光電測(cè)試技術(shù)-第2章_基本光學(xué)量的測(cè)試技術(shù)(66).doc

1、光電測(cè)試技術(shù) - 第 2 章 _基本光學(xué)量的測(cè)試技術(shù)(6/6)光電試技術(shù)測(cè) 2 章第 本基學(xué)量的測(cè)光試術(shù)哈技爾工業(yè)大濱學(xué)第章 基 2 本光學(xué)的量測(cè)試術(shù)技-26 光 學(xué)遞傳函數(shù)測(cè)技試術(shù)2019-11-042第章 2 基光學(xué)量的測(cè)本技試術(shù)2-6光傳遞學(xué)數(shù)函測(cè)技試術(shù)無論在光測(cè)學(xué)還量在是光設(shè)計(jì)學(xué)中現(xiàn)在都，遍認(rèn)為普學(xué)光遞傳函是一種數(shù)價(jià)光評(píng)系學(xué)統(tǒng)像成量質(zhì)較為善的完標(biāo)指。光傳學(xué)遞函數(shù)概在應(yīng)念用光學(xué)領(lǐng)中，已域如經(jīng)幾何像差 和波像差同樣被那大家所悉熟。215011-04-32第 基本光學(xué)章的量試測(cè)術(shù)技2- 6光學(xué)遞函數(shù)傳測(cè)技術(shù)試.1學(xué)傳光函數(shù)遞測(cè)基試礎(chǔ).1 1點(diǎn)以散擴(kuò)數(shù)函為基的礎(chǔ)義定1 ）性線件條空間不和變條件

2、性 學(xué)光傳遞數(shù)函念的概特點(diǎn)是把面物光量（在相干的明時(shí)照光指幅振在非相，干照時(shí)指明強(qiáng)光度）布分像和的面量分光布系起聯(lián)考來慮而不，像其是像質(zhì)它指標(biāo)那單獨(dú)樣慮考一個(gè)物或者一點(diǎn)亮組的線成。像線 性件條滿線性條足件系統(tǒng)，其的平面上像任一處點(diǎn)所成的形光 i(u量 v, )可看成以物平是面每上點(diǎn)處的一光 o 量 (u,v) 像在平面 u( ,v)所形處成光量的疊，可以表加示為-51104-4第章 2 本基光學(xué)量的測(cè)試術(shù)技2-6光傳學(xué)遞函測(cè)數(shù)技試術(shù).1光學(xué)遞傳數(shù)測(cè)函試基1.1礎(chǔ)點(diǎn)以散函數(shù)擴(kuò)基礎(chǔ)的定為1 ）線義條性和件空不間性變條件是平物面上 (uv) 處, 光量為位單值的物點(diǎn)經(jīng)學(xué)系統(tǒng)后在像光面上形的成光量布。

3、分 當(dāng)認(rèn)為物上面體物所范圍之外光占為零量，可寫為時(shí)：i(uo(,u vh)u(,v u, , v )dud像面 量光分布iu ,v （和）物光面量分o（u 布 ,v ）間是之由h（ ,uvu ,v 相聯(lián)）的。系而（ u， uv，） v 反了物映面各上個(gè)置位處位光單的物點(diǎn)經(jīng)光學(xué)系量成統(tǒng)像的像面時(shí)光上分量布20 。 5111-0- 4第 52 章基 光本學(xué)的測(cè)試量技術(shù) -26 學(xué)光遞函傳數(shù)測(cè)技試術(shù) 1 光學(xué)傳 . 函遞數(shù)試基測(cè)礎(chǔ).1 以 1 點(diǎn)擴(kuò)函散數(shù)為基礎(chǔ)定的義 ）1 性線件條空間和變性條件 不 空間 不變條件 性 這個(gè)條件示表物面任平位置意 u （， v ） 上光量單位為的物值點(diǎn)，在像平面上所

4、成的光量分形 是相同的布與位置（關(guān)）無可。用下表式示21501-10-64第 2 章基本光學(xué) 的量測(cè)技術(shù)試 2-6 光傳學(xué)遞數(shù)函試技測(cè)術(shù) 1.光 傳學(xué)遞數(shù)測(cè)函基試1.礎(chǔ) 1 以 擴(kuò)點(diǎn)散數(shù)函基為礎(chǔ)定的義1） 線性條和空間件變不條件性滿 空足間變不條件性，成時(shí)像式公可寫以成iv上表式示的數(shù)學(xué)算稱運(yùn)為卷積。一個(gè)學(xué)光統(tǒng)只要滿足線性條件和系空不間性條變，像件面上的光分量布可以就表示成物光面量分和單布位量 點(diǎn)能物成像分布卷積。的光學(xué)統(tǒng)系空間的變不性條又件為稱暈條件等。702151-104-2 第章基本光 學(xué)量測(cè)的技試術(shù)2-6光學(xué)傳函遞測(cè)數(shù)試技術(shù).1 光 學(xué)傳函遞測(cè)數(shù)試礎(chǔ)基.11以點(diǎn)散擴(kuò)函為基數(shù)礎(chǔ)的定義1）

5、線性條件空和間變不條性件 滿線足性條件的慮考保：具有良證好非的干照相明。測(cè)量信噪比在可許前的提下盡量小目標(biāo)物減的度線。像成統(tǒng)系其測(cè)及試光中的光源路光、接電收器均等能線在性圍內(nèi)范工。作滿足空間變不性考慮：的要通限制過標(biāo)目的線度來保證物系工統(tǒng)作在等區(qū)內(nèi)暈等暈。的大區(qū)小因會(huì)種系統(tǒng)的像差校正各狀態(tài)一而異，不以難出做硬性規(guī)的定2。10-15-041 8第2 章基本光學(xué)的測(cè)試技量術(shù) 2 -6 光學(xué)遞傳函數(shù)測(cè)技術(shù)試1. 光 學(xué)傳函遞數(shù)測(cè)基試礎(chǔ).1 以 1 擴(kuò)點(diǎn)散數(shù)函基礎(chǔ)為定義 2 的點(diǎn)擴(kuò)散）數(shù)函 在 非干照明相件下，如物條點(diǎn)經(jīng)學(xué)光系統(tǒng)成像的照度 輻分為布（ h， vu，則）規(guī)其化照度分布輻稱為點(diǎn)就擴(kuò)散 函，

6、數(shù)用號(hào) PSF符 u， v（）示，表可寫并下式成v(uh, )vudvd點(diǎn)擴(kuò)函數(shù) P 散 SF（uv ），同相的域區(qū)是就光系統(tǒng)學(xué)的等暈區(qū)，即區(qū)域件在，該區(qū)域有足空滿間變不條性的中9v2015-1-041第章2基本學(xué)光的測(cè)試量術(shù)技2-6學(xué)傳遞函光測(cè)數(shù)技術(shù)試. 1學(xué)光遞函數(shù)傳試測(cè)礎(chǔ)基1. 1以點(diǎn)擴(kuò)散函為數(shù)礎(chǔ)的基定義） 3 光學(xué)傳遞函數(shù)的義定根據(jù)傅葉變里中的換卷積理，定可以將寫成（）被稱s 光學(xué)為傳遞函，它是點(diǎn)擴(kuò)數(shù)函數(shù)散PF S（,u）v的里傅變?nèi)~換-1-14010u2 章 基本第學(xué)量光測(cè)的試技術(shù) -6 光 2 傳遞函數(shù)學(xué)測(cè)技試術(shù).1學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)光試基礎(chǔ) 1.1點(diǎn)以擴(kuò)函數(shù)為散基礎(chǔ)定的義（F,r ）通

7、常是復(fù)s 函數(shù)，于是表示成3 ）光學(xué)遞傳函的定數(shù)義光學(xué)遞傳數(shù)函TOOT可光學(xué)遞傳函的數(shù)量模MT（ r, sF）稱光為系學(xué)統(tǒng)調(diào)制的傳函數(shù)遞輻，P 角T（F,r s稱為）光學(xué)系的相位統(tǒng)遞傳函。數(shù)210-5110-4112 章第 本基光量學(xué)的測(cè)技術(shù)試26- 光學(xué)傳遞函測(cè)試技術(shù)數(shù).1 光 學(xué)遞函數(shù)傳測(cè)試礎(chǔ)1 基 .1 以擴(kuò)散函數(shù)點(diǎn)為礎(chǔ)的定基義 4 ）擴(kuò)線函數(shù) 散 不 影響一性般，垂直取正弦于光 的坐標(biāo)柵系光，傳遞學(xué)數(shù)函就以可用維一函數(shù)示：表vvuv=/s1 j u )dru=u1r/坐 標(biāo)換變=u1r/數(shù)示物平表面上垂坐直軸方令則LF被稱向標(biāo)的條無限一細(xì)亮線，光經(jīng)學(xué)統(tǒng)S為光系統(tǒng)學(xué)的擴(kuò)線函系 215-1

8、010- 4散。它所成線亮的像化歸照度分輻。布1第 22 章基本 學(xué)量的測(cè)試光術(shù)技 -6 光 2 傳學(xué)函遞數(shù)試測(cè)術(shù)技1 光學(xué) . 遞傳數(shù)測(cè)函基礎(chǔ)試 1. 1以點(diǎn)擴(kuò)函數(shù)散為礎(chǔ)基的義定4 ）擴(kuò)線散數(shù)函一維光學(xué)傳函遞數(shù)以改寫可為式上表示光學(xué)系的統(tǒng)一光學(xué)維遞函傳是數(shù)它線的散擴(kuò)函的數(shù)里葉傅換變。由于OTFr（）是也函復(fù)，則數(shù)用調(diào)制傳數(shù)可函為模量數(shù)、相位傳遞函為輻角數(shù)表示來為015-21-140O13第 2 章 基本光量學(xué)的試技術(shù)測(cè) 2-6學(xué)傳遞光函測(cè)試數(shù)術(shù)技 1. 光 學(xué)遞傳數(shù)函試基礎(chǔ)測(cè) 1.1 以點(diǎn)擴(kuò)散函為基數(shù)礎(chǔ)定的義4 線擴(kuò)散函數(shù)）在一維情下況滿足，線性空不間變條件性的學(xué)光系統(tǒng)，對(duì)非相干在照明物下面

9、像時(shí)成，面像輻的照分度布為即像輻面度分照布是物面照輻度分和布擴(kuò)線函散的數(shù)積卷。 201-5110414-第 2基本光學(xué)章的測(cè)試技量2-6 術(shù) 光學(xué)遞傳數(shù)測(cè)函試術(shù)技1 .光傳遞學(xué)函數(shù)試基礎(chǔ)1測(cè) .2正弦以柵光像為基成礎(chǔ)定的義弦光正的柵射光入光強(qiáng)布如圖分實(shí)線所中，示表可示o為 u )1/r r=TFP() r /2Ia II MTF0r(I) aI020511-041正光弦成像柵 u15第 2章本基學(xué)光的量測(cè)試術(shù)技I I0光學(xué) 遞函數(shù)傳試測(cè)礎(chǔ)基surd) u.21以 弦光正柵像為基成的礎(chǔ)定義使正光柵經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像弦利，成用像式和公歸一化a-6學(xué)傳光函數(shù)遞試測(cè)術(shù)1 技 /r=PT F(r )/H

10、c2式并將，弦余數(shù)函開，展然后項(xiàng)積逐可分得u 正弦柵成像光H c r( )c o s2 r0152-110-如線虛示所。612 章 基第光學(xué)量的本測(cè)試術(shù)技26-光學(xué)遞傳數(shù)函測(cè)試術(shù)技.1 光 傳遞函學(xué)測(cè)數(shù)基礎(chǔ)試 12. 以正光柵弦像成基礎(chǔ)的定為義 幾 點(diǎn)結(jié)論：）正 1 光柵弦所成像仍是正弦的光。在不柵考慮學(xué)系統(tǒng)對(duì)光的光吸和收反等射損失的情況，下弦光柵正的平像均強(qiáng)光原和物來上面的弦正柵平光均光強(qiáng) 0I 一。正樣光柵像弦的空頻間保率持變不仍為 r 。 ， 2示學(xué)光統(tǒng)對(duì)系正光弦成像時(shí)柵，像對(duì)的度比和物的對(duì)比之比。度常通把）（） r 表值MT（ F） r 為稱統(tǒng)對(duì)空間頻系為率r的弦光柵正像成的制調(diào)遞系數(shù)

11、傳在；通情況常，下不同對(duì)間頻率空 r的正光柵弦像時(shí)成，調(diào)制遞系傳值數(shù)是不同的。相當(dāng)把 TMFr）看成是空（間頻率的函r時(shí)，數(shù)稱則它為光學(xué)系統(tǒng)的調(diào)制傳遞數(shù) :MT函205-11-140C i(r) C0 r ()17第 2 章基 光學(xué)量的測(cè)試本術(shù)技 -6 光 2 傳學(xué)函數(shù)測(cè)試遞技術(shù)1.光傳遞學(xué)數(shù)函試測(cè)礎(chǔ)基12. 以 正弦柵成像為光礎(chǔ)的定基）正義光弦柵的像位置對(duì)相理于想位也置生發(fā)了移，用橫PFT()r來示，表它表了光學(xué)系示統(tǒng)對(duì)正光弦柵成時(shí)在相像位上的變改。常通把 PT（rF ）稱為光系學(xué)統(tǒng)對(duì)空頻間為率的r 弦正光柵像成的相傳遞因子。當(dāng)位把PTFr）看成（隨空間是率頻 r 變化的函數(shù)時(shí)，稱則為光學(xué)系

12、統(tǒng)的相它位傳函遞數(shù)。） 弦正光柵成像時(shí)在值幅相位和上同發(fā)時(shí)了生變，所以化容易與數(shù)學(xué)上一個(gè)很復(fù)函數(shù)對(duì)正弦數(shù)函作用的聯(lián)系相于是。光學(xué)，系統(tǒng)作的用相當(dāng)這于樣個(gè)復(fù)函一數(shù)：把 TOFr) 稱為 ( 學(xué)光系統(tǒng)光的學(xué)傳遞數(shù)。函調(diào)制傳函遞數(shù)MTF(r)是光學(xué)傳遞函 O數(shù) FTr( 的) 量模，相傳位函遞PT數(shù) (Fr 是) 學(xué)傳光函數(shù) OT遞 Fr)( 幅角的2。10511-04-以上敘述的兩定義種可得到完全同相結(jié)果的。 18第2章基本學(xué)光的量試測(cè)術(shù)技-62光 學(xué)傳函遞數(shù)試技術(shù)測(cè)1.光 傳學(xué)遞數(shù)測(cè)函試基礎(chǔ)1.用 3 光瞳數(shù)表示函學(xué)傳遞函光數(shù) 當(dāng)有差像學(xué)光統(tǒng)對(duì)發(fā)光物體進(jìn)系衍行成像射，時(shí)像面平上光動(dòng)擾復(fù)的振相對(duì)分

13、布幅，即幅擴(kuò)振函數(shù)散ASFu（ ，） v 與學(xué)光統(tǒng)光系瞳數(shù)P（x 函，） y 的關(guān)間，系用可基爾霍夫射公式導(dǎo)出，衍即A式中，uv、像面是坐標(biāo)； xy 、光是瞳面標(biāo)；坐R 出為 面到瞳像平距面。離1920151-1-4第 20 章 本基光學(xué)的測(cè)量試術(shù)2技 6 光- 學(xué)遞函數(shù)測(cè)傳試技術(shù)1.光傳學(xué)遞函數(shù)試基測(cè)礎(chǔ)13 .光用函瞳數(shù)表光學(xué)示遞傳函數(shù)由光于函數(shù)瞳Px，y) （述的描是出面瞳處擾動(dòng)光的幅與振相分布，位即在光瞳內(nèi)在光瞳外中的 A（ x，y 式是）振分幅，它表布光瞳示范內(nèi)透射圍比的勻均否與通，常認(rèn)是均勻?yàn)榈牟⒘钇錇?1，。此時(shí)， 光瞳函數(shù)僅由出面瞳的處波差函 W（數(shù) xy，）定，并確以此描 述出

14、瞳實(shí)處際面波形狀。的 022051-11-04第章 2 基本學(xué)光的測(cè)試技術(shù)量26 光-學(xué)傳遞函數(shù)試測(cè)術(shù)技光 . 學(xué)傳遞數(shù)測(cè)函基試AS 礎(chǔ)光用函瞳表示光學(xué)傳數(shù)函數(shù)遞， ) 與 PvSF(， v) 的 u 關(guān)為系則P025-11-014212第章基本光學(xué)的測(cè)試量技術(shù)-6 2學(xué)光傳函遞測(cè)試技數(shù)術(shù).1學(xué)光遞函數(shù)傳試基礎(chǔ)測(cè)1. 3用瞳函數(shù)光示光表學(xué)遞函傳數(shù)上 表式，明學(xué)系光的光學(xué)統(tǒng)傳遞函可數(shù)以用光瞳數(shù)函的相自關(guān)積表分示。分域 積表示 G 瞳與位光移后瞳間光重疊的區(qū)，如域圖光所位瞳移與空量頻間間率的關(guān)為y 系示。yx光 瞳151-104-yOOxx位移瞳光光瞳移位重疊區(qū)的22第 2章基光學(xué)本量測(cè)試技術(shù)的

15、-6光學(xué)2 遞傳函數(shù)測(cè)試技術(shù)1.光學(xué)傳函數(shù)遞測(cè)試基礎(chǔ)1. 3光用函瞳數(shù)示表光學(xué)遞函數(shù)如傳果忽光的略波動(dòng)性，一理想個(gè)光的系統(tǒng)對(duì)點(diǎn)物學(xué)所的像仍成然是一嚴(yán)個(gè)格的點(diǎn)，像 函數(shù)。而即 數(shù)的傅函里變?nèi)~換于等1 這，意著味系，的統(tǒng)學(xué)光傳遞函對(duì)數(shù)有所的間頻率空都于等1，顯然，樣的系這實(shí)統(tǒng)上是不際存 在的。光 波過有通光限并瞳射衍像成的像差無光學(xué)系統(tǒng)，由系統(tǒng)不于在存差像，波則差像（ x， y） W零為則瞳函。數(shù)P( x ，)y (Axy ，) ， 1 射受限衍系的規(guī)化光學(xué)傳統(tǒng)函 遞為數(shù)G0215-11-40Gd dyx =S232 第章基 光學(xué)本的量試測(cè)術(shù)技 2 -6 光 傳遞函數(shù)測(cè)試學(xué)技術(shù)1.光學(xué)傳遞數(shù)函測(cè)基

16、試礎(chǔ).3 1用光瞳數(shù)表函光學(xué)示傳函遞數(shù)計(jì) 算：例瞳圓孔GOTF截止頻率OO式，中 D 出為瞳直；徑R 為瞳出到面像的距（參考離球面波半徑。x）圓形光衍瞳受射限統(tǒng)OTF系計(jì)公算的幾何式表2 示 42019-1-0412 章第基 本學(xué)光的測(cè)量試技術(shù) 26-光 傳遞學(xué)函測(cè)試數(shù)術(shù)2技 1 測(cè) . 方法試到目為前止已，經(jīng)許有種多建立在同不理基原上的測(cè)礎(chǔ)試方法可以，簡(jiǎn)單分成地描法和掃涉法兩干大。類） 1 描掃法 根據(jù)定義，只要式對(duì)能測(cè)光學(xué)被系形統(tǒng)的成線散函數(shù)擴(kuò)實(shí)傅現(xiàn)葉里變換，可就以量到測(cè)它某一方在向的上光學(xué)遞函數(shù)傳。 早有人提出可以就一用縫狹為目標(biāo)物作在它，經(jīng)測(cè)被系統(tǒng)的像（光強(qiáng)分其為布線擴(kuò)散函數(shù)上）用弦光

17、正柵為作掃屏，描可就以擬上述對(duì)線模散擴(kuò)數(shù)函傅里葉變換運(yùn)的算，到得光學(xué)傳遞函，這數(shù)種方法常被稱為光學(xué)傅通葉分析里法。 021-1510-4. 2學(xué)傳光函數(shù)遞測(cè)原理及試方2 法 52 章第基本光學(xué)量的試測(cè)技術(shù) -6 2光傳遞學(xué)數(shù)測(cè)函技術(shù)試2.光學(xué) 遞函傳數(shù)測(cè)試原理及方法 2. 1試測(cè)法方）1掃法描于正弦由柵較難光制作后來又提，出用形光柵矩替正弦光柵作代掃為描屏，通電過學(xué)波濾的方法把信號(hào)中高的次諧波掉同樣可實(shí)現(xiàn)濾種模擬這算運(yùn)這種，非用弦正柵光掃作屏描的方法被稱為光傅里葉電分析。法把得到所的狀與擴(kuò)散形函數(shù)狀相似的電信形，直號(hào)進(jìn)行頻譜分接析就以得可光到傳遞函數(shù)，學(xué)這種法被方為稱電學(xué)傅里葉分析。法用狹或者

18、縫刀屏口直接對(duì)縫狹像行線擴(kuò)散函進(jìn)數(shù)抽，把抽樣數(shù)據(jù)送樣到計(jì)算進(jìn)行機(jī)包傅括里變?nèi)~在內(nèi)換的學(xué)運(yùn)數(shù)算，也以得可光到學(xué)傳函遞數(shù)，種方法被這稱為數(shù)字里傅葉分法析。 上這些方面都法是通在像過上掃描面測(cè)量的，所來統(tǒng)稱以為掃描。法掃描法是實(shí)應(yīng)際得最多用方的法26 。201-15-140第章 2 基 本光量的學(xué)試技測(cè)2- 術(shù) 6 光 學(xué)遞傳函數(shù)測(cè)技術(shù)試2.學(xué)光遞傳函測(cè)試原數(shù)及方法理21 測(cè)試.法方）干 2法涉由光于傳遞學(xué)數(shù)和光函函瞳數(shù)間有確之的定轉(zhuǎn)關(guān)系，換所通以測(cè)過量得光到函瞳數(shù)Px，(y) ，就以可接間得到光傳遞函學(xué)。數(shù)因光為瞳函數(shù)是復(fù)數(shù)函，主要包含它出射了瞳光波面處的相位息信很。然顯過使該波面通與一準(zhǔn)參考波面

19、標(biāo)相干涉，者使或波該本身面產(chǎn)剪生切干，利涉干用涉就可以圖到找留保位信相的光息函瞳。數(shù)根據(jù)息全涉干的理原，過通透的鏡里傅葉換作變用可，以把測(cè)系被統(tǒng)光瞳數(shù)的函頻記錄譜在息圖全上。然后再經(jīng)一次透鏡的傅里過變換葉在，它的頻譜面上可就得以兩到的維學(xué)傳光函數(shù)遞這種。方法稱為全息干涉可法。27-04第2章本光基學(xué)的量試測(cè)術(shù)技 26- 光學(xué)遞函傳測(cè)試技數(shù)術(shù)2 .學(xué)光傳函遞測(cè)數(shù)原試?yán)砑胺ǚ?1. 測(cè)試 法方上述兩測(cè)類方試法之間關(guān)系如圖所的示。干涉測(cè)波差 待測(cè)鏡 P( 頭 ,xy) TF 自相 關(guān) SF 平 A 方 PFSF T 點(diǎn)星 狹 余 像 縫掃弦光描柵掃描刀口微像分LFSTOFFT狹縫像狹縫描掃余光柵掃弦

20、描剪切干涉相關(guān)012-511-4028第 2 章本基光學(xué)的量試技測(cè)術(shù)26 - 學(xué)傳光函遞測(cè)數(shù)試術(shù)技2.光學(xué) 傳函數(shù)測(cè)試遞原理方及法.2測(cè)試原理照按擴(kuò)散線數(shù)函和以正光柵成弦為像基礎(chǔ)的光學(xué)傳一，正弦個(gè)柵光過經(jīng)被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)時(shí)其，像布為分：函遞數(shù)的定義如在像果上用寬度面小極的縫掃描正弦光狹的像柵，那么可以探到嚴(yán)格的測(cè)分像布(iu) ，也可就測(cè)量到以TFM (r和 P)TF(r)其中 r 。是光的空柵頻率。2 間9210-11504-第2 章基本光 學(xué)的量測(cè)技術(shù)試 26- 光學(xué)傳遞數(shù)函試測(cè)術(shù)技2. 光 傳學(xué)遞數(shù)測(cè)函試?yán)砑胺皆?.2測(cè)試原理狹 的影縫響而際上實(shí)縫總狹有會(huì)一定寬，度狹用掃縫描弦光正柵 時(shí)像

21、，探測(cè)的信號(hào)是到像數(shù)函與縫狹函的卷積數(shù)i1其中 MF1 T(r ) ,PT F( r )狹是函縫 s(u對(duì)寬的度縫的狹模和輻角是可以算計(jì)的因，而很數(shù) ) 傅立葉換變的和輻角模。而確定易修容正上測(cè)述數(shù)試。據(jù)0251-1-013402 第章基本 學(xué)量的測(cè)試光技術(shù) 2-6學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)光試技術(shù). 光 2 學(xué)遞函傳測(cè)試原數(shù)及方法理.2 測(cè)試 2 原理掃方式描根卷?yè)?jù)的傅積葉變換關(guān)系立，有上) 式明說為了，得到的像與用狹掃縫光描的像柵I 1( )r，狹和光柵是可縫以互換置的，即用光位柵描掃狹縫等是的。價(jià)實(shí)測(cè)量際系中，統(tǒng)總是光柵用描狹縫掃。像由于正弦光較難制作，可柵用矩以光柵形替正弦代光 柵為作掃屏，通描過電

22、濾學(xué)波的法把方號(hào)中信高次諧的波 2 0511-10 41 3 掉同樣可濾現(xiàn)這實(shí)種模擬運(yùn)。算第章 基 2 光學(xué)本的量試技測(cè)術(shù)2-6 光學(xué)傳遞函數(shù)試測(cè)技術(shù)2. 光學(xué)遞函傳數(shù)測(cè)試原及方理法.2測(cè) 2試?yán)碓尉貣殴鈷呙杈毓庑蔚臇磐干鋸?qiáng)按照光立傅葉級(jí)數(shù)展開為用形光矩柵掃狹描縫像并考慮狹，縫度的影響寬有，-11-014322 第 基本章光量學(xué)測(cè)的試技術(shù) 2- 6 光傳遞學(xué)數(shù)函測(cè)技試術(shù) 2.光學(xué)傳函數(shù)測(cè)試原遞理方及法2.2試測(cè)理原光柵設(shè)描掃度速V，則為有，光 量隨時(shí)通間變化的率 rt頻于，有是T (Fr 3 )ocs2 5(511-0- 433 第章 2 本光學(xué)量基測(cè)的技術(shù)試-6 2光傳學(xué)遞數(shù)測(cè)試函術(shù)2 技

23、 . 光 學(xué)遞函數(shù)測(cè)傳原試及方理法2. 2試測(cè)理原利電用學(xué)方將基法頻成分出，選將高而次波和直諧流 分成一濾并，所掉到得的流信號(hào)交為于很是易從容其振和初位相中得到幅間空率頻為r 的 TFMr（和 PT） F（r 。如）果一用系列不同間頻空率的矩形光掃柵描，可就以得調(diào)到傳遞函制數(shù)和位相遞傳函數(shù)。340251-1-1042第章 基光本學(xué)量的試測(cè)技術(shù)2-6 學(xué)傳光函遞測(cè)試技數(shù)術(shù) 2.光傳學(xué)遞數(shù)函試測(cè)原及方理法.23 測(cè) 儀器試以 REOS光型學(xué)傳遞數(shù)函測(cè)儀定例為型光學(xué)傳 S 函數(shù)測(cè)遞儀定是際上國(guó)應(yīng)較為用廣泛的利用光電里傅葉分法原理析的TO測(cè)量?jī)x F 器已 形，包成括種幾型的一系號(hào)列產(chǎn)品以適，各應(yīng)測(cè)量環(huán)

24、境和測(cè)量準(zhǔn)種確度要的。求 111235467892113 011- 光源 2 - 聚光鏡 3- 可 變?yōu)V光 4 片 - 可變縫狹 -5 平光管物行鏡 -6 測(cè)物鏡 7 被空 - 間率頻狹縫 8 透鏡 9- 旋光轉(zhuǎn)掃描柵 10- 器反半半鏡透 11- 目觀視察 鏡 1-2 光鏡聚 1-光 3 接收電器2015-1-014ERSO 20 型傳 0 儀光學(xué)函系統(tǒng) 35第 2 基章光學(xué)量本的試技測(cè)術(shù) -6 2 學(xué)傳光遞數(shù)測(cè)函技術(shù)2 試 光 . 學(xué)遞傳數(shù)測(cè)函原試?yán)矸郊胺?3 .試儀測(cè)器學(xué)系統(tǒng)可光分以為目標(biāo)發(fā)器生傅里葉和析分兩器部件。目 發(fā)生標(biāo)：器由測(cè)被鏡將物狹物縫成在像旋光轉(zhuǎn)上。柵傅里葉析器分：現(xiàn)物實(shí)縫

25、狹像光和之柵相間掃對(duì)描有效掃描孔隨，時(shí)間變化的通量由光光倍電管增收后變接電成號(hào)信。 頻變的實(shí)現(xiàn)有效描掃孔s 轉(zhuǎn)自空頻間狹率縫轉(zhuǎn)：自描 公掃：變頻轉(zhuǎn) 210-511-0 4 公轉(zhuǎn)狹縫物像36掃 x 描變頻理圖原第2 章基 光本學(xué)的量測(cè)試技術(shù)2-6學(xué)光遞函數(shù)傳測(cè)技試3. 光學(xué)傳遞術(shù)函用數(shù)于質(zhì)像價(jià)評(píng)在實(shí) 進(jìn)際像行質(zhì)鑒和評(píng)定價(jià)時(shí)，相位遞函傳數(shù) TFP（ r 用 ）得很少一是成：像系的低統(tǒng)頻應(yīng)響常用對(duì)的收接器來件 說最為要重而在，頻處低的 PT（ r ）往往 F 很小；二由是于 PT Fr ）（實(shí)質(zhì)上反在的是映成的不對(duì)像稱，性這種不而對(duì) 稱除了造性成的位像移外之，更靈的反敏是映 MTF（r 使） 明顯下

26、。降所以目前一均以 MT般（ rF 來評(píng)）價(jià)學(xué)光系統(tǒng) 的質(zhì)。 像 制調(diào)傳遞數(shù)函 MFT（ r ）是空間率頻函的，但數(shù)它還受多種 量的參影響。些參量這包括像位面置、場(chǎng)視、對(duì)相孔徑和波長(zhǎng)等。它們 以組成各可種同不的像成態(tài)。為狀做到了 評(píng)的價(jià)全面原則上，在上述應(yīng)種各成狀態(tài)下像進(jìn)測(cè)定行，這 就要處需并理分析大的量 MT（ r ） F 曲線。 0251-11-04 372 第章 基光學(xué)量本的測(cè)技試術(shù)-26 光傳學(xué)函遞測(cè)試技數(shù)術(shù) 3. 學(xué)傳遞光函數(shù)于像用質(zhì)價(jià)評(píng) 3. 1光學(xué)遞函數(shù)傳的示方法表光學(xué)傳遞函數(shù)常的表示方規(guī)法圖所如。不示而言喻，在所選定空的間頻范率內(nèi)圍，TMFr（）曲下線降得緩越慢越，好由于樣的這

27、線曲是 在一定的像狀成下測(cè)態(tài)的得，以必所在圖須上或附用的形式表把成組這一像成態(tài)的 各狀測(cè)種參量以試重及要的測(cè)條量件明注。 210511-04TMF() r10.0.50240060rMF （ r ）T 線曲 38第章 基本 2 光學(xué)的測(cè)試量術(shù)技 2- 6 學(xué)傳光遞函數(shù)測(cè)技術(shù)3. 試學(xué)光傳遞函數(shù)于用像質(zhì)評(píng)價(jià)3.光 2 學(xué)遞傳數(shù)與函它幾種其像檢驗(yàn)質(zhì)關(guān)的系目 前光學(xué)遞傳函已數(shù)在像檢驗(yàn)質(zhì)方得到面廣的應(yīng)用泛，在質(zhì)評(píng)價(jià)這一技像領(lǐng)術(shù)中域的地它位越來越也重。原因在要光于傳遞學(xué)函數(shù)是種一客觀靈、敏而能定量的像質(zhì)判據(jù)又評(píng)和價(jià)手段；另一面，方光學(xué)傳遞函數(shù)的內(nèi)容非常富豐其，它的像判據(jù)，質(zhì)大多數(shù)本在上只質(zhì)不是過它的某一

28、個(gè)面的方容內(nèi)或，者可以由它生派來。出 201-1150-43第 29 章基 光學(xué)本量測(cè)的技術(shù)試-62光 傳學(xué)遞數(shù)函測(cè)技試術(shù)3 光 . 學(xué)傳遞數(shù)用于像函評(píng)質(zhì)價(jià).23光學(xué)傳函遞數(shù)其與幾種像它檢驗(yàn)質(zhì)的關(guān)系1）與星點(diǎn)驗(yàn)檢關(guān)的系 點(diǎn)星的光像分強(qiáng)布以擴(kuò)點(diǎn)散函數(shù) PS（ F,uv 表示），與學(xué) 光遞傳數(shù)構(gòu)函成了對(duì)一里葉傅換的關(guān)變系二，包含的信息者完全等 ，不過分別采用價(jià)了頻域與率間域空的描述方：法小像 系差的像統(tǒng)鑒定非常靈敏；質(zhì)測(cè) F 可試準(zhǔn)確定量以定；測(cè)過通較 M比 TF 實(shí)的值與理論值的測(cè)異可以靈敏地差別系鑒統(tǒng)對(duì)的稱性像差；試測(cè)置非常復(fù)裝雜，且而如不點(diǎn)檢驗(yàn)?zāi)菢有怯^。直TFO 判將據(jù)處越來越于要重地位的而

29、星，檢驗(yàn)點(diǎn)其有直因觀簡(jiǎn)驗(yàn)診斷與系統(tǒng)病的疵種良好一 4 020 5-11104- 的輔手段。助便的點(diǎn)，仍不失為特檢第2章基本光學(xué)的測(cè)試量術(shù)技26 -光學(xué)傳函遞數(shù)測(cè)試技術(shù)3光學(xué)傳 . 函遞數(shù)于用像質(zhì)評(píng)價(jià).32光學(xué)遞函傳數(shù)其與幾它像種質(zhì)驗(yàn)的關(guān)檢不慮正光柵和矩形弦柵成光像間的之別差，則光學(xué)統(tǒng)系的空濾間特波性。2 系）分辨率與驗(yàn)檢的關(guān)系如果考OTF 和分辨都以空間頻率和調(diào)制度來反率映分辨率量只測(cè)反映截是止頻率附的近質(zhì)像況，情而丟掉了重要很低頻的息信，正這是辨率測(cè)量的分個(gè)一致缺點(diǎn)；命目視辨率還帶分有因人異的主觀性而；分辨率量有直觀、測(cè)簡(jiǎn)、定便量等處好加上，驗(yàn)檢人的員驗(yàn)經(jīng)也起作用，如例他們僅注意觀不測(cè)辨率分l ，r 而且還意注察觀尚能清楚分辨的其較他頻率的低光柵線條區(qū)分它，們的晰清程，度即加定入分析性便以較全面評(píng)價(jià)系地的統(tǒng)成像量質(zhì)所以至，今在仍 2019-1-014生 產(chǎn)部作為門種產(chǎn)品一驗(yàn)檢的要手段使用。主41第 2章基 本學(xué)光量的試測(cè)技術(shù) -2光 6 學(xué)遞傳函測(cè)數(shù)試技術(shù).3光傳遞學(xué)數(shù)用函像質(zhì)評(píng)價(jià)于.32學(xué)傳光函