飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系介紹參考資料

1、莀22羄24肅26罿28莀30羈32蚅34薈36芁38膂40肅溫度c蒈膈蚄螆肇膈蟻肄蚆肇芄水蒸氣壓力MPa0.002640.002980.003360.003780.004240.004750.005320.005940.006620.00738芃相應(yīng)真空度MPa蚃薆艿膀膆膅腿莁蒄羈0.098690.098350.097970.097550.097090.096580.096010.095390.094710.09395肇42賺44莃46蒅48蚆50肁52蚄54螃56芅58羈60袃溫度C薇芅羈膃裊肇袈肀膃蚇袂水蒸氣壓力MPa0.008200.009100.010090.011160.01234

2、0.013610.015000.016510.018150.01992聿相應(yīng)真空度MPa螞肆薈罿襖芄腿羀袁祎0.093130.092230.091240.090170.088990.087720.086330.084820.083180.08141芆62薅64羋66腿68羀70膄72膈74蒀76蒂78螃80薁溫度C莁肁蚃肅罿莀節(jié)羅膀羂螈水蒸氣壓力MPa0.021840.023910.026150.028560.031160.033960.036960.040190.043650.04736螆相應(yīng)真空度MPa芆蒈薁肆膆蝕肅蚅肇蚇0.079490.077420.075180.072770.0701

3、70.067370.064370.061140.057680.05397膈溫度C莇82螀84莂86肇88蚈90莃92芅94蚄96衿98薁100膅水蒸氣壓力MPa裊腿膀螅裊荿螂莄螆薀0.051330.055570.060110.064950.070110.075610.081460.087690.094300.10133II荿飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系（摘自范仲元：水和水蒸氣熱力性質(zhì)圖表p4 10 )莁相應(yīng)真空度MPa芄羇袈蠆袃袇腿賺蒂螇00.050000.045760.041220.036380.031220.025720.019870.013640.00703莀102羃104肀106芅10

4、8薇110蒃112莇114薂116肇118襖120襖溫度C薄葿蚆膃蚇薂蒄羂薆蒁肀水蒸氣壓力MPa0.108780.116680.125040.133900.143270.153160.163620.174650.186280.19854肅122薈124蒞126艿128蒃130聿132螞134蝿136羄138薀140螈溫度C袀蒅芀蒆羃薇蒂蒞袂莆蚇水蒸氣壓力MPa0.211450.225040.239330.254350.270130.278310.304070.322290.341380.36138芀真空計(jì)算常用公式蕆1、玻義爾定律蒅體積V，壓強(qiáng)P, P V二常數(shù)（一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時(shí)，

5、氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比蟻即 P1/P2 = V2/V1 )羈2、蓋呂薩克定律芅當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對(duì)溫度 T成正比：（V1/V2 = T1/T2 =常數(shù)）薃當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高（或P降低）1 C，則它的體積比原來增加（或縮?。?/273膀3、查理定律當(dāng)氣體的體積 V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其他絕對(duì)溫度 T成正比，即：P1/P2 = T1/T2在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高（或降低）1 C，它的壓強(qiáng)比原來增加（或減少）1/273螞 4 、平均自由程：蕿入=（5 x 10 -3）/P （cm）芇 5 、抽速：莈S = dv/d

6、t （升 / 秒）或 S = Q/P肄Q =流量（托升/秒）P =壓強(qiáng)（托）V=體積（升）t =時(shí)間（秒）芃 6、通導(dǎo)： C = Q/（P2-P1）（ 升 / 秒）羈 7、真空抽氣時(shí)間：膅對(duì)于從大氣壓到 1托抽氣時(shí)間計(jì)算式：t = 8V/S （經(jīng)驗(yàn)公式）膂（V為體積，S為抽氣速率，通常 t在510分鐘內(nèi)選擇。）8、維持泵選擇：S維=S前/109、擴(kuò)散泵抽速估算：S = 3D2 （D =直徑 cm）10、羅茨泵的前級(jí)抽速：S = （0.10.2）S 羅 （l/s）11、漏率：Q 漏= V（P2-P1）/（t2-t1）Q漏系統(tǒng)漏率（mmHg l/s）V 系統(tǒng)容積（I）P1 真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)

7、（mmHg）P2 真空室經(jīng)過時(shí)間 t 后達(dá)到的壓強(qiáng) （mmHg）t 壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間（s）12 、粗抽泵的抽速選擇：S = Q1/P 預(yù)（l/s）S=2.3V - Ig（Pa /P 預(yù)）/tS 機(jī)械泵有效抽速Q(mào)1 真空系統(tǒng)漏氣率（托升/秒）P預(yù)需要達(dá)到的預(yù)真空度（托）V 真空系統(tǒng)容積（升）t 達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Pa 大氣壓值（托）1 3、前級(jí)泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要 前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的 原則有：式中：S被試泵的抽氣速率

8、（l/s）n 滴管內(nèi)油柱上升格數(shù) （ 格 ）PnSg PgS 或 Sg Pgs/P nSg 前級(jí)泵的有效抽速(l/s)Pn -主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)（最大排氣壓強(qiáng))(l/s)Pg 真空室最高工作壓強(qiáng)(托)S 主泵工作時(shí)在 Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)1 4、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式：S = Q/P = (K n)/(P t)( 升/秒)K滴管系數(shù)（托升/秒）K = V0- (L/n) ( Y 0/ Y m)+Pa Vt其中VO滴管和真空膠管的原始容積（升）L 滴管刻度部分的長(zhǎng)度 （mm）n 滴管刻度部分的格數(shù) （ 格）Y 0油的比重（克/厘米3）Y m汞的比重（克/厘米3）Pa 當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)（托） Vt

9、滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積（升/格）15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式：S = n ZnLKv（D2-d2）/（24 X 104） （l/s）式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分）,L為泵腔長(zhǎng)度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑（cm） , Kv為容積利用系數(shù)（一般取 95）。16、O型橡膠槽深B= 0.7DD為橡膠直徑，槽寬 C= 1.6B17、方形橡膠槽深 B= 0.8AA為方形橡膠邊長(zhǎng)，槽寬C= 1.67B選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)：1、 真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求1X 10-5m mH的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5X 10-6mm

10、Hg通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。2、 正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5X 10-45X 10-6mmHg因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8 mmH下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在102mmHgF工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1 X 10 -5 mmH的好。3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，

11、互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣 壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離 子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清 潔真空要求。6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真

12、空泵時(shí)，需要知道氣體成 分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè) 備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許， 應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面：匚盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行

13、，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動(dòng)和 噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi) 有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級(jí)泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在- 710mmHg上，可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡(jiǎn)單，容易制造和維護(hù)，且

14、在高真空情況下抗汽蝕 性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用，則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到 自動(dòng)平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長(zhǎng)。二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后，對(duì)于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號(hào)。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我公司網(wǎng)頁.面對(duì)各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī)，我們特將其各自特點(diǎn)收集如下，以利于用戶選型代號(hào)主要特點(diǎn)極限真空度 mmHg工作真空度mmHg抽速范圍m/min密封形式sk國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)單級(jí)水環(huán)真空泵，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維修方便。目前 國(guó)內(nèi)主流的低真空水環(huán)式真空泵。-700-300-

15、6500.15120盤根、機(jī)械密封2sk國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)雙級(jí)水環(huán)真空泵，相當(dāng)于兩臺(tái)SK水環(huán)泵串聯(lián)使用，比較單級(jí)水環(huán)泵具有真空度高及高真空下抽速較 大的特點(diǎn)。目前國(guó)內(nèi)主流水環(huán)式真空泵。-735-300-7001.530盤根、機(jī)械密封2BV采用西門子先進(jìn)技術(shù)，機(jī)泵同軸，結(jié)構(gòu)緊湊，效率高， 真空度高，性能穩(wěn)定，將逐漸替代 SK、2SK系列 0.46m /min抽速的水環(huán)真空泵。-735-300-7000.458.33機(jī)械密圭寸2BE1采用西門子先進(jìn)技術(shù)，效率高，真空度高，性能穩(wěn)定，將逐漸替代 SK 2SK系列6120m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-735 -640-300-700 -300-6005400盤

16、根、機(jī)械密封SZ50年代蘇聯(lián)技術(shù)，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要應(yīng)用于老用戶。-640-700-300-6501.527盤根SZB50年代蘇聯(lián)技術(shù)，效率低，能耗大，80年代初已被淘-600-300-5500.330.66盤根汰，主要應(yīng)用于水泵引水，目前已被SK系列水環(huán)泵替代。2SY主要應(yīng)用于水環(huán)壓縮機(jī)，最大排氣壓強(qiáng)為0.6MPa-630機(jī)械密圭寸2YK結(jié)構(gòu)基本與2SK系列相同，可以用被抽介質(zhì)作為工作 液，極限真空度隨被抽介質(zhì)的飽合蒸氣壓而改變。表中極限真空度為工作介質(zhì)為變壓器油時(shí)的極限真空度。-755-300-7201.530機(jī)械密圭寸以下無正文僅供個(gè)人用于學(xué)習(xí)、研究；不得用于商業(yè)用途。For personal use only in study and research; not for commercial use.僅供個(gè)人用于學(xué)習(xí)、研究；不得用于商業(yè)用途Nur f u r den pers?nlichen f u r Studien, Forschung