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文檔簡(jiǎn)介
1、 諧振腔諧振腔 固體激光器固體激光器 氣體激光器氣體激光器 液體激光器液體激光器 半導(dǎo)體激光器半導(dǎo)體激光器 三能級(jí)系統(tǒng)三能級(jí)系統(tǒng) 四能級(jí)系統(tǒng)四能級(jí)系統(tǒng) E1 E3 三能級(jí)系統(tǒng)能級(jí)圖三能級(jí)系統(tǒng)能級(jí)圖 E4 E3 E2 E1 四能級(jí)系統(tǒng)能級(jí)圖四能級(jí)系統(tǒng)能級(jí)圖 第一節(jié)第一節(jié) 固固 體體 激激 光光 器器 一、概述一、概述 激光電源激光電源 醫(yī)用激光機(jī)的構(gòu)成醫(yī)用激光機(jī)的構(gòu)成 激光器激光器 激光導(dǎo)光系統(tǒng)激光導(dǎo)光系統(tǒng) 醫(yī)用激光機(jī)的發(fā)展趨勢(shì)醫(yī)用激光機(jī)的發(fā)展趨勢(shì) 體積小、易攜帶體積小、易攜帶 可光纖導(dǎo)光可光纖導(dǎo)光 制造成本低制造成本低 可靠性高可靠性高 (基質(zhì)材料(基質(zhì)材料+摻雜離子)摻雜離子) 固體激光器固
2、體激光器 工作物質(zhì)工作物質(zhì) 激勵(lì)燈激勵(lì)燈 聚光腔聚光腔 諧振腔諧振腔 (氪燈或氙燈)(氪燈或氙燈) (橢圓腔、圓柱腔、緊包腔)(橢圓腔、圓柱腔、緊包腔) 基質(zhì):晶體、玻璃、玻璃陶瓷基質(zhì):晶體、玻璃、玻璃陶瓷 摻雜離子:鉻、釹、鈥、鉺等離子摻雜離子:鉻、釹、鈥、鉺等離子 二、摻釹釔鋁石榴石激光器二、摻釹釔鋁石榴石激光器 Nd:YAG激光器基本結(jié)構(gòu)激光器基本結(jié)構(gòu) Nd:YAG晶體呈淡紫色,摻雜濃度約晶體呈淡紫色,摻雜濃度約 1% Nd:YAG激光器結(jié)構(gòu)激光器結(jié)構(gòu) Nd:YAG晶體晶體 脈沖氙燈脈沖氙燈 氙燈電源氙燈電源 全反射鏡全反射鏡部分反射鏡部分反射鏡 橢圓聚光腔橢圓聚光腔 激光激光 Nd:Y
3、AG晶體晶體 雙橢圓聚光腔雙橢圓聚光腔 脈沖氙燈脈沖氙燈 全反射鏡全反射鏡 部分反射鏡部分反射鏡 激光激光 連續(xù)器件常用氪燈激勵(lì),連續(xù)器件常用氪燈激勵(lì),脈沖器件多用氙燈激勵(lì)。脈沖器件多用氙燈激勵(lì)。 用摻鋰的石英玻璃做成的泵浦燈,能濾去紫外線用摻鋰的石英玻璃做成的泵浦燈,能濾去紫外線 氪燈發(fā)射光譜的峰值波長(zhǎng)為氪燈發(fā)射光譜的峰值波長(zhǎng)為 nmnm800750和和 LD 泵浦泵浦 Nd:YAG激光器激光器 工作原理工作原理Nd:YAG屬四能級(jí)結(jié)構(gòu)屬四能級(jí)結(jié)構(gòu) Nd:YAG能級(jí)圖能級(jí)圖 躍遷躍遷 m 06. 1 2 E 0 E 3 E 1 E )( 23 4 F )( 29 4 I )( 211 4 I
4、 0 5000 10000 15000 20000 1 cm能能量量 閾值閾值 輸出特性輸出特性 Nd:YAG 激光器轉(zhuǎn)換效率高,輸出功率大。激光器轉(zhuǎn)換效率高,輸出功率大。 單根晶體棒工作時(shí)輸出功率可達(dá)百瓦,多模輸出。單根晶體棒工作時(shí)輸出功率可達(dá)百瓦,多模輸出。 Nd:YAG激光器的波長(zhǎng)處于各類導(dǎo)光纖維最佳透激光器的波長(zhǎng)處于各類導(dǎo)光纖維最佳透 過(guò)率的范圍內(nèi)。過(guò)率的范圍內(nèi)。 Nd:YAG 激光器的輸出波長(zhǎng)為激光器的輸出波長(zhǎng)為nm1064 倍頻倍頻Nd:YAG 激光器激光器 倍頻倍頻Nd:YAGnm532 三倍頻三倍頻 nm355 四倍頻四倍頻 nm266 磷酸氧鈦鉀磷酸氧鈦鉀 (KTP) KTP
5、 用于各種固體激光系統(tǒng),特別是用于各種固體激光系統(tǒng),特別是Nd:YAG 激光器激光器 的倍頻和光參量振蕩的倍頻和光參量振蕩 YAG 激光器的優(yōu)點(diǎn)激光器的優(yōu)點(diǎn) 可光纖導(dǎo)光;可光纖導(dǎo)光; 可接觸式手術(shù);可接觸式手術(shù); 價(jià)格低;價(jià)格低; 故障少;易維修。故障少;易維修。 不需自來(lái)水冷卻,可內(nèi)部循環(huán)水冷卻;不需自來(lái)水冷卻,可內(nèi)部循環(huán)水冷卻; 三、紅寶石激光器三、紅寶石激光器 紅寶石激光器基本結(jié)構(gòu)紅寶石激光器基本結(jié)構(gòu) 紅寶石晶體呈淡紅色,摻雜濃度紅寶石晶體呈淡紅色,摻雜濃度 %07. 0%03. 0 常用高電流密度的氙燈激勵(lì)常用高電流密度的氙燈激勵(lì)脈沖工作方式;脈沖工作方式; 氙燈電源氙燈電源 反射鏡反
6、射鏡反射鏡反射鏡 氙燈(用來(lái)激發(fā)激光)氙燈(用來(lái)激發(fā)激光)紅寶石介質(zhì)(激光介質(zhì))紅寶石介質(zhì)(激光介質(zhì)) 激光激光 紅寶石能級(jí)圖紅寶石能級(jí)圖 nmR3.694: 1 E 2 0 E A2 E 1 4 F 2 4 A 2 4 F nmR9.692: 2 工作原理工作原理紅寶石晶體屬三能級(jí)結(jié)構(gòu)紅寶石晶體屬三能級(jí)結(jié)構(gòu) 輸出特性輸出特性 紅寶石紅寶石 激光器的輸出波長(zhǎng)為激光器的輸出波長(zhǎng)為 紅寶石激光器轉(zhuǎn)換效率低,發(fā)散角較大。紅寶石激光器轉(zhuǎn)換效率低,發(fā)散角較大。 nm3 .694 器件總效率約為器件總效率約為 %5 . 0%2 . 0 紅寶石激光可裝成檢眼鏡形式,做成手握式眼科凝紅寶石激光可裝成檢眼鏡形式
7、,做成手握式眼科凝 固器;固器;還可裝在裂隙燈上做成固定的眼科治療機(jī)。還可裝在裂隙燈上做成固定的眼科治療機(jī)。 激光治療儀激光治療儀 脈沖脈沖Ho:YAGHo:YAG激光治療儀激光治療儀 (德國(guó)(德國(guó),0.8m,3J,20Hz, ,0.8m,3J,20Hz, 光纖輸出)光纖輸出) 脈沖脈沖Er:YAGEr:YAG激光治療儀激光治療儀 (美國(guó)(美國(guó),2.94m,30w,2J,2.94m,30w,2J,七關(guān)節(jié)輸出)七關(guān)節(jié)輸出) 第二節(jié)第二節(jié) 氣氣 體體 激激 光光 器器 氣體激光器一般采用氣體激光器一般采用電激勵(lì)源電激勵(lì)源 常見(jiàn)常見(jiàn)的氣體激光器有氦氖、的氣體激光器有氦氖、CO2 激光器等激光器等 固
8、體激光器的特點(diǎn):效率較高,能以脈沖和連續(xù)固體激光器的特點(diǎn):效率較高,能以脈沖和連續(xù) 兩種方式工作兩種方式工作 一、二氧化碳激光器一、二氧化碳激光器 二氧化碳激光器基本結(jié)構(gòu)二氧化碳激光器基本結(jié)構(gòu) 二氧化碳激光器是一種氣體分子激光器,二氧化碳激光器是一種氣體分子激光器, 二氧化碳激光器的工作物質(zhì)是二氧化碳激光器的工作物質(zhì)是 氣體,氣體, 2 CO 輔助氣體有輔助氣體有 等。等。 22 ,HXeHeN 最常見(jiàn)的是封離型內(nèi)腔式最常見(jiàn)的是封離型內(nèi)腔式 0 1 m 6 .10 工作原理工作原理 電電 子子 碰碰 撞撞 激激 勵(lì)勵(lì) 電電 子子 碰碰 撞撞 激激 勵(lì)勵(lì) 1 18 cm )100( 2 CO )
9、001( )020( )010( 基態(tài)(基態(tài)(000) 2 N m 6 . 9 、 分子能級(jí)躍遷分子能級(jí)躍遷 2 CO 2 N CO2激光器結(jié)構(gòu)圖激光器結(jié)構(gòu)圖 輸出特性輸出特性 輸出功率最大可達(dá)數(shù)千瓦。輸出功率最大可達(dá)數(shù)千瓦。 激光器的輸出波長(zhǎng)為激光器的輸出波長(zhǎng)為m 6 .10 2 CO 激光器能量轉(zhuǎn)換率高達(dá)到激光器能量轉(zhuǎn)換率高達(dá)到 25% 2 CO 與生物組織作用時(shí),幾乎被生物組織與生物組織作用時(shí),幾乎被生物組織 內(nèi)內(nèi) 的表層吸收,因此容易控制切割深度。的表層吸收,因此容易控制切割深度。 m 200 二、二、ArAr+ +激光器激光器 Ar+激光器基本結(jié)構(gòu)激光器基本結(jié)構(gòu) Ar+激光器是一種惰
10、性氣體離子激光器激光器是一種惰性氣體離子激光器 放電管放電管 諧振腔諧振腔 軸向磁場(chǎng)軸向磁場(chǎng) 水冷卻系統(tǒng)水冷卻系統(tǒng) 鎮(zhèn)氣瓶鎮(zhèn)氣瓶 6 3P Ar基態(tài)基態(tài) Ar+基態(tài)基態(tài) 5 3P PAr 4 Ar+S4 nm0 .488 工作原理工作原理 第第 二二 次次 電電 子子 碰碰 撞撞 電電 子子 碰碰 撞撞 nm5 .514 的能級(jí)圖的能級(jí)圖 Ar 輸出特性輸出特性 Ar+激光器是可見(jiàn)光區(qū)域中連續(xù)輸出功率最高的,激光器是可見(jiàn)光區(qū)域中連續(xù)輸出功率最高的, 能很好被血紅蛋白吸收,止血效果好。能很好被血紅蛋白吸收,止血效果好。 廣泛應(yīng)用于眼科、皮膚科、內(nèi)科等領(lǐng)域。廣泛應(yīng)用于眼科、皮膚科、內(nèi)科等領(lǐng)域。 A
11、r+激光器的輸出波長(zhǎng)主要有激光器的輸出波長(zhǎng)主要有 和和nm0 .488nm5 .514 一般連續(xù)輸出幾瓦到幾十瓦,甚至幾百瓦。一般連續(xù)輸出幾瓦到幾十瓦,甚至幾百瓦。 三、三、激光器激光器 氦氖激光器氦氖激光器 氖原子氖原子 在在 間間 實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布 s3p2 s2 s1 Ne s3 s 1 2 s 3 2 He p2 p3 碰 632.8nm 共振轉(zhuǎn)移共振轉(zhuǎn)移 氦氖氣體的能級(jí)圖氦氖氣體的能級(jí)圖 第三節(jié)第三節(jié) 其其 他他 激激 光光 器器 一、準(zhǔn)分子激光器一、準(zhǔn)分子激光器 工作物質(zhì)是稀有鹵化物工作物質(zhì)是稀有鹵化物 準(zhǔn)分子:準(zhǔn)分子:基態(tài)的稀有氣體原子化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,基態(tài)的稀有
12、氣體原子化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定, 不可能和其它原子結(jié)合成穩(wěn)定分子。但當(dāng)它們不可能和其它原子結(jié)合成穩(wěn)定分子。但當(dāng)它們 受到激發(fā)時(shí),稀有氣體原子就可能從基態(tài)躍遷受到激發(fā)時(shí),稀有氣體原子就可能從基態(tài)躍遷 到激發(fā)態(tài),甚至被電離,這時(shí)很容易和另一個(gè)到激發(fā)態(tài),甚至被電離,這時(shí)很容易和另一個(gè) 原子形成一個(gè)壽命極短的分子,這種處于激發(fā)原子形成一個(gè)壽命極短的分子,這種處于激發(fā) 態(tài)的分子稱態(tài)的分子稱受激二聚物受激二聚物,簡(jiǎn)稱準(zhǔn)分子。,簡(jiǎn)稱準(zhǔn)分子。 ArF準(zhǔn)分子激光器基本結(jié)構(gòu)準(zhǔn)分子激光器基本結(jié)構(gòu) 氣氣 體體 1 氣氣 體體 2 氣氣 體體 3 激光腔激光腔 激勵(lì)源激勵(lì)源 預(yù)電離源預(yù)電離源 排排 氣氣 真真 空空 泵泵 激光激
13、光 準(zhǔn)分子激光器的結(jié)構(gòu)框圖準(zhǔn)分子激光器的結(jié)構(gòu)框圖 工作原理工作原理 ArF 準(zhǔn)分子的勢(shì)能曲線圖準(zhǔn)分子的勢(shì)能曲線圖 能能量量 核間距核間距 ArF ArF FAr 激光輻射激光輻射 輸出特性輸出特性 輸出平均功率輸出平均功率 20瓦瓦 準(zhǔn)分子激光器的輸出波長(zhǎng)為準(zhǔn)分子激光器的輸出波長(zhǎng)為nm0 .193ArF 光束發(fā)散角光束發(fā)散角 左右左右mrad2 二、半導(dǎo)體激光器二、半導(dǎo)體激光器 半導(dǎo)體激光器是向半導(dǎo)體半導(dǎo)體激光器是向半導(dǎo)體PNPN結(jié)注入電流,結(jié)注入電流, 實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布,產(chǎn)生受激輻射,再實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布,產(chǎn)生受激輻射,再 利用諧振腔的正反饋,實(shí)現(xiàn)光放大而產(chǎn)生利用諧振腔的正反饋,實(shí)現(xiàn)光放大
14、而產(chǎn)生 激光振蕩的。激光振蕩的。 0 fe E fh E 半導(dǎo)體能帶和允許能級(jí)半導(dǎo)體能帶和允許能級(jí) 半導(dǎo)體激光器半導(dǎo)體激光器的特點(diǎn):效率高、體積小、的特點(diǎn):效率高、體積小、 重量輕、工作電壓低、波長(zhǎng)豐富、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。重量輕、工作電壓低、波長(zhǎng)豐富、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。 半導(dǎo)體激光器半導(dǎo)體激光器 缺點(diǎn)是輸出功率較缺點(diǎn)是輸出功率較 小、方向性較差、小、方向性較差、 發(fā)散角較大、單色發(fā)散角較大、單色 性較差。性較差。 波長(zhǎng)為波長(zhǎng)為6705nm,功率連續(xù)可調(diào),最大光纖末,功率連續(xù)可調(diào),最大光纖末 端輸出功率端輸出功率2瓦瓦 醫(yī)用半導(dǎo)體激光醫(yī)用半導(dǎo)體激光器器 激光治療儀激光治療儀 輸出特性輸出特性 半導(dǎo)體激光器輸出的
15、波長(zhǎng)在半導(dǎo)體激光器輸出的波長(zhǎng)在 波段波段mnm 5 . 80 .630 大功率半導(dǎo)體激光器在耳鼻喉科用于鼻息肉、聲大功率半導(dǎo)體激光器在耳鼻喉科用于鼻息肉、聲 帶息肉的切除;帶息肉的切除; 普外科等用于氣化切割手術(shù)。普外科等用于氣化切割手術(shù)。 骨科用于腰椎間盤減壓術(shù);骨科用于腰椎間盤減壓術(shù); 波長(zhǎng)可調(diào)諧;波長(zhǎng)可調(diào)諧; 光針、低功率激光照射,激光血液內(nèi)照射療法已光針、低功率激光照射,激光血液內(nèi)照射療法已 藍(lán)、綠光半導(dǎo)體激光器將簡(jiǎn)化大型醫(yī)學(xué)和生物學(xué)藍(lán)、綠光半導(dǎo)體激光器將簡(jiǎn)化大型醫(yī)學(xué)和生物學(xué) 的檢測(cè)設(shè)備。的檢測(cè)設(shè)備。 使用上半導(dǎo)體激光器。使用上半導(dǎo)體激光器。 半導(dǎo)體激光器可做泵浦源,還可做成激光流式細(xì)
16、胞半導(dǎo)體激光器可做泵浦源,還可做成激光流式細(xì)胞 儀器的體積,擴(kuò)展了儀器的應(yīng)用范圍。儀器的體積,擴(kuò)展了儀器的應(yīng)用范圍。 計(jì)、計(jì)、DNA測(cè)序儀、共聚焦掃描儀的光源,測(cè)序儀、共聚焦掃描儀的光源, 半導(dǎo)體激光器待研究的課題:波長(zhǎng)的擴(kuò)展,特別是半導(dǎo)體激光器待研究的課題:波長(zhǎng)的擴(kuò)展,特別是 短波長(zhǎng)的發(fā)展;功率的提高。短波長(zhǎng)的發(fā)展;功率的提高。 縮小了縮小了 三、三、激光器激光器 染料激光器染料激光器 第五節(jié)第五節(jié) 醫(yī)用激光器的導(dǎo)光系統(tǒng)醫(yī)用激光器的導(dǎo)光系統(tǒng) 系統(tǒng)需達(dá)到的技術(shù)要求:系統(tǒng)需達(dá)到的技術(shù)要求: 導(dǎo)光關(guān)節(jié)臂導(dǎo)光關(guān)節(jié)臂 激光導(dǎo)光系統(tǒng)激光導(dǎo)光系統(tǒng) 導(dǎo)光光學(xué)纖維導(dǎo)光光學(xué)纖維 (1)傳輸激光時(shí)保持激光的原有特
17、性,即保持)傳輸激光時(shí)保持激光的原有特性,即保持 激光的平行性和相干性;激光的平行性和相干性; (2)傳輸激光時(shí)激光功率損耗要盡量地小;)傳輸激光時(shí)激光功率損耗要盡量地小; (3)體積應(yīng)盡可能小,操作要靈活;)體積應(yīng)盡可能小,操作要靈活; (4)系統(tǒng)的輸出口處在任何位置時(shí),輸出功率)系統(tǒng)的輸出口處在任何位置時(shí),輸出功率 應(yīng)保持恒定;應(yīng)保持恒定; (5)能承受比較大的功率密度而不損壞;)能承受比較大的功率密度而不損壞; 一、光的全反射一、光的全反射 發(fā)生全反射的條件發(fā)生全反射的條件 光從光密介質(zhì)進(jìn)入光疏介質(zhì);光從光密介質(zhì)進(jìn)入光疏介質(zhì); 入射角等于或大于臨界角入射角等于或大于臨界角 光由光密介質(zhì)射
18、入光疏介質(zhì)時(shí),折射角大于入光由光密介質(zhì)射入光疏介質(zhì)時(shí),折射角大于入 射角,隨著入射角增大,反射光線越來(lái)越強(qiáng),折射射角,隨著入射角增大,反射光線越來(lái)越強(qiáng),折射 光線越來(lái)越弱,當(dāng)折射角增大到光線越來(lái)越弱,當(dāng)折射角增大到9090時(shí),折射光線時(shí),折射光線 完全消失,只剩下反射光線,這種現(xiàn)象叫做全反射完全消失,只剩下反射光線,這種現(xiàn)象叫做全反射 折射角折射角2 為為90時(shí),發(fā)生全反射現(xiàn)象時(shí),發(fā)生全反射現(xiàn)象 1 3 介質(zhì) N N A O C 空氣 1 2 介質(zhì) N N A O B 空氣 3 C 13 光密介質(zhì)光密介質(zhì) N N A O C 光疏介質(zhì)光疏介質(zhì) 在研究全反射現(xiàn)象中,剛好發(fā)生全反射時(shí)的在研究全反射
19、現(xiàn)象中,剛好發(fā)生全反射時(shí)的 入射角,稱為臨界角入射角,稱為臨界角 當(dāng)光線從當(dāng)光線從光密介質(zhì)射入光密介質(zhì)射入 光疏介質(zhì)光疏介質(zhì)時(shí),如果入射角等時(shí),如果入射角等 于或大于臨界角,就發(fā)生全于或大于臨界角,就發(fā)生全 反射現(xiàn)象反射現(xiàn)象 1 臨界角臨界角 發(fā)生全反射現(xiàn)象發(fā)生全反射現(xiàn)象 二、激光導(dǎo)光光學(xué)纖維二、激光導(dǎo)光光學(xué)纖維 階躍光纖階躍光纖 梯度光纖梯度光纖 纖芯纖芯 光纖的組成光纖的組成 色層色層 保護(hù)層保護(hù)層 (折射率必須大于色層的)(折射率必須大于色層的) (導(dǎo)光纖維)(導(dǎo)光纖維)纖芯折射率均勻一致纖芯折射率均勻一致 纖芯與色層處折射率由高階躍變低。纖芯與色層處折射率由高階躍變低。 纖芯折射率自中
20、心向界面方向呈拋物線纖芯折射率自中心向界面方向呈拋物線 規(guī)律逐漸減小,到纖芯與色層的界面處規(guī)律逐漸減小,到纖芯與色層的界面處 處折射率一樣。處折射率一樣。 1 2 光纖的傳播方式光纖的傳播方式 光纖芯光纖芯 n1 包層包層 n2 1. 光纖的傳輸性能光纖的傳輸性能 三種石英光纖的性能比較三種石英光纖的性能比較 a. 石英包層光纖石英包層光纖b. PCS 軟硅酮包層光纖軟硅酮包層光纖 c. TECS 硬聚氟包層光纖硬聚氟包層光纖 nm2200250 UV波長(zhǎng)范圍:波長(zhǎng)范圍: 石英光纖、石英光纖、PCS、TECS NIR范圍:范圍: 石英光纖衰耗最低、石英光纖衰耗最低、 nm2100 TECS稍低
21、于稍低于 PCS 3. 彎曲性能彎曲性能 4. 強(qiáng)度強(qiáng)度 2. 光纖的數(shù)值孔徑光纖的數(shù)值孔徑 NA 2 2 2 1 nnNA 石英光纖石英光纖0.100.22、 PCS 0.40 、 TECS 0.390.84 石英光纖彎曲性能最低、石英光纖彎曲性能最低、PCS、TECS 動(dòng)態(tài)疲勞和靜態(tài)疲勞動(dòng)態(tài)疲勞和靜態(tài)疲勞 光纖纖徑越小彎曲性能越好光纖纖徑越小彎曲性能越好 三、激光導(dǎo)光關(guān)節(jié)臂三、激光導(dǎo)光關(guān)節(jié)臂 操作手柄操作手柄激光刀頭激光刀頭 內(nèi)裝聚焦透鏡內(nèi)裝聚焦透鏡 光關(guān)節(jié)臂轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與激光光關(guān)節(jié)臂轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與激光 管的光軸同軸管的光軸同軸 導(dǎo)光關(guān)節(jié)臂結(jié)構(gòu)示意圖導(dǎo)光關(guān)節(jié)臂結(jié)構(gòu)示意圖 反射鏡基座反射鏡基座 連接管連接管 軸承軸承 反射鏡反射鏡 激光刀頭激光刀頭 思思 考考 題題 一、選擇題:選擇題: 1. .B .A .C 一束激光從空氣入射到角膜組織時(shí),發(fā)一束激光從空
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