車 暢通和回轉(zhuǎn)的要求，廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺、走臺、鋼梯基本符合有關(guān)標 準要求。但仍有一些問題應(yīng)引起注意。需采取相應(yīng)措施以消除可能導(dǎo)致事故發(fā)生 的隱患。

19、1）油罐區(qū)與鍋爐房和廠區(qū)道路的間距未達到 GB5007石油庫設(shè)計規(guī)范的要求。 應(yīng)按油罐區(qū)評價單元的建議完善其防火防爆措施并控制儲油量。2）凡容易發(fā)生事故危及安全的場所， 安全出入口，應(yīng)設(shè)置齊全醒目的安全警示標 志。安全標志的涂色應(yīng)符合國家現(xiàn)行的 安全標志及安全色標準的規(guī)定。3）廠區(qū)工業(yè)管路應(yīng)按 GB7231-87工業(yè)管路的基本識別色和識別符號規(guī)定，基本識別色應(yīng)涂刷在管路全長上或在管路上涂刷寬150mm的色環(huán)或在管路上用 基本識別色膠帶纏繞寬150mm勺色環(huán)基本識別色色環(huán)應(yīng)涂刷在所有管路交叉、閥門和穿孔西側(cè)等的管路上以 及其他需要識別的部位。在管路上用識別符號標識管內(nèi)流體性質(zhì)、名稱和流 向。4）

20、廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標志。在易燃易爆的生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)根據(jù)需要可將部分道路劃分出限制或禁止車輛通行的路段，并設(shè)置標志。評價結(jié)論廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建（構(gòu)）筑物按功能分區(qū)， 生產(chǎn)工藝流程短捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好, 人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合GB50187工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補充完善，可為實現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有 利的條件。生產(chǎn)工藝及危險化學品使用安全評價單元支援車間危險化學品使用、儲存、安全措施情況如表所示：危險化學品使用、儲存及安全措施表表序

21、 號儲存場 所名稱儲存危險化學品名稱氣柜數(shù) 量（個）安全設(shè)施1毒性氣體室砷化氫混合氣（ASH/H2）110%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防 水噴淋、排風、火災(zāi)聲光報警、shut down按鈕、勞動防護用品專柜、雙套管輸送， 內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時， 報警。%鍺烷/氫氣（GeH/H2）11%磷化氫/氮氣混合氣（PH/N2）15%磷化氫/氮氣混合氣（PH/N2）22易燃氣體室氨氣（NH）810%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、氨、 氟環(huán)境監(jiān)測報警、消防水噴淋、排風（酸 堿性排風系統(tǒng)分開）、火災(zāi)聲光報警、shut dow n按鈕、勞動防護用品專柜。一氧化碳（CO3二氯硅烷（SiHQ

22、）1二氟甲烷（CHF2）150ppm乙硼烷/氫氣（B2H/H2）1氟甲烷（CHF）2100ppmBHb/N215% B2H6/N22100ppm乙硼烷/氫氣（B2H/H2）210%氨氣/氮氣1GF61序 號儲存場 所名稱儲存危險化學品名稱氣柜數(shù) 量（個）安全設(shè)施3腐蝕性氣體室Cl 2210%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防 水噴淋（CIF 3無）、排風、火災(zāi)聲光報警、 shut dow n按鈕、勞動防護用品專柜。CIF32HBr2HCI11SiF414氧化氣體室NF3910%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防 水噴淋、酸性排風、火災(zāi)聲光報警、shutdow n按鈕、勞動防護用品專柜。N2

23、O730%G/He65惰性氣體室%He+N110%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風、火災(zāi)聲光報警、shut down按鈕、勞動防護用品專柜。C4F82CHF1GF61CQ1CF42CHF2SF62He14%h/N216酸室hci cdm1設(shè)排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置。BOE CDM1HF CDM2NOE CDM1HNOCDM1HPQ CDM1H2SQ CDM2HF100:1 CDM17BaseRoom（堿室）NHOH1設(shè)排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸 送內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器，PEH在線型火災(zāi) 聲光報警

24、裝置，自動水噴淋裝置、消防器 材。H2C22SD-118溶劑室ACT940 CDM1設(shè)溶劑排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套 管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、 消防器材。EG-011EBR10A11PA-01CDM1危險危害辨識與分析1、火災(zāi)、爆炸 各類易燃液體、易燃氣體在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制 造質(zhì)量差、機械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操 作，造成物料泄漏，如作業(yè)現(xiàn)場通風不良，與空氣混和達到爆炸極限，遇有火源 可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸；2、腐蝕、中毒、化學灼傷清洗、擴散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、 Base r

25、oom 、堿室、溶劑室等腐蝕性 化學品生產(chǎn)、儲存、使用場所內(nèi)，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器 以及輸送管路因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運、使用過程機械損壞、傾翻，造成 物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會引起嚴重的化學灼傷；同時各類 腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因 造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會造成人員中毒。3、物理爆炸各類壓力容器（包括氣瓶） 、管道，如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計不合理、 制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能 發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設(shè)備損壞

26、。4、高溫灼傷高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。5、激光、紅外線輻射灼傷 在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或 操作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。6、高頻、噪聲傷害 在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機等高頻設(shè)備；清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗 機、蝕刻機、微影機等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護措施不 當或損壞都會對人員造成物理因素傷害。7、高處墜落當去廢溶劑儲罐等相對基準面標高超過 2m 設(shè)備進行檢查、操作或維修設(shè)備時， 若未按標準設(shè)置鋼梯、護欄、平臺或設(shè)置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修 時，稍不慎會發(fā)生

27、高處墜落事故。8、觸電 各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路 短路等均可能發(fā)生觸電事故。9、電氣火災(zāi)電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護器、過電壓保護等裝置或失效，線路 絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會發(fā) 生電氣火災(zāi)。10、雷電危害建筑物防雷設(shè)計不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當雷擊建筑 物、電力設(shè)備、線路等時，會產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會導(dǎo)致嚴重 損壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火 災(zāi)、爆炸，造成嚴重的生命、財產(chǎn)損失。11、靜電危害如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)（如：光

28、刻、清洗區(qū)、擴散區(qū)、可燃氣體儲藏間等）設(shè) 備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生 的靜電電荷，不能及時消除，隨著時間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸 升高，當達到一定程度時，發(fā)生放電火花；或使用有火花工具、穿用不防靜電的 鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。安全檢查表依據(jù)GBJ16-87建筑設(shè)計防火規(guī)范（2001版）、GB50187工廠企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范、 SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定、GBJ19-87采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī) 范（2001年版）、GB50073-2001潔凈廠房設(shè)計規(guī)范、GB5083-99生

29、產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè) 計總則、GB12801-91生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則、GB2893-2001安全色、GB2894-96安全標志、GB15603-95常用化學危險品貯存通則、國務(wù)院令第344號危險化學品 安全管理條例等法規(guī)、標準、規(guī)范編制安全檢查表，查驗結(jié)果詳見表。生產(chǎn)工藝及危險化學品使用單元安全檢查表表序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注1建筑結(jié)構(gòu)及平面布置生產(chǎn)廠房耐火等級不應(yīng)低于二級。GBJ16-87均為二級。若多層生產(chǎn)廠房耐火等級為二級，其防火分2區(qū)最大允許占地面積為 4000m。（因有自動水 噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)最大允許占地面積增加 一倍）GBJ16-87f 2占地面積4000m。有

30、爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃氣 體室、硅烷室等）宜獨立設(shè)置。GBJ16-87單獨設(shè)置。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注有爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃氣 體室、硅烷室等）應(yīng)設(shè)置必要的泄壓設(shè)施， 泄壓設(shè)施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。GBJ16-87硅烷室屋頂泄爆、生 產(chǎn)車間、易燃氣體室 無泄壓。23硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值（m/m）宜采用，體積超過1000m3的建筑，不宜小于。GBJ16-87約。生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等可能散發(fā) 可燃氣體、可燃蒸氣的廠房應(yīng)采用不發(fā)火地 面。GBJ16-87環(huán)氧地面。有爆炸危險的該甲乙類廠房不應(yīng)設(shè)置辦公 室、休息室如必須貼鄰布置，應(yīng)采

31、用一、二 級耐火等級建筑物并應(yīng)采用耐火極限不低于 3h的非燃燒體防護墻隔開并設(shè)置直通室外或 疏散樓梯的安全出口。GBJ16-87廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度 7度設(shè)防要求，框 架抗震等級二級要求。GB50187-93度設(shè)防。芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠 房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風向的下風側(cè)， 并在四周留有綠化場地。SJ30002-92易燃易爆工作間宜設(shè)置在單層廠房內(nèi)，或設(shè) 在多層廠房的頂層端部。SJ30002-92除硅烷室單獨設(shè)置夕卜，均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。2潔凈廠房潔凈室應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化室和設(shè)施。GB50073-2001分別設(shè)置人員、物料 凈化室。潔凈室內(nèi)噪聲值不應(yīng)大于70d

32、b （A）。GB50073-2001。潔凈實驗室耐火等級不應(yīng)低于二級。GB50073-2001二級。潔凈室的頂棚和壁板應(yīng)為不燃燒體，且不得 采用有機復(fù)合材料。GB50073-2001潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒 體隔斷措施。GB50073-2001用防火墻和防火門分隔。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安 全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。GB50073-2001潔凈廠區(qū)應(yīng)設(shè)置事故排風，潔凈室事故排風 換氣次數(shù)應(yīng)采用1020次/h，事故排風宜由 常用排風系統(tǒng)與事故排風系統(tǒng)共同保證，事 故排風裝置的開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)和室 外便于操作的地

33、點，事故排風應(yīng)與報警裝置 聯(lián)鎖。SJ30002-92設(shè)置排風系統(tǒng)，常開； 特殊氣體室室外設(shè)手 動開關(guān)，設(shè)自動聯(lián)鎖 報警。3作業(yè)環(huán)境及工藝、設(shè)備安全裝置作業(yè)環(huán)境車間內(nèi)人工運輸通道寬度必須SJ30002-92設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修 空間、巡回檢查及安全通道。SJ30002-92潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明， 并應(yīng)設(shè)置指明應(yīng)急安全出口的疏散標志。在 專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。SJ30002-92設(shè)應(yīng)急照明、疏散標志。易燃易爆廠房的人員疏散，通道應(yīng)保持暢通， 并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明，疏散指示標志及排煙措 施。SJ30002-92鋼梯、平臺所設(shè)置的護欄的設(shè)計應(yīng)符合有關(guān) 標準。3

34、-93第條X廢液收集罐處平臺護欄不符要求。電子、化學工藝安全冋冃匕離子注入機應(yīng)設(shè)在人流取少的區(qū)域內(nèi)， 并應(yīng)有符合國家標準要求的接地及相應(yīng)的電 磁波、X射線防護措施。SJ30002-92設(shè)置于人流最少的東 側(cè)，采取隔離防護措 施。聯(lián)動生產(chǎn)線應(yīng)有緊急制動裝置或聯(lián)鎖裝置， 危險部位應(yīng)設(shè)置醒目的警告標志；散發(fā)毒氣 的工序應(yīng)設(shè)置排風；帶電作業(yè)的工序需裝設(shè) 自動保護裝置。SJ30002-92設(shè)置緊急制動，設(shè)置 警告標志及排風系 統(tǒng)，帶電作業(yè)設(shè)置接 地故障、短路故障保 護裝置。使用酸、堿或有機溶劑進行清洗的設(shè)備，必SJ30002-92均設(shè)置。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注須裝設(shè)局部排風系統(tǒng)，使用有

35、毒溶劑進行清 洗的設(shè)備應(yīng)采取密閉措施；凡使用電氣的化 學清洗設(shè)備，應(yīng)有良好的接地。生產(chǎn)車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置緊急沖淋裝置及洗眼器。SJ30002-92設(shè)置洗眼、淋浴器。對于存在激光輻射設(shè)備，應(yīng)采取屏蔽等防護 措施。SJ30002-92屏蔽光源保護措施。防火、防爆、防中毒輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵 的連接處必須嚴密，管道系統(tǒng)應(yīng)采取接地措 施。SJ30002-92管道系統(tǒng)通過管架接 地。易燃工作間的設(shè)備、電氣線路，開關(guān)、燈具 等，均應(yīng)采用相應(yīng)等級的防爆型產(chǎn)品。SJ30002-92電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與 PE線可靠連接。GB50169-92氫氣、CO和天然氣管道不能通過煙道、通風 管、配電室和易燃易

36、爆物倉庫。GB50028-93管道應(yīng)標志介質(zhì)及流向。SJ30002-92對有害氣體、易燃氣體的作業(yè)區(qū)，應(yīng)采取切 實有效的防護措施，提高自動化，采取密閉、 隔離生產(chǎn)。SJ30002-92隔離操作、密閉生產(chǎn)。車間空氣中有害物質(zhì)的濃度，必須符合工 業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標準的規(guī)定。SJ30002-92已做監(jiān)測，數(shù)據(jù)暫不 能提供。輸送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蝕性氣 體或液體的管道、管件、閥門，其材質(zhì)、連 接方法，必須具有密封、耐壓、防腐蝕、防 靜電等相應(yīng)措施。SJ30002-92雙套管輸送，防腐內(nèi) 涂層。危險相冋的生產(chǎn)，宜集中或相鄰布置SJ30002-92對于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房，廠房內(nèi)部 應(yīng)采取便于

37、清掃、刷洗以及防止毒物附著和 積蓄的措施。SJ30002-92防泄漏收集采用二次 容器，倍容積。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注車間內(nèi)各種明溝，應(yīng)加設(shè)蓋板。SJ30002-92生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚 吸收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴格的廠房和 車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。SJ30002-92設(shè)洗衣房。凡使用酸、堿或有機溶劑進行化學清洗的設(shè) 備，必須裝設(shè)局部排風聯(lián)鎖。SJ30002-92有下列情況之一時，排風不應(yīng)合為一個系統(tǒng)： 混合后能引起燃燒或爆炸時；（1）混合后能引起燃燒、爆炸時；（2 ）易燃易爆工作間排風與一般工作間排 風。SJ30002-92均設(shè)置獨立排風。氫氣、煤氣管道，在末

38、端、最高點等處應(yīng)設(shè) 置放散管，放散管應(yīng)高出屋頂；放散管上應(yīng) 設(shè)阻火器。SJ30002-92潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃氣體的風管 宜米用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風 管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風 管或不銹鋼風管。SJ30002-92雙層不銹鋼、酸堿風 管采用ATC玻璃鋼涂 層。4危險化學品的使用、輸送與管理危險化學品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、 分間儲存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學危險品， 嚴禁混放在一起。SJ30002-92分酸、堿有毒氣體至、 硅烷室、易燃氣體室等。 支援車間分功能區(qū)。輸送危險化學品的設(shè)備、附屬儀表、器材等， 應(yīng)根據(jù)危險介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐 蝕措施。輸送腐

39、蝕性較強的液體管道，不應(yīng) 敷設(shè)在其它管道的上方，并不宜連接埋地敷 設(shè)。SJ30002-92雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢 測。儲存有較強腐蝕性液體的設(shè)備應(yīng)設(shè)置必要的 防溢出、防滲漏緊急處理設(shè)施。其基礎(chǔ)及周 圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。SJ30002-92全封閉輸送機組，多種 報警聯(lián)鎖裝置；周圍設(shè) 置圍堰。對于輸送具有較強腐蝕性液體的化學藥劑 泵、在其填料函或機械密封圈、法蘭、閥門SJ30002-92全封閉PLC程控泵組無泄漏。泵為全圭寸閉序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注易噴射泄漏處，應(yīng)設(shè)置適當?shù)陌踩雷o。型輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時，應(yīng)加以 收集或處理，不得任意排放。SJ30002-92收集并加以

40、洗滌。易燃、易爆的車間，應(yīng)采用易于清洗、撞擊 或磨擦時不產(chǎn)生火花的地面。SJ30002-92硅烷室、易燃室符合要 求。有爆炸危險的房間（如硅烷室、易燃氣體室、 生產(chǎn)車間等），應(yīng)設(shè)置泄壓措施，安全出口不2 應(yīng)少于2個。其中一個直接對外，不超過100m 的房間可設(shè)一個出口。GBJ16-87硅烷室設(shè)泄壓其余無，安全出口均不少于2個。危險化學品使用場所應(yīng)設(shè)置通訊、報警裝置， 并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。危險化學品安全管理條例第18條V設(shè)置應(yīng)急通訊、自動、手動報警裝置。應(yīng)在危險化學品作業(yè)場所設(shè)置急救設(shè)施，并 提供應(yīng)急處理的方法。工作場所安全 使用化學品規(guī) 疋第17條V設(shè)置應(yīng)急用品柜，提供處理方

41、法。使用單位應(yīng)對盛裝、貯存危險化學品的設(shè)備， 采用顏色、標牌、標簽等形式，標明其危險 性。工作場所安全 使用化學品規(guī) 疋第19條V儲存柜上均有標識。丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近 混合貯存，氧化劑應(yīng)單獨存放。GB15603-1995V單獨存放。廢棄、過期的化學危險品及使用過的包裝容 器必須妥善保管，不得隨意拋棄，依據(jù)危險 廢棄物的處置標準進行處置。關(guān)于加強化學危險物品管理的通知V使用危險化學品，在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù)，并取得使用許可證。市安監(jiān)局、市經(jīng) 委相關(guān)文件要求S正申辦。有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、 規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術(shù)的培訓，經(jīng)考核 合格，方可上崗作業(yè)。

42、危險化學品安全管理條例第四條S已組織，尚未培訓。5有毒氣體控制裝置砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的SJ30002-92序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注鋼瓶柜，離子刻蝕設(shè)備、離子注入機等使用有害氣體的作業(yè)點，應(yīng)設(shè)事故排風裝置。使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間，宜設(shè)報 警裝置及事故排風。報警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、 操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應(yīng)定時進行排風。SJ30002-92設(shè)置報警聯(lián)鎖裝置及事故排風。6電氣電氣裝置采用接地故障保護時，應(yīng)做總等電 位聯(lián)接。SJ30002-92等電位連接。檢測和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣 可能使生產(chǎn)、動力設(shè)備造成重大事故時，必 須有備用電、氣源。備用時應(yīng)根

43、據(jù)工藝、動 力要求確定，一般不小于 15-30分鐘。SJ30002-92設(shè)發(fā)電機3臺，壓縮 空氣備用氣源30min。停電或停氣時，調(diào)節(jié)閥的閥位應(yīng)處于女全位 置。SJ30002-92消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、 火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備，應(yīng)采用單獨 的供電回路，并當發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活 用電時，應(yīng)仍保證消防用電。其配電設(shè)備應(yīng) 有明顯標志。SJ30002-92單獨設(shè)置供電回路，UPS EPS SP 電源，在有爆炸危險環(huán)境內(nèi)，敷設(shè)電氣線路的溝道、 電纜或鋼管，在穿越不冋區(qū)域之間隔墻或樓 板處的孔洞，應(yīng)采用非燃性材料嚴密堵塞。SJ30002-92防火水泥堵塞。電氣設(shè)備線路必須安全可靠，照

44、明應(yīng)采用有防護 罩的燈具。SJ30002-92線路穿管敷設(shè)，燈具 有防護罩。在火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)，可能產(chǎn)生靜電危 害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施。SJ30002-92設(shè)備、管道均采取靜電接地措施。在重點防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應(yīng)設(shè)計 人體導(dǎo)除靜電裝置；并配備個人防靜電防護 用品。HG20571-95設(shè)消除靜電離子發(fā)生 器。7消防、報警設(shè)施建筑滅火器的配置應(yīng)按建筑滅火器配置設(shè) 計規(guī)范的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。GBJ16-87潔凈室及技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)。SJ30002-92序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警檢測系統(tǒng)。SJ30002-92儲存、使用易燃易爆物質(zhì)的生

45、產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃氣體室等應(yīng)設(shè)置可燃氣體監(jiān)測報警裝置、事故排風及防爆設(shè)施。GBJ16-87設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報警 系統(tǒng)。潔凈廠房、有毒、易燃氣瓶間等可能散發(fā)可 燃、可爆和有毒、有害氣體的場所應(yīng)設(shè)置各 種可燃、有毒、有害氣體檢漏報警裝置。SJ30002-92設(shè)置不冋類型報警裝置。8氣瓶安全使用使用氣瓶應(yīng)：采購和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn) 品，不使用超期未檢的氣瓶。必須到已辦理充裝注冊的單位或經(jīng)銷注冊的 單位購氣。氣瓶使用前應(yīng)進行安全狀況檢查，對盛裝氣 體進行確認。氣瓶放置地點不得靠近熱源和明火，應(yīng)保證 氣瓶干燥。氣瓶立放時，應(yīng)采取防止傾倒的措施；夏季應(yīng)防止爆曬；嚴禁敲擊、碰撞；嚴禁在氣瓶上進行電

46、焊引?。黄績?nèi)氣體不得用盡，必須留有剩余壓力或重 量，氫氣瓶剩余壓力應(yīng)不小于。氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程第79條各項措施齊備，剩余壓力小于自動切換。磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼瓶， 必須放置在設(shè)有排風防護裝置的金屬柜內(nèi)。 不工作時，應(yīng)有自動定時排風系統(tǒng)。SJ30002-92長期通風。9安全標志凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應(yīng)設(shè)置安 全標志，必要處尚應(yīng)設(shè)置聲、光、色或聲、 光結(jié)合的緊急警告信號。SJ30002-92機臺、氣柜等均設(shè)置 安全標志。廠房、動力站房的安全出口及疏散通道，應(yīng)SJ30002-92序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注設(shè)置明顯的標志。安全標志的涂色，應(yīng)符合國家現(xiàn)行安全標 志及安全

47、色標準的規(guī)定。GB2893-82GB2894-1996V工業(yè)管路基本識別色應(yīng)符合：綠色：水鋁色：蒸氣棕色：易燃液體黃褐色：氣態(tài)或液態(tài)氣體（空氣、氧氣除外）紫色：酸或堿淺監(jiān)色：空氣或氧氣黑色：其它液體。GB7231-87S未完全執(zhí)行本國標。危險源綜合分析與評價1單元的主要危險因素SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜，同時使用多種易 燃、易爆、有毒化學試劑和易燃、有毒氣體，按照 GBJ16-87”生產(chǎn)的火災(zāi)危險性 分類”為甲類，因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素，其次是腐蝕灼 傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。2、已采取的主要安全技術(shù)、管理措施針對上述危險有害因素

48、，為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運行，企業(yè)已采取 的安全技術(shù)措施主要有：1）潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級符合國家相關(guān)規(guī)范要求；2） 潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設(shè)置局部排風，同時設(shè)置火災(zāi)自動報警裝置、火 災(zāi)排煙系統(tǒng)及應(yīng)急照明；3）將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設(shè)置在獨立的房間內(nèi)，硅烷單獨設(shè)置在 獨立的建筑物內(nèi)；4）所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi)，氣柜帶有閥門 盒和閥門屏，氣柜內(nèi)配備自動的氮氣凈化系統(tǒng)。5）有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測點，所有探頭具 有高敏度報警功能；6）酸、堿、有機溶劑采用高純氮氣充填容器，利用雙層管道輸

49、送至使用點，在雙 層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測報警探頭，所有化學品盛裝容器、使用點均設(shè)置局部排風系統(tǒng)；7）在危險化學品生產(chǎn)、儲存場所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置；8）本單元消防、報警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國家標準要求。3、問題與建議為了保證系統(tǒng)能夠安全運行，廠方采取了一些安全措施，基本能夠?qū)崿F(xiàn)安全生產(chǎn)。 通過對作業(yè)現(xiàn)場安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體 問題和建議如下：1）因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃氣體室未設(shè)置泄壓設(shè)施，并且未按SJ30002-92標準 設(shè)置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風系 統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。2）廢液收集罐上的平臺護欄需按標

50、準要求修復(fù)；3）應(yīng)按GB7231-87相關(guān)要求對工業(yè)管路涂敷基本識別色。驗收評價結(jié)論SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險因素是各類可 燃氣體、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車間、支援車間設(shè) 計、施工以及各類危險化學品安全使用、儲存情況基本符合標準、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求； 項目本質(zhì)安全程度較高，各項安全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過程中嚴格執(zhí)行各項 安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實現(xiàn)安全生產(chǎn)?；瘜W品庫安全評價單元化學品庫安全檢查表表序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注1基本要求化學危險品及貯存數(shù)量，必須經(jīng)公安 部門批準。未經(jīng)批準，不得

51、隨意設(shè)置 化學危險品貯存?zhèn)}庫。GB15603-1995V危險化學品使用、儲存企業(yè)，應(yīng)當分 別向省、自治區(qū)、直轄市人民政府經(jīng) 濟貿(mào)易管理部門和設(shè)區(qū)的市級人民 政府負責危險化學品安全監(jiān)督管理 綜合工作的部門辦理登記注冊手續(xù)。國務(wù)院令第344號9條S此項工作正在辦理過程中。貯存化學危險品的倉庫，必須配備有 專業(yè)知識的技術(shù)人員。其庫房及場所GB15603-1995V倉庫配備有專業(yè)技術(shù)人員，專門庫管人員配備有安全防護序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查 結(jié)果備注應(yīng)設(shè)專人管理，管理人員必須配備可 靠的個人安全防護用品。用品。貯存化學危險品的建筑物，區(qū)域內(nèi)嚴禁吸煙和使用明火。GB15603-1995V全廠禁煙，區(qū)域內(nèi)不準使用明 火。貯存的化學危險品應(yīng)有明顯的標志， 冋一區(qū)域貯存兩種或兩種以上不冋 級別的危險品時，應(yīng)按最咼等級危險 物品的性能標志。GB15603-1995V各儲存室門上標有所存放物 品的火災(zāi)等級、毒性等級，反 應(yīng)活性等級及所屬物質(zhì)分類（或禁忌物品種類）的醒目標 志。2建筑物及設(shè)施化學危險品庫房的建筑耐火等級應(yīng)為二級，單層，建筑面積不大于2750mioGBJ16-87該