jd400d型磁控濺射系統(tǒng)-項(xiàng)目名稱俄羅斯聯(lián)邦大廈幕墻

1、引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱JD4001/D 型磁控濺射系統(tǒng)專業(yè)領(lǐng)域光機(jī)電一體化成果簡介通過引智開發(fā)的全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)主要用于電子元器件及大規(guī)模集成電路 （IC ）器件 制造，是新型電子元器件研制開發(fā)關(guān)鍵設(shè)備之一，該設(shè)備還可以用于太陽能電池硅片制造。 該設(shè)備綜合技術(shù)性強(qiáng)，自動(dòng)化程度高，設(shè)備由磁控濺射源、超高真空系統(tǒng)、 基片自動(dòng)傳送系 統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)等 12 個(gè)關(guān)鍵技術(shù)部分組成。 、基片適應(yīng)范圍： 既能處理多種規(guī)格尺寸的硅 片，也能處理 GaAs片；既能處理完整片，也能處理成型碎片。 2、材料適應(yīng)范圍廣：能濺射 多種靶材且靶材利用率高。 3、工藝靈活性強(qiáng)：工藝處理模塊能根據(jù)需要增

2、減。4、盒對盒自動(dòng)送片，直線傳送，基片不受壓力。 5、計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制。 6、嚴(yán)格控制粒子污染，具有良 好的膜厚均勻性和臺階覆蓋性。 7、高可靠性。 8、安裝、維護(hù)方便，占地面積小。此設(shè)備用于在基片上鍍制各種金屬薄膜。 采用當(dāng)今國際最先進(jìn)、 最流行的多腔集成濺射 模式， 既適合中小批量工藝處理要求又兼顧新產(chǎn)品新工藝研究開發(fā)需求， 是有關(guān)工廠、 研究 院和大專院校進(jìn)行生產(chǎn)和科研的理想設(shè)備。報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位成都南光機(jī)器有限公司公司聯(lián)系人地址成都市郵政編碼61000電真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局

3、項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省

4、外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送

5、部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成

6、果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱

7、專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電子郵箱引進(jìn)國外智力項(xiàng)目成果表項(xiàng)目編號：項(xiàng)目名稱專業(yè)領(lǐng)域成果簡介報(bào)送部門四川省外國專家局項(xiàng)目單位聯(lián)系人地址郵政編碼電話傳真電